PSD-lasermätning PSD-lasermeasurement



Relevanta dokument
Projekt 5 Michelsoninterferometer Fredrik Olsen Roger Persson

Fotoelektriska effekten

LEGO Energimätare. Att komma igång

GYLT/GYLS. Manual. Sid 1(6) Smidig och enkel anslutning med M12-kontakten. Mekanisk specifikation

Ett urval D/A- och A/D-omvandlare

AD-DA-omvandlare. Mätteknik. Ville Jalkanen. 1

Grundläggande signalbehandling

λ = T 2 g/(2π) 250/6 40 m

OBS: Alla mätningar och beräknade värden ska anges i SI-enheter med korrekt antal värdesiffror. Felanalys behövs endast om det anges i texten.

Isolationsförstärkare

Antennförstärkare för UHF-bandet

Avkoppla rätt en kvantitativ undersökning av parasitinduktans hos olika layoutalternativ

Dokumenteringar av mätningar med TLC (Thermocrome liquid crystals)

Antennförstärkare för UHF-bandet

Op-förstärkarens grundkopplingar. Del 2, växelspänningsförstärkning.

Fysik (TFYA14) Fö 5 1. Fö 5

Ström- och Effektmätning

4. Allmänt Elektromagnetiska vågor

Optik, F2 FFY091 TENTAKIT

Förstärkning Large Signal Voltage Gain A VOL här uttryckt som 8.0 V/μV. Lägg märke till att förstärkningen är beroende av belastningsresistans.

Elektro och Informationsteknik LTH. Laboration 6 A/D- och D/A-omvandling. Elektronik för D ETIA01

Projekt 1 (P1) Problembeskrivning och uppdragsspecifikation

Optik 2018 Laborationsinstruktioner Våglära och optik FAFF30+40

Utveckla metod för att detektera vattenflöde i flerbostadshusens rörledningar. Dubbel-T

OPTIK läran om ljuset

Det finns två sätt att generera ljus på. Ge exempel på dessa och förklara vad som skiljer dem åt.

Varje laborant ska vid laborationens början lämna renskrivna lösningar till handledaren för kontroll.

Accelerometer. Rikard Ekström Mattias Kindborg. Informationsteknologi Lunds Universitet

Mätning av biopotentialer

GYGS/GYGCC-01. Manual. Sid 1(6) Orderinformation

Geometrisk optik. Syfte och mål. Innehåll. Utrustning. Institutionen för Fysik

Föreläsning 7: Antireflexbehandling

Föreläsning 7: Antireflexbehandling

Ljuskällor. För att vi ska kunna se något måste det finnas en ljuskälla

DIGITAL MULTIMETER BRUKSANVISNING MODELL DT9201

Mätning av fokallängd hos okänd lins

Bruksanvisning. Instrumentdetaljer

Laboration Photovoltic Effect Diode IV -Characteristics Solide State Physics. 16 maj 2005

Signalbehandling, förstärkare och filter F9, MF1016

GEIGER-SoftPlusWireless

Extra övningsuppgifter

2E1112 Elektrisk mätteknik

4:7 Dioden och likriktning.

Apparater på labbet. UMEÅ UNIVERSITET Tillämpad fysik och elektronik Elektronik/JH. Personalia: Namn: Kurs: Datum:

Partiell Skuggning i solpaneler

Fotoceller - Avståndmätning

A/D- och D/A- omvandlare

Videoförstärkare med bipolära transistorer

Cédric Cano Uppsala Mätsystem F4Sys. Pulsmätare med IR-sensor

Fakta mätteknik. Kortfattad temperaturfakta - givarsystem, val av rätt givare, noggrannheter, svarstider etc. fakta - kunskap - utbildning - support

Tentamen i Elektronik, ESS010, del 2 den 6 mars 2006 SVAR

Elektricitetslära och magnetism - 1FY808. Lab 3 och Lab 4

Tentamen i Fotonik , kl

Laborationer i miljöfysik. Solcellen

SÄTT DIG NER, 1. KOLLA PLANERINGEN 2. TITTA I DITT SKRIVHÄFTE.

Automatiserad fukthaltsmätning vid bränslemottagning

Att fånga den akustiska energin

Solar cells. 2.0 Inledning. Utrustning som används i detta experiment visas i Fig. 2.1.

RAI-S Rodervinkelsvisare Installationsmanual

FAFA55 HT2016 Laboration 1: Interferens av ljus Nicklas Anttu och August Bjälemark, 2012, Malin Nilsson och David Göransson, 2015, 2016

Filtrering av matningsspänningar för. känsliga analoga tillämpningar

Laboration II Elektronik

Vad är en UART? Universal Asynchronous Receiver Transmitter parallella seriella parallell åttabitars signal mest signifikant bit

Undersökning av olinjär resistans

U7/R7 Avancerad belysning i unik design

Tentamen i Fotonik , kl

Uppdrag för LEGO projektet Hitta en vattensamling på Mars

Elektronik. Viktor Öwall, Digital ASIC Group, Dept. of Electroscience, Lund University, Sweden-

Figur 2. Emission av ljus i en p-n övergång i ett halvledar-material är grunden för diodlasertekniken.

Definitionerna i tabell 1 utgör grunden för de begrepp, som kommer till användning i denna standard.

Senaste revision Senaste revision av denna anvisning kan rekvireras från e-post:

Isolationsprovning (så kallad megger)

SM Serien Strömförsörjning

Laser LAX 50. Bruksanvisning

Isolationsprovning (så kallad meggning)

för M Skrivtid i hela (1,0 p) 3 cm man bryningsindex i glaset på ett 2. två spalter (3,0 p)

Om du tittar på dig själv i en badrumsspegel som hänger på väggen och backar ser du:

BILAGA. En handmanövrerad mekanisk apparat för dosering av vätska till en behållare för titreranalys (så kallad digital titreringsapparat).

============================================================================

Instrumentoptik, anteckningar för föreläsning 4 och 5 (CVO kap. 17 sid , ) Retinoskopet

Poler och nollställen, motkoppling och loopstabilitet. Skrivet av: Hans Beijner

Blinkande LED med 555:an, två typkopplingar.

Systemkonstruktion Z3 (Kurs nr: SSY-046)

ANVÄNDARMANUAL INFRARÖD TERMOMETER

Experiment Swedish (Sweden) Studsande kulor - En modell för fasövergångar och instabiliteter

LED Framtidens belysning

Reglerteknik 1. Kapitel 1, 2, 3, 4. Köp bok och övningshäfte på kårbokhandeln. William Sandqvist

Systemkonstruktion Z3

Gobius 1- överfyllnadsskydd för septiktankar

LTK010, vt 2017 Elektronik Laboration

Ställdon ABNM A5 LOG/LIN för AB-QM, 0 10 V proportionell

Studieanvisning i Optik, Fysik A enligt boken Quanta A

AUTOMATISK LASERNIVÅ. Modell: ALL-100

Produktfamiljöversikt. LMS1000 Blixtsnabb mätning på rekordtid! 2D-LIDAR-SENSORER

1. a) I en fortskridande våg, vad är det som rör sig från sändare till mottagare? Svara med ett ord. (1p)

Resttentamen i Signaler och System Måndagen den 11.januari 2010, kl 14-19

Böjning. Tillämpad vågrörelselära. Föreläsningar. Vad är optik? Huygens princip. Böjning vs. interferens FAF260. Lars Rippe, Atomfysik/LTH 1

Vågrörelselära och optik

Laboration i Geometrisk Optik

Föreläsning 6: Opto-komponenter

Transkript:

KTH Syd, Campus Haninge MYDATA automation AB PSD-lasermätning PSD-lasermeasurement Examensarbete 10 poäng i elektroteknik med inriktning mot systemkonstruktion Författare: Uppdragsgivare: Handledare: Lars Viebke MYDATA automation AB MYDATA: Tony Eckardt KTH: Piotr Kolodziejski Datum: 2001-10-30

Sammanfattning Detta är en rapport för ett examensarbete omfattande 10 poäng, som genomfördes våren 2001 på MYDATA automation AB, inom inriktningen elektronik och systemkonstruktion för KTH:s högskoleningenjörsutbildning i Haninge. Uppgiften syftade på att undersöka och utvärdera möjligheten att med hjälp av ljuskänslig positioneringsfotocell (PSD) och diodlaser möjliggöra flexibla mätningar med hög precision på de ytmonteringsmaskiner och utrustning som MYDATA utvecklar och tillverkar, samt ta fram en labbuppkoppling och testa metoden praktiskt. Ett antal specifika frågor sattes upp, angående möjlig precision och hastighet, omgivningskänsligheten och hur systemet skulle realiseras i praktiken. Metoden utvärderades och optimerades teoretiskt och praktiskt genom en rad försök och experiment. Resultatet påvisar att mätning m.h.a. PSD-laserarrangemang, uppfyller de mål och krav som MYDATA ställde upp och borde ge en utrustning som kombinerar flexibilitet och hög precision till ett rimligt pris. 2

Abstract This is a report of a 10 credit examination task, which was done in spring 2001 at MYDATA automation AB. The examination task is a compulsory moment in The Bachelor of Science 120 credit study programme in Electrical Engineering at KTH in Haninge. The purpose of the examination task was to exam and evaluate the possibility to use position sensing detector (PSD) and diode-laser for flexible, high precision measurements on the SMT assembly machines and related equipment that MYDATA automation designs and builds. It was also included in the task to build prototypes for demonstration and practical testing. Some specific questions concerning possible precision, speed and sensibility for environment and also how the system should be put into practice, were set up. The method were evaluated and optimized theoretically and practical by some tests and experiments. The results show that measurement by PSD and diode-laser fulfils the purpose and requirements settled by MYDATA. It should be possible to construct equipment that combines high flexibility and high precision for a reasonable price. 3

Innehållsförteckning Sammanfattning...2 Abstract...3 1. Inledning...5 1.1 Bakgrund...5 1.2 Målformulering...6 1.3 Avgränsning...6 1.4 Lösningsmetod...6 2. Beskrivning...7 PSD...7 Endimensionell PSD...7 Tvådimensionell PSD...9 PSD-generellt...11 Begränsande faktorer...11 Störningar från oönskat infallande ljus...12 Fotobrus...14 Positionsolinjäritet...15 Ljuskälla...16 Diodlaser...19 Optik...20 Förstärkarkoppling...21 Signalbehandling...21 Kalibrering...23 Praktiskt mätförfarande...25 Olika arrangemang vid positionsmätning med PSD och diodlaser...26 3. Analys...28 4. Slutsats...34 Garanterad precision...34 Repeternoggrannhet...35 Hastighet...35 Oönskat infallande ljus...36 Temperaturförändring...36 Beskriva hur mätdatan skall behandlas...37 Mekaniska arrangemang för mätning på MYDATA-maskiner...38 5. Rekommendationer...40 Referenser...41 Bilagor...42 4

1. Inledning Hösten 2000 praktiserade jag i nio veckor på MYDATA automation AB och undersökte samtidigt möjligheterna för exjobb. Uppgiften PSD-lasermätning verkade passa mig mycket bra med dess bredd inom elektronik, mekanik, optik och mjukvara. Uppgiften var avgränsad och såg ut att passa en 10 poängsomfattning. Möjligheterna att exjobbet i förlängning skulle leda till en användbar, fungerande utrustning gjorde uppgiften extra intressant. 1.1 Bakgrund MYDATA automation AB utvecklar, tillverkar och marknadsför avancerade maskiner för ytmontering av elektroniska komponenter på mönsterkort. Maskinerna används av den producerande elektroindustrin över hela världen. MYDATA har idag ca 350 anställda med huvudkontor i Bromma och dotterbolag i USA, Frankrike, Storbritannien och Japan. Figur1: MYDATA:s största ytmonteringsmaskin: MY19 MYDATA ville mäta mekaniska insvängningsförlopp och repeternoggrannheten i ytmonteringsmaskinerna i verkligheten och jämföra hur de påverkas av mekaniken. Att utnyttja en PSD-lasermätutrustning och jämföra med positionsgivarnas resultat skulle kunna vara en lösning. Även att kunna simulera och mäta monteringsnoggrannheten samt rörelser hos lösa delar var önskvärt och något en PSDlasermätutrustning möjligtvis skulle kunna klara av. Mätningar på detta sätt var både intressanta under utvecklingsskedet där PSDutrustningen skulle kunna hjälpa till att optimera konstruktionen och utvärdera förändringar och i produktion- och monteringsskedet där PSD-utrustningen skulle kunna utnyttjas för kontroll och kalibrering. MYDATA hade inte funnit att det fanns något liknande färdigt mätsystem att köpa för denna typ av flexibla mätningar varför ett exjobb där denna mätmetod togs fram och utvärderades var motiverad. 5

1.2 Målformulering Uppdrag: Undersöka teoretiskt och praktiskt mätmetod m.h.a. positioneringscell (PSD) och laserdiod för teständamål av mekaniska insvängningsförlopp, repeternoggrannhet och monterinssimulering på MYDATA-utrustning och maskiner. Ta fram fungerande labbuppkoppling Frågor: ❶ Kan vi praktiskt bygga ett mätsystem m.h.a. PSD-diodlaser för produktions- och utvecklingstest och vilken prestanda kan man få? Garanterad precision Repeternoggrannhet Hastighet ❷ Klarar mätutrustningen de störningar den kan utsättas för i den miljö mätningar kommer att ske i? Oönskat infallande ljus Temperaturförändring ❸ Hur skall mätsystemet realiseras i praktiken? Beskriva hur mätdatan skall behandlas Förslag på praktiskt montage 1.3 Avgränsning Uppgiften går ut på att endast ta fram och undersöka metod, utvärdera samt ta fram labbuppkoppling. Ej färdigställa fungerande komplett utrustning. Alla mätningar sker externt på annan utrustning än MYDATA-maskiner för att minimera fel. 1.4 Lösningsmetod Teoretisk undersökning Praktiska laborationer och försök: - Fokusering av laserstrålen - Anpassning av ljusmängd till PSD - PSD-hastighet - Beroende av externa störningar - PSD-olinjäritet - Optimering av förstärkarkoppling - Utarbetning av signalbehandling Analys av resultat 6

2. Beskrivning PSD Förkortningen PSD står för Position Sensing Detector. En positioneringscell, PSD är i grunden en fotodiod som ger positionen av ljus som faller på den aktiva ytan. Detta genom att fotoströmmar induceras i elektroderna beroende på var på den aktiva ytan ljuset hamnar. De genererade fotoströmmen är omvänt proportionell mot avståndet till elektroden. Figur 2: PSD:ar Figur 3 Det finns både en- och tvådimensionella PSD:ar, där de endimensionella endast kan detektera infallande ljus i X-led medan tvådimensionella detekterar infallande ljus i båda ledderna, X och Y. Endimensionell PSD Figur 4 Figur 5 Endimensionella PSD:ar har tre elektroder: två anoder (X1 och X2) och en katod (bias). 7

Figur 5 Genom att PSD:ns inducerade strömmar sätts in i en kompensationsformel beräknas positionen, samtidigt som PSD:n blir till stor del oberoende av att ljuskällans effekt är kalibrerad och stabil. Kompenseringsdivision för en endimensionell PSD: (se figur 4 och 5) I1 I2 position = längdk * I + I L längdk 2 Formel 1 1 2 Kompenseringsdivisionen kompenserar förändringar i ljuskällans effekt men om konstant ljuseffekt kan uppnås via en feedbackloop som kontrolleras av fotoströmmarna I1 och I2 kan positionen istället utläsas ur skillnaden mellan PSD:ns strömmar: I1-I2 multiplicerat med en längdkonstant. 8

Tvådimensionell PSD Figur 6 Figur 7 Det finns tre typer av tvådimensionella PSD:ar: duo-lateral, tetra-lateral och pincushion. För tvådimensionella PSD:ar beräknas positionen genom två kompensationsformler. Kompenseringsdivisionerna för en duo-lateral eller tetra-lateral PSD: (se figur 6) I X 1 I X 2 IY 1 I positionx = längdkx * positiony = längdky * I + I I + I längdk X LX 2 X 1 X 2 längdk Formel 2 Formel 3 Y LY 2 De två kompensationsberäkningar är var för sig den samma som för endimensionella PSD:ar Y 1 Y 2 Y 2 9

Duo-lateral Figur 8 Figur 9 PSD:ar av duo-lateral typ kännetecknas av hög linjäritet. Katoderna backförspänns med 5-20V för att strömmen skall flyta från katod till anod, vilket gör att x- och y- strömmarna har olika potential vilket försvårar signalförstärkningen och i viss mån signalbehandlingen. Tetra-lateral Figur 10 Figur 11 Jämfört med duo-lateral typ kännetecknas PSD:ar av tetra-lateral typ av högre bandbredd och lägre mörkerström än men dålig linjäritet som ger ett stort typiskt kuddformat linjäritetsfel (se figur 11). Har bias-utgång varför den tetra-laterala PSD:n är enklare att signalförstärka, och signalbehandla än den duo-laterala. Pin-cushion Figur 12 Figur 13 10

En specialtyp som kombinerar den tetra-laterala typens fördelar med hög bandbredd, låg mörkerström och bias-utgång samtidigt som linjäriteten är bättre. Linjäriteten är dock ändå betydligt sämre än linjäriteten för duo-laterala PSD:ar. Positionsolinjäritetsfelet som uppkommer har ofta en utåtbuktande form (se figur 13). Figur 14 Figur 15 Pin-cushion PSD:ar kräver speciella kompensationsformler som skiljer sig från de för övriga tvådimensionella PSD:ar (duo-lateral och tetra-lateral): (se figur 12) position längdk X X = längdk LX 2 X ( * I 2 I 1 + I 3 + I ) ( I 2 + I 3 1 + I + I 4 4 ) position längdk Formel 4 Formel 5 Y Y = längdk LY 2 Y ( I2 + I 4) ( I1 + I * I + I + I + I 1 2 3 4 3 ) PSD-generellt Fördelar: Hög upplösning Snabb Små billiga enheter Nackdelar: Analog Omgivningskänslig Liten/kort mätyta Begränsande faktorer Störningar från oönskat infallande ljus Fotobrus Positionsolinjäritet 11

Störningar från oönskat infallande ljus Effekt: Ändrad position Högre brusnivå Ökat lasereffektberoende Risk för att maximal fotoström överstigs Oönskat infallande ljus kommer att påverka de inducerade strömmarna i PSD:ns elektroder varvid den beräknade positionen för laserpunkten ändras. De strömmar som induceras av det oönskat infallande ljuset motsvarar en ökad brusnivå som negativt påverkar noggrannheten hos mätningar med hjälp av fokuserad laserpunkt. Den ström som det oönskade infallande ljuset inducerar riskerar tillsammans med laserpunktens inducerade ström överstiga maximal fotoström för PSD:n varvid olinjäriteten ökar och stegsvaret försämras. Kompenseringsdivisionen som används för att beräkna positionen av laserpunkten utan att behöva kalibrera efter ändring av laserpunktens effekt (inom ett visst effektintervall) förutsätter att de strömmar som beräkningen baseras på induceras enbart av laserpunkten. Om mörkerströmmarna, d.v.s. de strömmar som induceras i PSD:ns elektroder då diodlasern inte belyser PSD:ns aktiva ytan är stora jämfört laserpunktens inducerade strömmar kommer kompenseringsdivisionen fungera dåligt varvid lasereffektberoendet ökar. Detta innebär att diodlaserns effekt måste vara känd och stabil, alternativt kalibrering måste ske. Angiven position vid olika laserströmmar (500um frå n centrum) 700,0 Angiven position [um] 650,0 600,0 550,0 500,0 450,0 400,0 350,0 Utan kompensation för mörkerströmmen Med kompenserad för mörkerströmmen 300,0 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60 64 68 72 76 80 84 Laserström [ma] Diagram 1: Endimensionell PSD (SiTek 1L2,5) belyses på samma punkt, 500um från centrum, samtidigt som laserströmmen ändras. Kurvorna visar beräknad position m.h.a. kompenseringsdivisionen, i ena fallet utan kompensation för mörkerströmmen och i andra fallet med. Positionsangivelsen stämmer endast vid mörkerströmskompensation och denna tendens blir större desto högre mörkerströmmen är. Observera att PSD:ns maximala fotoström överstigs då laserströmmen i detta fall överstiger ca 48m (yttrar sig som ett steg på kurvan). Positionsangivelserna även med kompensation för mörkerströmmen stämmer inte då maximal fotoström överstigs! Åtgärd: Optiskt inteferensfilter Kompensering för mörkerströmmen Modulerad laser 12

För att minimera det oönskade ljuset och dess negativa effekter kan man framför PSD:n montera ett optiskt interferensfilter som är anpassat efter diodlaserns våglängd varvid man utestänger det mesta av det oönskade infallande ljuset. Man är intresserad av enbart de strömmar som induceras av laserpunkten. Detta kan man åstadkomma genom att mäta mörkerströmmarna och sedan vid mätningar dra ifrån mörkerströmmarna från de totala inducerade strömmarna. Modulerar man lasern med en fyrkantsvåg och mäter topp-till-toppnivåerna, åstadkommer man samma resultat med den skillnaden att man hela tiden mäter den ström som enbart laserpunkten står för så att en förändring av mörkerströmmen under mätningens gång kan kompenseras. Figur 16: Exempel på samplad signal från PSD belyst med modulerad laserpunkt. Moduleringsfekvens 10kHz (fyrkantsvåg), samplingsfrekvens 500kS/s. Bilden visar hur samlingsvärdena integreras för att ge en genomsnittsnivå som i sin tur ger topp-, eller bottenvärdet som utnyttjas vid topp-till-toppnivåberäkningen. Inte alla samplingsvärdena på topp respektive botten integreras utan eventuella överslängar på signalen tillåts klinga ut. I detta fall integreras 12 samplingsvärden (integrering påbörjas 8 samplingar efter att topp- respektive botten har nåtts) Vilken av åtgärderna är lämplig, modulering eller kompensering för mörkerströmmen, beror på det oönskade infallande ljusets beskaffenhet, mätningens längd och laserpunktens hastighet. Det oönskade infallande ljuset kan ha olika beskaffenhet beroende av omgivningens ljuskällor. Lysrör ger en modulerad påverkan av mörkerström, antingen med nätfrekvens dvs. 50Hz eller i khz-området (p.g.a. HF-filter). Infallande solljus och glödlampsljus ger en förhållandevis stabil påverkan av mörkerströmmen i alla fall under korta tidsintervall. Vid längre mätningar kan mörkerströmmen i större omfattning påverkas p.g.a. yttre omständigheter, t.ex. solen utanför går i moln, belysning i lokalen tänds eller släcks, PSD:n skuggas. 13

Laserdioden bör inte moduleras i högre frekvens än 10kHz för att säkra mer exakta topp-till-toppvärden. Detta begränsar mätningar av laserpunktens rörelse till någon kilohertz. Fotobrus Effekt: Ändrad position Högre brusnivå Ökat lasereffektberoende Fotobruset induceras i PSD:n p.g.a. temperaturen och dubbleras ungefär var sjätte grad. PSD-mörkerström kontra temperatur Endimensionell PSD (SiTek 1L2,5) 60 50 Mörkerström [na] 40 30 20 10 Mörkerström x1 Mörkerström x2 0 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 Temperatur [C] Diagram 2: Mörkerströmmarna vid olika temperaturer mellan 10 C och 60 C hos en endimensionell PSD (SiTek 1L2,5). PSD:n träffas inte av något infallande ljus varför mörkerströmmarna bara består av fotobruset. Effekten är ungefär den samma som vid oönskat infallande ljus med skillnaden att de inducerade strömmarna är mer stabila. På samma sätt som för strömmarna som induceras av det oönskat infallande ljuset påverkas den beräknade positionen för den fokuserade laserpunkten samtidigt som brusnivån och lasereffektberoendet ökar. Åtgärd: Modulerad laser Kompensering för mörkerströmmen Kompensering med temperaturgivare Med åtgärderna att antingen modulera lasern eller kompensera för mörkerströmmen åtgärdar man de negativa effekterna av både det oönskat infallande ljuset och fotobruset. Men eftersom fotobruset är mer stabilt över tiden och mindre beroende av snabba förändringar i omgivningen så är kompensering av mörkerströmmen att föredra framför modulering av diodlasern. Eftersom fotobruset har ett känt linjärt temperaturberoende är det möjligt att till en viss del kompensera fotobruset m.h.a. temperaturgivare och någon form av återkoppling eller kalibrering. 14

Positionsolinjäritet Effekt: Försämrad precision Vid tillverkningsprocessen av PSD:ar uppkommer små tillverkningsonoggrannheter som yttrar sig i positionsfel över PSD:ns aktiva yta. Beroende på typ av PSD, en- eller tvådimensionell, och tillverkare varierar denna olinjäritet både till storlek och utseende. Typiska endimensionella PSD:ar med hög linjäritet har ett positionsolinjäritetsfel på ±0,1 % av totala mätsträckan medan tvådimensionella PSD:ar med hög linjäritet har ett positionsolinjäritetsfel på ±0,3 %. Detta gäller inom 80 % av mätlängden (d.v.s. 64% av mätytan för tvådimensionella PSD:ar) och förutsatt att PSD:n är backförspänd med 5-20V. Åtgärd: Kompensera med uppmätt linjäritetskurva Linjäritetsfelet är unikt för varje enskild PSD men går att mäta upp. Detta görs genom att laserpunkten förflyttas över PSD:ns aktiva yta samtidigt som den beräknade PSDpositionen jämförs med ett referensinstrument (vanligtvis en laserinterferometer) som mäter förflyttningen. Figur 17: Linjäritetsmätning och kalibrering av tvådimensionell PSD i mätmaskin (Nikon VMH-300N). På detta sätt kan man fram en linjäritetskurva som visar positionerlingslinjäritetsfelet i ett visst antal punkter på PSD:ns yta. 15

Linjäritetskurva för SiTek 1L2,5 PSD-position vs laserinterferometer. 6,5V backspänning (+ 6,5V på katoden), Inteferensfilter påmonterad, kompenserat för mörkerströmmen 1,5 1,0 Differens [um] 0,5 0,0-0,5-1,0-500 -1,5-2,0-425 -350-275 -200-125 -50 25 100 175 250 325 400 475 Position [um] Diagram 3: Exempel på linjäritetskurva för en endimensionell PSD. PSD:ns positionsuppgifter har jämförts med en mätmaskin under förflyttning över 1mm av ytan (total aktiv mätsträcka: 2,5mm). Vid beräkning av laserpunktens position och där höga krav på precision ställs kompenseras den beräknade positionen med den tidigare mätta linjäritetskurvan. För att kompenseringen skall fungera bra förutsätts att PSD:ns läge är detsamma vid kalibreringsmätning som vid kompenseringstillfället samt att eventuellt påmonterat interferensfilter inte rubbas mellan tillfällena. Annars kan i värsta fall olinjäritetskalibreringen förvärra positionsolinjäritetsfelet. Ljuskälla Viktigt: Total maximal ljuseffekt (maximal total fotoström) får inte överstigas Maximal ljuseffekt per ytenhet får inte överstigas Så hög ljuseffekt som möjligt för att minimera signal-brusförhållandet Anpassad ljusfrekvens Ljuskällan skall anpassas så att PSD:ns maximala fotoström inte överstigs, inte heller maximal ljuseffekt per ytenhet. Däremot skall ljuseffekten vara så hög att inte signalbrusförhållandet inte blir onödigt stort. Samtidigt skall ljuskällans våglängd anpassas till PSD:ns känslighet vilket i praktiken betyder röd eller infraröd. 16

Diagram 4: Känsligheten vid olika ljusfrekvenser för SiTek:s standard-psd:ar Om maximal fotoström överstigs kommer PSD:n att överstyra varvid den inducerar mer ström då den belyses närmare en ända än då den belyses i mitten. Strömmarna rusar i ändarna. Fotoströmmarna vid olika positioner och olika laserström (endimensionell PSD Hamamatsu 3979) 120 100 Fotoström [ua] 80 60 40 20 x1 (80mA) x2 (80mA) x1 (40mA) x2 (40mA) 1x (50mA) 1x (50mA) 0-1 -0,75-0,5-0,25 0 0,25 0,5 0,75 1 Position kontra centrum [um] Diagram 5: Exempel på hur fotoströmmarna hos en endimensionell PSD påverkas vid förflyttning av la serpunkt över ytan. Max fotoström uppnås då PSD:n belyses med en diodlaser matad med mer än ca 45mA varvid PSD:n blir olinjär kurvorna får krökt form. Om maximal fotoström däremot inte överstigs förändras elektrodströmmarna linjärt vid förflyttning av ljuspunkten över PSD:ns aktiva yta. Summan av elektrodströmmar är konstant oavsett belyst position. 17

20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60 64 68 72 76 80 84 Examensarbete: PSD-lasermätning Fotoströmmar vid olika positioner och olika laserström Endimensionell PSD (Hamamatsu 3979) 3,5 3 Fotoström [ua] 2,5 2 1,5 1 x1 (30mA) x2 (30mA) 1x (35mA) 1x (35mA) x1 (40mA) x2 (40mA) 0,5 0-1 -0,75-0,5-0,25 0 0,25 0,5 0,75 1 Position kontra centrum [um] Diagram 6: Exempel på hur fotoströmmarna hos en endimensionell PSD påverkas vid förflyttning av laserpunkt över ytan. Vid dessa laserströmmar (under ca 45mA) överstyr inte PSD:n då inte maximal fotoström överstigs. Kurvorna är då linjära. Elektrodströmmarna ökar linjärt med ökad ljusexponering tills maximal fotoström nås, då ökar elektrodströmmarna kraftigt vid ökad ljusexponering för att sedan plana ut. Laserström kontra fotoström, 5mm från centrum Endimensionell PSD (SiTek 1L2,5) 25 20 Fotoström [ua] 15 10 x1 x2 5 0 Laserström [ma] Diagram 7: Exempel på hur fotoströmmarna för en endimensionell PSD ändras då effekten hos diodlasern som belyser 0,5mm från centrum på PSD:n ändras. PSD:n överstyr då maximal fotoström överstigs, motsvarande en laserström på ca 45mA. Överstigs maximal fotoström försämras även PSD:ns stegsvar vilket betyder att PSD:n reagerar långsammare på förflyttning av ljuspunkt över ytan samt modulerad ljuskälla. Dessa tre signifikanta beteenden som uppträder då maximal fotoström överstigs kan utnyttjas då man undersöker var nivån befinner sig för att kunna optimera effekten hos ljuskällan som skall positioneras. Beroende på hur stabil ljuskälla som utnyttjas och hur den styrs samt hur mycket det oönskade infallande ljuset och temperaturen varierar 18

anpassas ljuskällans effekt. Detta betyder vanligtvis att ljuskällans effekt ställs till 50-90% av den uppmätta eller kända effekt där maximal fotoström överstigs. Punktstorleken bör på mindre PSD:ar ha en diameter mellan 0,1 och 0,3mm, detta för att maximal ljuseffekt per ytenhet inte skall överstiga vilket i praktiken betyder att det är minsta möjliga punkt där den begränsande faktorn är total fotoström. Punkten bör vara så jämn och rund som möjligt för att undvika skillnader vid vridning. Om punkten är astigmatisk (vilket är fallet med diodlaserpunkter) bör denna vridas så att den avlånga delen är lodrät kontra X-planet på endimensionella PSD:ar. Diodlaser Diodlasern är den mest spridda lasertypen och används i vitt skilda användningsområden som i CD- och DVD-spelare, fiberoptik, laserpekare och diverse mättekniska utrustningar. Utbudet är brett, diodlasrar finns med våglängder från 630nm till 1,6µm och med effekter från någon milliwatt till flera watt. Livslängden är lång, vid rätthandhavande från 10 000 till 100 000 timmar. Fördelar: Små mått Enkelt modulerbar Enkel att driva Passande våglängd Billig Diodlaser som ljuskälla vid positionsmätning m.h.a. PSD har en rad fördelar som gör den till det mest lämpliga alternativet. Den främsta fördelen vid flexibla mätningar där krav på små mått och små vikter ställs är de små fysiska måtten hos diodlasrar. Själva dioden är inte större än några millimeter och väger bara några gram och drivelektroniken kan även göras mycket liten och kompakt. Den låga strömförbrukningen medger t.o.m. batteridrift om det inte finns möjlighet att dra fram kablar eller dessa är till en nackdel vid mätningen. Diodlasrar är enkla att modulera. Detta görs genom drivspänningen moduleras. Stigtiden är dessutom betydligt kortare än PSD:ns varvid diodlasern inte är den begränsande faktorn vid modulerad mätning med PSD. De vanligaste diodlasrarna alstrar rött eller infrarött ljus vilket stämmer bra med känslighetsområdet för standard-psd:ar. Eftersom diodlasrar är en standardiserad produkt som används inom vitt skilda användningsområden är kostnaden låg och utbudet stort. Nackdelar: Begränsat parallellt strålknippe Astigmatisk punkt I förhållande till andra mer komplexa lasertyper som tex. helium-neon, argon- och kryptonlaser är strålknippet begränsat hos diodlasrar. Detta betyder i praktiken att strålen sprider något under ett längre avstånd men även att det är svårare att fokusera 19

om laserstrålen med bibehåller parallellitet eller framkalla en mycket tunn stråle som inte sprider. Diodlasrar har dessutom generellt en astigmatisk punktform vilket innebär att punkten är elliptisk med ett längd-breddförhållande kring 1:3 för den mest ljusintensiva delen. Figur 18: Exempel på en intensitetskurva för en diodlaserpunkt som tydligt visar den astigmatiska tendensen som ger den elliptiska formen Genom att låta strålen gå igenom en bländare med rätt diameter reduceras på ett enkelt sätt största delen av den astigmatiska tendensen. Med speciell optik går det dessutom att ytterligare reducera astigmatismen som ger upphov till den elliptiska formen om det för tillämpningen är nödvändigt att åstadkomma en mer rund punktform. Optik Grundkrav: Optiken skall fokusera ner diodlaserpunktens diameter från 3-5mm vid dioden till 0,1-0,3mm på PSD:ns yta, dvs. en fokusering av punkten med faktor 10-50ggr utan att påverka formen allt för mycket eller att någon del av strålen diffunderar och sprids okontrollerat. Kompromisser: Fokuseringsavståndet får vara fast, någon eller några centimeter men måste kunna variera med några millimeter utan att det ställer till något problem. Mål: Optiken skall vara så enkel, kompakt, billig och flexibel som möjligt utan att grundkraven frångås. 20

Förstärkarkoppling Signalnivå 0,5-5µA från PSD:n Viktigt: DC-kopplad strömförstärkare Avskärmad från störningskällor, främst nätbrum Bandbreddsbegränsning Anpassad signalnivå och polaritet till signalbehandlingsenhet (t.ex. mätkort) Låg drift och offsetspänning De inducerade strömmarna från PSD:n ligger på en nivå kring 0,5-5µA. Dessa skall förstärkas till lämplig nivå innan signalbehandling. De låga signalnivåerna riskerar att utsättas för störningar varför det är viktigt att de oförstärkta signalerna inte går onödig lång väg. Likaså är det viktigt att förstärkarkopplingen i största mån skyddas från yttre störningskällor. Strömförstärkaren skall ha så låg brusnivå som möjligt samt låg tidsdrift och offsetspänning för att ge maximal noggrannhet vid senare signalbehandling av de förstärkta signalerna. Eftersom skillnaden mellan signalerna utnyttjas för att beräkna positionen är det viktigt att väl separera signalerna så att minimera överhörning samtidigt som det är viktigt att signalerna förstärks på så likartat sätt som möjligt och att elektroniken kring de olika signalerna påverkas på samma sätt vid temperaturförändring och drift. Gränsfrekvensen för bandbredden hos förstärkaren anpassas efter hastigheten på mätningar, d.v.s. maximal hastigheten för rörelsen hos den belysande punkten på PSD:n samt om modulerad ljuskälla utnyttjas. Större bandbredd ger större förstärkt brusnivå och därigenom främst försämrad upplösning hos de behandlade signalerna. Signalbehandling Viktigt: Hög precision i division av signaler Maximal bitupplösning (minst 12 bitar) Maximal samplingsfrekvens Anpassad mjukvara för datainsamling, beräkning och kompensering för olinjäritet och mörkerström Vid signalbehandlingen omvandlas signalerna från PSD:n till positionsuppgifter om var på PSD:ns aktiva yta som den fokuserade ljuspunkten belyser. Genom att sätta in signalerna i kompensationsformeln efter att ha kalibrerat längdkonstanten fås positionen i förhållande till centrum på PSD:n. Hög precision vid denna division är central för att positionsuppgiften skall vara korrekt med hög upplösning. Detta är också huvudanledningen till varför digital signalbehandling är att föredra framför analog då analoga integreringskretsars precision ofta inte räcker till. Vid digital signalbehandling är det viktigt att så hög bitupplösning som möjligt utnyttjas för maximal upplösning hos den beräknade positionen. 12 bitar (dvs. 4096-delnivåer) räcker ofta till om översampling utnyttjas men 16 bitar (dvs. 65536 delnivåer) är att föredra. 21

Samplingsfrekvensen måste vara så hög att den inte begränsar mäthastigheten vilket generellt betyder minst tio gånger så hög samplingsfrekvens som den maximala hastigheten hos förflyttning av ljuspunkten eller modulering. Om högre samplingsfrekvens finns att tillgå kan signalerna översamplas varvid signalerna integreras medelvärde och en del analogt och digitalt brus (kvantiseringsbrus) reduceras varvid upplösningen förbättras. Om bruset är rent stokastiskt så förbättras upplösningen generellt med 1/ (antal gånger översampling), dvs. tex. fyra gångers översampling ger en dubbelt så hög upplösning hos mätresultatet. Figur 19: Exempel på hur översamplande fungerar i praktiken. En signal med visst analogt brus samplas. 100 samplingar analyseras. Samtliga samplingar hamnar på den undre eller övre samplingsnivån. Genom integrering fås det genomsnittliga samplingsvärdet av samtliga hundra samplingar som har bättre noggrannhet än den begränsning som dålig bitupplösning ger. Om maximal precision skall uppnås kalibreras även signalerna för att minimera felen som det oönskade infallande ljuset, fotobruset och positionsolinjäriteten åstadkommer. Speciellt kalibrering av positionereringsolinjäriteten efter en uppmätt linjäritetskurva ger en mer komplex signalbehandling. Om olinjäritetskalibrering skall utnyttjas samtidigt som att snabba insvängningsförlopp och liknande skall mätas och analyseras krävs ofta signalbehandling i någon form av datorbaserad mjukvara. Alternativen är fler men National Instruments programvara LabView är ett av de mer lämpade alternativen pga. dess kraftfullhet, flexibilitet och användarvänlighet. I denna programvara kan allt ifrån enkla till komplexa applikationer för mätändamål mha. PSD skapas, och vid utvecklingsfasen finns många passande applikationer- och delapplikationer att tillgå. 22

Kalibrering Innan mätning med PSD kan genomföras måste längdkonstanten i kompenseringsdivisionen tas fram. Denna konstant skiljer något mellan olika PSDexemplar men motsvarar ungefär halva mätsträckan. Längdkonstanten fås fram på följande sätt: PSD:n belyses med den fokuserade laserpunkten. Centrum på PSD:n söks genom att finna den punkt på PSD:n där de inducerade strömmarna är lika. Figur 20: Figur 21: Endimensionell PSD belyst i centrum Fotoströmmarna I1och I2 är lika Laserpunkten förflyttas sedan till en position ca 25% från ett av ändlägena. Sträckan mäts med något annat referensinstrument och längdkonstanten anpassas så att den beräknade positionen från PSD (i förhållande till centrum) överrensstämmer med instrumentets angivna position. Figur 22 Laserpunkten förflyttas till motsvarande position vid motsatta ändläget varvid den beräknade positionen jämförs med instrumentets angivna position. Om inte positionerna överstämmer ändras längdkonstanten något så att skillnaden mellan positionsuppgifterna hos instrumentet och de beräknade PSD-positionerna blir de samma vid båda ändlägena. Figur 23 23