Årsredovisning 2002 Micronic Laser Systems AB (publ.)

Årsredovisning 2002 Micronic Laser Systems AB (publ.)

2002 i korthet Innehåll Stora investeringar för att nå marknadssegmenten för de mest avancerade fotomaskerna. Leverans av Sigma7100 samt fortsatt positionering av Sigma-serien genom lansering av Sigma7300 i en svag halvledarmarknad. Stabil efterfrågan på LRS11000-systemen för produktion av avancerade fotomasker för platta bildskärmar. Lansering av laserritaren MP185+ för nästa generation PDP-fotomasker samt förbättringar av produktserien MP80+ för elektronisk kapsling. Genomförd kostnadsreduktion för en anpassning till en svagare marknad. Detta är Micronic 4 VD summerar 6 Micronic-aktien 9 En integrerad aktör i ett globalt nätverk 12 Halvledarmarknaden: lasertekniken banar väg 16 Bildskärmsmarknaden: stabil efterfrågan 18 Multi Purpose: elektronisk kapsling den största tillämpningen 20 Ständigt nya tekniska utmaningar 22 Från vision till verklighet 27 Entreprenörskap och spetskompetens 30 Finansiella nyckeltal 32 Förvaltningsberättelse 34 Resultaträkningar 38 Kassaflödesanalyser 39 Balansräkningar 40 Redovisningsprinciper 42 Noter 44 Revisionsberättelse 52 Ledningsgrupp 53 Dotterbolagschefer 55 Styrelse och revisorer 56 Ordlista 58 Micronics historia 59

Detta är Micronic Micronic tillverkar laserritare som används i tillverkningen av fotomasker. Fotomasker används i sin tur för tillverkning av bildskärmar och halvledare, som finns i all modern elektronisk utrustning. Tekniken kallas mikrolitografi. Micronic positionerar sig inom detta område med produkter som kombinerar hög upplösning med hög produktivitet. Micronics kunder är fotomasktillverkare som levererar fotomasker till sluttillverkare av elektroniska produkter samt sluttillverkare med egen fotomasktillverkning. Huvudmarknaderna för Micronics laserritare är halvledarindustrin och bildskärmsindustrin. Ytterligare en marknad är den för Multi Purpose, där laserritarna främst används vid tillverkning av fotomasker till elektronisk kapsling. Orderingång MSEK 800 600 400 200 0 Från konstruktion till produkt Vision: Att leda den mikrolitografiska utvecklingen Mål: Att kombinera upplösning med produktivitet för att befästa den ledande positionen inom bildskärmssegmentet bli den ledande leverantören till halvledarindustrin möjliggöra produktion med hjälp av direktritning Strategi: Att uppnå våra mål genom tekniskt ledarskap kundfokus lokal närvaro Nettoomsättning och rörelsemarginal MSEK % 800 80 700 60 600 500 40 400 20 300 0 200 100-20 0-40 Nettoomsättning 2002 uppdelad per geografisk marknad USA 29% Asien 2% Japan 69% Fotomasker behövs för att tillverka halvledarkretsar, bildskärmar och för kapsling. Videokameran innehåller alla tre. Micronic har mönstergeneratorer för samtliga. Ett elektronikföretag utvecklar en produkt. En ny halvledarkrets behövs. En stepper massproducerar fotomaskens mönster på kiselskivor i flera steg. Resultatet blir halvledarkretsar. Kretsen konstrueras i en CAD-programvara. En mönstergenerator överför konstruktionen till fotomasken. Finansiell översikt MSEK 1997 1998 1999 2000 2001 2002 Orderingång, inklusive service 315 168 292 759 633 459 Orderstock, 31 december 219 117 194 307 279 231 Nettoomsättning 259 268 213 704 699 496 Rörelseresultat 56 44-74 83 17-90 Rörelsemarginal, % 21,5 16,3-34,4 11,8 2,4-18,1 Resultat per aktie före utspädning, kronor 3,34 2,27-3,81 3,93 0,37-3,30 Genomsnittligt antal anställda 103 140 166 240 284 299 1) Vinst per aktie baseras på antal aktier vid årets slut. Nettoomsättning 2002 fördelat på marknadssegment Multi Purpose 13% Service 17 % Halvledare 26 % Bildskärmar 44% Kretsarna skärs ur kiselskivan och kapslas. Kapslingen är både ett skydd och utgör gränssnittet för anslutning. Den färdiga kretsen monteras i den nya produkten. 4 5

VD summerar I förra årets årsredovisning framhöll jag att det var det året då vi etablerade oss som en leverantör av laserritare till halvledarindustrin. Vi konstaterade också att 2001 var det första året i modern tid då den globala försäljningen av elektronikprodukter föll och att denna nedgång snabbt slog igenom i den industri som Micronic tillhör. När det nu är dags att summera ett nytt år, kan samma beskrivning användas. Vi har under 2002 gjort ordentliga framsteg när det gäller att stärka våra positioner främst genom fortsatt kraftfulla utvecklingsinsatser. Samtidigt kan vi konstatera att marknaden kom att bli långt sämre än vad vi, och de flesta i industrin, kunnat ana. Men låt oss betrakta utvecklingen i ett något större sammanhang. Från FoU till intäkter Micronic är ett teknikintensivt företag, vilket innebär aggressiv satsning på fou. Den tekniska utvecklingen i vår industri kräver detta för att vi skall vara en ledande aktör på marknaden. Men Micronic är också ett företag som visat att man kan omsätta innovativa tekniska lösningar till starka marknadspositioner och goda intäkter. Vi är sedan länge den klart ledande leverantören av avancerade laserritare till bildskärmsindustrin. Denna starka marknadsposition med nöjda kunder är en plattform som vi kunnat bygga vidare på, bland annat mot det marknadssegment vi kallar Multi Purpose. Men trots detta och som enda leverantör till bildskärmsmarknaden blir tillväxten begränsad. I denna bransch tenderar dessutom investeringarna att fluktuera kraftigt. Mot en större marknad Beslutet att bredda tillämpningen av vårt tekniska kunnande och ta oss in på halvledarmarknaden kom efter moget övervägande. Detta är en betydligt större, men också en mer krävande marknad. Vi bedömer marknaden för mönstergeneratorer till cirka tio gånger större än den för bildskärmar. Det är till denna marknad vi genom vår unika teknik har produkter som inte bara svarar mot kundernas förväntningar, utan faktiskt löser en flaskhals i halvledarindustrins utveckling. Denna industris utmaning är att kunna reducera tillverkningskostnaderna och förbättra prestandan genom förminskning av storleken på transistorn. Detta ska ske samtidigt som kostnaderna för fotomasker om de tillverkas med den traditionella elektronstråletekniken växer exponentiellt för varje teknikgeneration. Takten i utvecklingen inom halvledarindustrin innebär att en ny teknikgeneration kommer fram vartannat år enligt den så kallade Moores lag. För att kunna genomföra denna processutveckling krävs att fotomasker finns tillgängliga tidigt i utvecklingskedjan. Kravet på teknikutvecklingen av mönsterritare avstannar alltså inte även om volymefterfrågan på fotomasker och därmed mönsterritare för den senast etablerade tekniknoden fördröjs i en svag konjunktur. Den bästa av två världar Tillverkning av fotomasker för halvledarindustrin har sedan länge även skett med hjälp av laserritare. I denna krävande industri har Micronic på tre år etablerat sig som en ledande leverantör med produktserien Omega. Men dessa scannande laserritare är tekniskt begränsade i upplösning av ljusvåglängden och kan därför inte ersätta elektronstråletekniken när det gäller de mest kritiska och därmed kostsamma fotomaskerna. Under år 2002 levererade vi vår första laserritare av en helt ny typ, Sigma7100, som är baserad på en ny banbrytande lösning i form av slmtekniken. Denna unika teknik gör det äntligen möjligt att kombinera kostnadseffektiviteten hos laserritaren med upplösningen hos elektronstråletekniken. Grunden till att vi nu med en laserbaserad teknik lyckas nå den erforderliga upplösningen är att vi har utvecklat ett system som till stora delar efterliknar wafer steppern. Detta är den utrustning som avbildar fotomaskens mönster på kiselskivan och som optiskt kan generera de minsta strukturerna som industrin behöver. Det är upplösningen förmågan att rita de minsta detaljerna på fotomasken som är avgörande för att skapa kundintresse och förutsättningar för affärer inom det mest avancerade och därmed kommersiellt intressantaste marknadssegmentet. Vi har under året vid ett flertal möten med viktiga kunder fått kvitto på att vår teknik möter deras upplösningskrav. Utvecklingen av en ny teknik som denna, med tillhörande plattform, är mycket krävande både i form av tid och resurser. Den innefattar även stora insatser kring den kemiska processen och datahantering, vilket måste göras i nära samarbete med kunder och andra leverantörer. Vi har under året, tack vare starka insatser av våra medarbetare och partners, nått stora framsteg på ett antal nyckelområden. Vi har under mer än ett decennium, steg för steg, flyttat fram våra positioner och antagit allt större utmaningar. Med den unika SLM-tekniken har vi flyttat fram gränserna för vad som är möjligt i vår bransch. Nu skall vi kopiera vår kommersiella framgång från bildskärmsmarknaden till halvledarområdet. Sven Löfquist, verkställande direktör 6 7

Micronic-aktien Vi kan nu konstatera att Sigma-plattformen med vår unika slm-teknik möter våra förväntningar och har alla förutsättningar att bli en kommersiell framgång. Plattformen som vi skapat är skalbar och kan därför användas under flera kommande generationer av halvledarteknik. Vi kunde också redan i slutet av året lansera Sigma7300, den andra generationen Sigma-system, som kommer att användas för tillverkning av fotomasker ned mot tekniknoden 65 nanometer. Direktritning ett naturligt steg Vår slm-teknik har visat sig kunna användas till mer än att enbart erbjuda industrin effektiva laserritare. Att komplettera den traditionella tillverkningsprocessen med en litografimetod utan den dyra fotomasken för prototyp- och småserietillverkning, så kallad direktritning, har alltid varit en vision för industrin. Med den exponentiella kostnadsökningen för fotomasker blir detta koncept allt mer ekonomiskt intressant. Vår slm-teknik, som bygger på stepperkonceptet, gör för första gången direktritning kommersiellt möjlig för halvledartillverkning. Direktritning är också för Micronic ett effektivt sätt att kapitalisera på den omfattande investering vi gjort i utvecklingen av slm-tekniken genom en breddad tillämpning. Vi har i nära samarbete med asml gjort en första systemdesign och genomförda marknadsstudier visar på mycket goda marknadsmöjligheter. Året i sammanfattning Sammanfattningsvis var 2002 marknadsmässigt ett mycket svagt år betydligt sämre än 2001. Till detta skall läggas en försvagning av dollarn gentemot vår redovisningsvaluta svenska kronor. Trots den svaga försäljningen höll Micronic ställningarna och försvarade marknadspositionerna inom samtliga tre produktområden halvledare, bildskärmar och Multi Purpose. När det gäller de framtida positionerna har vi fortsatt de kritiska investeringarna i forskning och utveckling, vilket vi ämnar att fortsätta med. Parallellt med detta har vi också avsevärt stärkt patentskyddet kring vår nyckelteknik för att säkra värdet på dessa investeringar. Internt har vi arbetat hårt med att sänka kostnaderna och att anpassa oss till den svagare marknaden. Vi har minskat vår personalstyrka med cirka tio procent, något som var nödvändigt att genomföra. Vi har också effektiviserat organisationen och vi kan rapportera en stark minskning av vår kassaförbrukning under andra halvåret jämfört med det första. Under året har vi avslutat investeringarna i vårt processlaboratorium samt i ett nytt affärssystem. Utblick 2003 Efter ytterligare ett mycket svagt år där marknaden karaktäriserats av teknikinvesteringar, vet vi att det finns ett stort kapacitetsbehov då efterfrågan på halvledarkomponenter tar fart. När detta behov kommer att övergå i ökad orderingång och leveranser är svårt att säga då det styrs av tillverkarnas uppfattning om slutmarknaden. Vi arbetar vidare med målet att omsätta våra intensiva utvecklingssatsningar i kommersiella framgångar även i en fortsatt svag marknad kännetecknad av teknikinvesteringar. Vi kommer att stå starka med vårt breda produktsortiment då halvledarmarknaden vänder tillbaka. Vi fortsätter också marknadsbearbetningen kring direktritning med målsättningen att engagera potentiella kunder i finansiering av fortsatta aktiviteter. Vi har inom bildskärmssegmentet visat att man kan nå en stark och lönsam position genom tekniskt ledarskap och effektiv kundsupport. Vårt mål är nu att göra motsvarande inom halvledarmarknaden. Vi har de tekniska lösningarna, en bra organisation, kompetenta och uthålliga medarbetare och våra kunder vill att vi ska lyckas! Sven Löfquist Verkställande direktör Micronic (micr) noterades på Stockholmsbörsens O-lista den 9 mars 2000 och ingår sedan den 2 januari 2001 i Attract 40-listan. Micronics börsvärde uppgick vid utgången av 2002 till msek 787,8 (3 667,7), baserat på börskursen 41 kronor den 30 december (191). Kursutvecklingen har under året varit negativ och sjunkit med 78 procent samtidigt som Affärsvärldens Generalindex sjunkit med 37 procent. En branschjämförelse visar att sx45 (Stockholmsbörsens Informationsteknikindex) föll med 79 procent under 2002, medan sox (Philadelphia Semiconductor Index) föll med 45 procent. Micronic-aktien har under året högst betalats med 203 kronor (den 14 januari) och som lägst med 35,10 kronor (den 10 oktober). SEK 350 300 250 200 150 100 50 Micronic Laser Systems Nasdaq 100 Idx Micronic-aktier har omsatts under samtliga 249 börsdagar 2002 och den totala omsättningen uppgick till 10 766 057 aktier, motsvarande ett värde om totalt 1259 msek, vilket ger en genomsnittlig dagsomsättning om 43 237 aktier till ett genomsnittligt värde om 5,1 msek. Aktiekapital Aktiekapitalet uppgår till 19 215 283 sek, fördelat på lika många aktier med ett nominellt värde på 1 sek. Ägarstruktur Antalet aktieägare var vid årets slut 4 737, jämfört med 4 680 vid utgången av 2001. De tio största ägarna representerade 60,5 procent (57,1) av aktiekapitalet. Utländska ägare representerade 37,3 procent (37,8) av kapitalet. Afv Generalindex Andelen institutionella ägare (svenska institutioner och utländska ägare) var vid årets utgång 85 procent (85). Det svenska ägandet fördelas mellan institutioner 27,7 procent (31,5), aktiefonder 20 procent (15,8) samt privatpersoner 14,9 procent (14,9). Styrelsen och företagsledningen har en sammanlagd ägarandel om totalt 422 171 aktier. Därutöver innehar styrelse och ledning optioner, vilket kan leda till nyteckning av 24 600 aktier. Ägarstruktur per den 30 december 2002 Utländska ägare 37% Omsatt antal aktier i 1000-tal per månad (inklusive eft.anm) 0 m a m j j a s o n d j f m a m j j a s o n d j f m a m j j a s s o n d 2000 2001 2002 Svenska ägare 63% Institutioner 28% Fonder 20% Privata ägare 15% Antal i 1000-tal 5000 4000 3000 2000 1000 0 8 9

10 Utdelningspolitik Micronic har inte lämnat någon utdelning sedan bolaget bildades. Micronic planerar heller inte någon utdelning under de närmaste åren utan ämnar behålla de vinstmedel som genereras för att finansiera ytterligare utvecklingsarbete samt fortsatt satsning på försäljning och marknadsföring. Micronics optionsprogram Micronic har sedan 1997 vid fem tillfällen introducerat optionsprogram. Av dessa har fyra program riktats till de anställda. Vid årets utgång fanns tre optionsprogram med löptider fram till utgången av 2005. Optionsprogram 4, vilket utfärdades 1999 i samband med Omega6000- ordern från DuPont Photomasks, omfattar 736 050 teckningsoptioner med rätt att teckna lika många aktier. Optionerna kan lösas in under perioden 2000-01-01 till och med 2003-12-31. Teckningskursen är 60 kronor. Teckningsoptionerna tilldelades DuPont i rater enligt avtal mellan Micronic och DuPont och är i sin helhet tilldelade. Under 2001 introducerades ytterligare optionsprogram riktat till samtliga medarbetare inom koncernen. Programmen omfattar 380 000 och 130 000 respektive 90 000 optioner med rätt att teckna lika många aktier. Teckning av aktier kan ske under perioden 2003-10-01 till och med Aktiekapitalets utveckling Ökning av Totalt antal Totalt aktie- År Transaktion antalet aktier aktier kapital, kr 1989 Bolaget grundas 500 50 000 1989 Nyemission 9 500 10 000 1 000 000 1989 Nyemission 6 000 16 000 1 600 000 1990 Nyemission 3 300 19 300 1 930 000 1994 Nyemission 1 801 21 101 2 110 100 1997 Fondemission 5:1 84 404 105 505 10 550 500 1997 Split 100:1 10 444 995 10 550 500 10 550 500 1997 Nyemission 1 450 000 12 000 500 12 000 500 1998 Nyemission 2 000 083 14 000 583 14 000 583 2000 Nyemission 4 500 000 18 500 583 18 500 583 2000 Utnyttjande av teckningsoptioner 600 000 19 100 583 19 100 583 2001 Utnyttjande av teckningsoptioner 102 000 19 202 583 19 202 583 2002 Utnyttjande av teckningsoptioner 12 700 19 215 283 19 215 283 Antal aktier med hänsyn till teckningsoptioner och konvertibler Antal utestående aktier per 31 december 2002 19 215 283 Utestående teckningsoptioner 1 336 050 Antal aktier efter utnyttjande av teckningsoptioner 20 551 333 Konvertibelt förlagslån till ASML 1 000 000 Antal aktier efter full konvertering 21 551 333 Optionsprogram 2003-12-31 till kursen 312 sek per aktie för anställda i Sverige (totalt 510 000). Medarbetarna i de utländska bolagen har rätt att under perioden 2005-10-01 till och med 2005-12-31 teckna 90 000 aktier till kursen 208 sek. Totalt antal ej fördelade optioner uppgick per 2002-12-31 till 238 500 stycken. Vid utgången av 2002 förföll ett optionsprogram, introducerat 1999, riktat till de anställda. Teckningskursen var 90 sek och optionen har förfallit utan att teckning av aktier skett. Program 4 5/6 7 Teckningstid från 2000-01-01 2003-10-01 2005-10-01 Teckningstid till 2003-12-31 2003-12-31 2005-12-31 Teckningskurs 60 312 208 Styrelse och VD 8 800 Ledningsgrupp 12 800 3 000 Övriga anställda 1) 301 900 35 000 Externa affärspartners 736 050 Ej fördelade 2) 186 500 52 000 Totalt 736 050 510 000 90 000 1) Arbetande styrelseordföranden innehar 4 400 teckningsoptioner. 2) Återstående ej fördelade optioner har ej upptagits till något värde i redovisningen. Förutom dessa optionsprogram kan asml, genom ett konvertibelt förlagslån på 320 msek, fram till 2004-07-31 teckna en miljon aktier, motsvarande cirka fem procent av totalt antal aktier i bolaget. Micronics tio största ägare per den 30 december 2002 Ägare Antal aktier Andel i % Stiftelsen Industrifonden 3 500 000 18,2 Capital Group fonder 2 096 976 10,9 Salomon Smith Barney 950 000 4,9 JP Morgan Chase Bank 925 937 4,8 Robur fonder 815 234 4,2 Skandia 712 750 3,7 Banco fonder 703 490 3,7 Skandia Carlson fonder 686 049 3,6 Nordea fonder 682 000 3,6 Fidelity fonder 552 282 2,9 Summa 10 största ägarna 11 624 718 60,5 Övriga ägare 7 590 565 39,5 Totalt antal utestående aktier 19 215 283 100,0 Efter full utspädning av optioner och konvertering kan det totala antalet aktier komma att uppgå till 21 551 333 stycken. Ägarstruktur, storleksklasser Antal aktie- Antal aktier Storleksklass ägare och röster % Mer än 100 000 26 13 316 740 69,30 50 001-100 000 29 2 005 216 10,44 10 001-50 000 78 1 935 176 10,07 5 001-10 000 46 355 630 1,85 2 001-5 000 117 395 065 2,06 1 001-2 000 170 268 044 1,39 501-1 000 407 352 066 1,83 1-500 3 864 587 346 3,06 Totalt 4 737 19 215 283 100,00 Analytiker som kontinuerligt följer Micronic Analytiker Telefon e-mail Alfred Berg Patrick Clase +46 8 5723 60 30 patrick.clase@alfredberg.se Carnegie Martin Nilsson +46 8 676 88 00 marnil@carnegie.se Credit Agricole Indosuez Cheuvreux Johan Eliason +46 8 723 51 77 jeliason@caicheuvreux.com Deutsche Bank AG David Halldén +46 8 463 55 15 david.hallden@db.com Enskilda Securities Johan Grabe +46 8 522 295 00 johan.grabe@enskilda.se Evli Anders Berg +46 8 407 80 25 anders.berg@evli.com Evli Frans Heijbel +46 8 407 80 29 frans.heijbel@evli.com Handelsbanken Capital Markets Jonas Eixmann +46 8 701 16 81 joei02@handelsbanken.se Human Securities Mattias Eriksson +46 8 506 520 62 mattias.eriksson@humansecurities.se JP Nordiska Mikael Laséen +46 8 791 48 27 mikael.laseen@nordiska.com Redeye Urban Ekelund +46 8 545 013 31 urban.ekelund@redeye.se Redeye Roger Jansson +46 8 545 013 30 roger.jansson@redeye.se Remium Securities Robert Ahldin +46 8 454 32 00 robert.ahldin@remium.com Swedbank Mats Larsson +46 8 585 925 42 mats.larsson@foreningssparbanken.se Arete Research Brett Simpson +44 20 795 913 20 brett.simpson@arete.net Data per aktie finns under Finansiella nyckeltal på sidan 32. 11

En integrerad aktör i ett globalt nätverk Vägen från konstruktion till färdig produkt: Ett europeiskt elektronikföretag beställer en kretskonstruktion hos en konstruktör i Silicon Valley. Den färdiga konstruktionen skickas till Japan där någon av Micronics kunder tillverkar fotomaskerna. Dessa skeppas till Singapore. En legotillverkare för halvledarkretsar (foundry) massproducerar kretsen. Fabriken är ett mångmiljardkomplex med utrustning från företag över hela världen. Kretsen skickas till Taiwan där den kapslas och den färdiga komponenten skickas vidare till Kina för slutmontering för det europeiska elektronikföretagets räkning. Micronic är del av en global industri som är starkt integrerad. Företagets kunder finns spridda över världen. Genom åren har företaget alltmer vävts in i branschens nätverk och utökat närvaron hos kunderna. Förmågan att skapa och underhålla relationer samt att ge kunderna snabbt och effektivt stöd ligger till grund för Micronics framgång. Halvledar- och bildskärmsindustrin är global Exemplet till vänster gestaltar både komplexiteten i industrin och hur utspridd den är över världen. Den geografiska spridningen kan förenklat beskrivas som ett antal regionala centrum, exempelvis västra usa, Japan eller Sydostasien. Ibland har också regioner specialiserat sig på olika områden; t ex är elektronisk kapsling och bildskärmstillverkning starkt representerade i Japan och Sydostasien. De olika regionerna samverkar och för att nå hela marknaden så krävs närvaro i de olika regionerna. Industrin är också synnerligen kapital- och utvecklingsintensiv. För att få marknadsvolym, som motiverar de fördelar kapitalintensiv stordrift kan ge, behöver de flesta komponentleverantörerna arbeta med hela världen som marknad. På samma sätt är utrustningsmarknaden starkt konsoliderad för att hantera utvecklingskostnaderna. Utrustningsleverantörer som Micronic har alltså kunder över hela världen. Den höga utvecklingstakten och den starka integrationen i tillverkning och infrastruktur driver också fram täta samarbeten mellan industrins aktörer. Det är i denna miljö Micronic har etablerat sig och fortsätter att utvecklas. Micronic i världen Micronic arbetar målmedvetet för att effektivt agera i den globala miljön. Det sker genom strategiskt nätverksbyggande, effektiva kanaler för marknadsbearbetning och lokal närvaro. Strategiskt nätverksbyggande På den globala arenan verkar Micronics kunder, samarbetspartners, leverantörer och industrins organisationer. Den tekniska utvecklingen drivs framåt genom nära relationer till dessa aktörer. Ofta kan en aktör också ha flera roller. Med en medveten strategi för relationsbyggande har Micronic genom åren integrerats i industrin och företaget arbetar aktivt med att stärka närvaron i nätverken. Micronics kunder har ett stort kunnande om fotomasktillverkning och vad som krävs av mönsterritare. Tillsammans med kunder arbetar Micronic med utvecklingsprojekt för att möta nya krav från marknaden. Kunderna driver på utvecklingen av produkterna och bidrar till Micronics kunnande. I vissa fall skapar också kunder utökade användningsområden och marknader för Micronics mönsterritare. Flera av Micronics underleverantörer är nära samarbetspartners. En viktig sådan aktör är Fraunhofer- Institute for Photonic Microsystems i INSTALLERADE SYSTEM Japan 48% Asien 24% USA 20% Europa 8% USA Dotterbolag: Micronic Laser Systems, Inc. VD: M. Ferreira Agent: PacTech Enterprises LLC VD:T. Halloran Agent: Lite Enterprises Inc VD: D. Ronning Dresden. De ligger i ett av Europas mikroelektroniska centrum tillsammans med flera ledande halvledartillverkare. Fraunhoferinstitutet strävar efter att bli Center of Excellence in Photonic mems. mems-teknologin ligger till grund för Micronics nya generation produkter. Tillsammans driver företagen utvecklingen av en nyckelkomponent, slm, som Fraunhofer också levererar till Micronic. SVERIGE Huvudkontor: Micronic Laser Systems AB VD: S. Löfquist Micronic deltar även i bredare samarbeten, som till exempel standardiseringsarbeten genom industrins samarbetsorganisationer. Branschorganisationen semi (Semiconductor Equipments and Material International) driver flera projekt inom halvledar- och bildskärmsindustrin, som Micronic deltar i. KINA Agent: Hermes Epitek Corp. VD: C.Y. Shu TAIWAN R.O.C. Dotterbolag: Micronic Laser Systems Far East Co, Ltd Agent: Hermes Epitek Corp. VD: C.Y. Shu SYDKOREA Agent/Service: Microcom VD: K.S. Lee JAPAN Dotterbolag: Micronic Japan K.K. VD: M.Tsutsui Distributör: Hakuto Co., Ltd VD:T. Hirai Affärspartner: HTL Co., Ltd VD: A. Acharya 12 13

semi leder bland annat ett konsortium av mjukvaruföretag, halvledartillverkare, fotomasktillverkare och utrustningstillverkare som arbetar för att ta fram ett nytt dataformat som fått namnet Oasis, ett projekt där Micronic bidragit starkt. Oasis ska bättre hantera de enorma datavolymer som för närvarande bidrar till höga kostnader och långa produktionstider vid framställning av avancerade fotomasker. Kanaler för global marknadsbearbetning Kundbasen är begränsad och därför är direktbearbetning av kunderna ett viktigt inslag i säljprocessen. Micronics marknadsbearbetning sker tillsammans med agenter och distributörer. Dessa samarbetar med Micronic genom hela försäljningsprocessen och i Japan deltar Micronic på mässor via den lokala distributören Hakuto och på Taiwan via den lokala agenten Hermes-Epitek. Micronic har ett starkt nätverk av bransch- och teknikexperter som står i nära kontakt med såväl Micronic som med bolagets kunder. Dessa ambassadörer medverkar vid tekniska diskussioner och försäljningsaktiviteter. En annan marknadsföringskanal är de mässor som branschorganisationen semi arrangerar världen över. Micronic presenterar vetenskapliga rapporter på de för fotomasktillverkarna viktiga vetenskapliga konferenserna, som spie (International Society for Optical Engineering) och sid (Society for Information Display) arrangerar. Under året har Micronic presenterat fem konferensbidrag. Slutligen betyder en lyckad produktintroduktion mycket för mottagandet på marknaden. Utöver att utgöra en god referens leder en lyckad introduktion ofta till ökad efterfrågan på fotomasker tillverkade med produkten. Global organisation med stark lokal närvaro Allt kortare produktcykler samt halvledar- och bildskärmstillverkarnas strävan efter att minska tiden från produktidé till lansering av nya produkter ställer krav på rationell och snabb leverans av fotomasker. En försenad leverans av en fotomask är ofta mycket kostsamt för slutkunden. Fotomasktillverkaren är därmed beroende av både snabb tillverkning och driftsäker utrustning. En väl fungerande serviceoch kundsupport för tillverkningsutrustningen är en förutsättning för detta. Detta gäller i högsta grad Micronic. Genom en stark global serviceorganisation, som finns nära kunderna, säkerställer Micronic att behoven av service och installationer tillgodoses. En stor del av Micronics installerade laserritare finns i Japan, där merparten av de mest avancerade fotomaskerna för bildskärmar tillverkas. Också i Sydkorea har Micronic en stor installerad bas av system för fotomasker för bildskärmstillverkning. Micronic har även ett flertal system för elektronisk kapsling installerade både i Asien och usa. Kraven på en global serviceorganisation med närhet till kunden har ökat ytterligare i och med Micronics inbrytning på marknaden för laserritare för halvledarmarknaden. Dessa installationer är generellt mer krävande samtidigt som kundbasen är mer geografiskt spridd än Micronics övriga marknader som är koncentrerade i Asien. På de största marknaderna, Japan och usa, har Micronic byggt upp en serviceorganisation. Utöver Micronics egen serviceorganisation finns etablerade samarbetsavtal om service med de lokala agenterna Microcom i Sydkorea och Hermes-Epitek i Taiwan. Kundsupportorganisationen i Sverige fungerar som stöd åt de lokala serviceorganisationerna och har som huvuduppgift att ge tekniskt expertstöd, tillgodose reservdelsförsörjning samt säkerställa kompetensuppbyggnad hos lokalbolagen. Kina är en växande marknad, också för Micronic. Där har företaget under 2002 öppnat ett lokalkontor i Shanghai. I Taiwan har serviceorganisationen bolagiserats. Att flytta fram gränserna innebär att man hela tiden ger sig in på okända områden. Jag försöker anta nya utmaningar hela tiden. På så sätt kan jag spränga gränserna. För att lyckas krävs en tät kommunikation och ett nära samarbete med både kollegor och kunder och att man har ett öppet sinne. Tomokazu Matsushita, serviceingenjör, Japan 14 15

Halvledarmarknaden: lasertekniken banar väg Datorer och trådlös kommunikation är halvledarindustrins lokomotiv. De utgör den dominerande delen av elektronikindustrin och driver den ekonomiska tillväxten i halvledarindustrin. Under 2002 har det världsekonomiska läget med låg försäljning av datorer och svag marknadsutveckling för mobil kommunikation lett till en fortsatt svag halvledarmarknad. Samtidigt drivs utvecklingen av halvledare av efterfrågan på allt fler och allt mindre transistorer på kretsarna. Krympningen av elektroniken möjliggör nya tillämpningar såsom kraftfullare elektronik och lägre strömförbrukning i bland annat bärbara produkter. För att hantera tillverkningskostnaderna krävs också högre packningstäthet på kretsarna. Önskemålen om nya produkter leder tillsammans med industrins ekonomiska ramar till att transistorerna blir mindre. Under 2002 har utrustningsleverantörer för halvledartillverkning upplevt svag efterfrågan på sina produkter samtidigt med ökade prestandakrav. Tillverkarna av fotomasker har pressats på liknande sätt, av minskade försäljningsvolymer parallellt med behovet att investera i utrustning för nästa tekniknod. Micronic i halvledarsegmentet Micronics produktstrategi är att leverera erforderlig precision med ett starkt fokus på industrins kostnadsbild. Micronic marknadsför två produktserier i halvledarsegmentet, Omega- 6000 och Sigma7000. År 1999 gjorde Micronic sin inbrytning på marknaden för laserritare till halvledarindustrin genom lanseringen av Omega6000-serien. Serien används för tekniknoder ner till 130 nanometer. Allt mindre transistorer ställer allt högre krav på mikrolitografin och fotomaskerna, vilket leder till dyrare fotomasker. En allmän uppfattning inom branschen är att en uppsättning fotomasker för en halvledarkrets för tekniknoden 90 nanometer förväntas kosta upp till 1,5 2 musd. Det är dubbelt så mycket som en uppsättning för 130 nanometer kan kosta, och åtta gånger mer än de 250 000 usd som en fotomaskuppsättning för 180 nanometer kostar. De accelererande kostnaderna utgör ett hot mot halvledarindustrin på så sätt att färre nya kretskonstruktioner utvecklas. De förväntat höga kostnaderna för tekniknoden 90 nanometer beror delvis på långa rittider. Industrin har då räknat med att tillverka de kritiska fotomaskerna med elektronstråleteknik som ger hög upplösning men är en långsam metod. För tidigare tekniknoder har en större del av fotomaskerna tillverkats med den snabbare lasertekniken. Med den unika slm-tekniken som kombinerar hög upplösning med hög rithastighet i produktserien Sigma- 7000 erbjuder Micronic industrin ett sätt att hantera de skenande kostnaderna. Sigma7000 ger tillverkarna av fotomasker möjlighet att använda den snabbare lasertekniken för de mest avancerade fotomaskerna för tekniknoden 90 nanometer. Det första Sigmasystemet levererades under andra kvartalet och i december lanserades Sigma7300. Flera av Micronics konkurrenter erbjuder mönsterritare baserade på elektronstråleteknik. Dessa är Toshiba Machine Co. Ltd, jeol Co. Ltd., Hitachi Co. Ltd. och Etec, ett Applied Materials-företag. Utöver Micronic tillverkar också Etec laserritare. Uppskattning av totalmarknaden för mönsterritare för halvledarfotomasker, enligt Gartner Dataquest, december 2002. MUSD Halvledarsegmentet i siffror Halvledarmarknaden omsatte 2002 ungefär 120 miljarder usd och marknaden för tillverkningsutrustning för halvledare en fjärdedel så mycket (vlsi Research, december 2002). Marknaden för mönsterritare utgör ungefär en procent av utrustningsmarknaden. Gartner Dataquest uppskattar (december 2002) att försäljningen av mönsterritare uppgår till 253 musd under 2002, en nedgång med 21 procent från 322 musd 2001. Av Micronics försäljning på 496 msek under 2002 avsåg 26 procent halvledarsegmentet. Gartner Dataquest förutspår en marknadstillväxt för mönsterritare under 2003 med cirka 15 procent till 290 musd, och med ytterligare 35 procent till 391 musd för 2004. Utblick För att möta framtida krav på fotomasker efter tekniknoden 90 nanometer bygger Micronic vidare på slmtekniken. Sigma7300, som lanserades på Semicon Japan i december 2002, kan sträcka sig mot tekniknoden 65 nanometer. Att flytta fram gränserna har främst en teknisk innebörd för mig att gränsen för det tekniskt möjliga flyttas fram bit för bit genom den utveckling vi bedriver. Men basen för detta är att vi inom företaget har en tillåtande attityd och är modiga i vårt agerande. Charlotta Johansson, chef för datakanalsutveckling, Sverige Micronic fortsätter att marknadsföra Omega6000 för kostnadseffektiv volymproduktion av fotomasker för halvledarindustrin. Tillsammans med Sigma-produkterna har Micronic en produktportfölj som spänner över alla tekniknoder. Moores lag och tekniknoder Den tekniska utveckling mot alltmer komplexa halvledarkomponenter brukar beskrivas genom Moores lag, vilken förutsäger att var artonde månad fördubblas antalet transistorer på en krets. Varje sådant steg kallas generation eller tekniknod.tekniknoder mäts i nanometer (miljondels millimeter). 16 17

Bildskärmsmarknaden: stabil efterfrågan Platta bildskärmar förekommer i allt fler produkter från bärbara datorer till mobiltelefoner och datormonitorer. Den dominerande tillämpningen har i ett antal år varit skärmar för bärbara datorer, men under 2002 har platta datormonitorer övertagit positionen som den ledande produkten. Platta tv-skärmar blir också en allt större produkt. Det som driver teknikutvecklingen är bildskärmstillverkarnas strävan efter högre upplösning till lägre produktionskostnad. Andra drivkrafter är att till rimliga produktionskostnader öka storleken på skärmar eller minska strömförbrukningen för bildskärmar till bärbara produkter som mobiltelefoner och datorer. Micronic har i stort sett samtliga tillverkare av fotomasker för avancerade bildskärmar som kunder. De flesta tillverkar fotomasker till externa kunder, men det finns även de som producerar för eget bruk. De viktigaste tillämpningarna är aktiva lcd-skärmar, tftlcd, och färgfilter för tft-lcd. Fotomasker används även till de enklare passiva lcd-skärmarna, pm-lcd, och de stora plasmaskärmarna, pdp. Micronic i bildskärmssegmentet Micronic är den dominerande aktören för laserritare för tft-lcd-skärmar och är ledande både vad gäller marknadsandel och teknik. Micronics konkurrenter inom området är främst Heidelberg Instruments och Dai Nippon Screeen. För att producera de stora fotomasker som behövs för tft-lcd-skärmar används Micronics lrs11000- serie. Micronic har utvecklat produktserien för att möta marknadens behov på allt högre upplösning. Med högre upplösning tar det längre tid att rita en fotomask. För att kompensera för detta byggs Micronics system med multistråleteknik där fler laserstrålar arbetar parallellt och ger snabbare exponering. Att flytta fram gränserna innebär att man inte accepterar att en sak inte kan göras. Min erfarenhet är att detta egentligen betyder att ingen har gjort det tidigare. Att flytta fram gränser innebär att bilda sig en uppfattning om vad som är möjligt och sedan se till att det sker! Det är sådant som gör jobbet intressant. För pm-lcd-skärmar används normalt Micronics system mp80+ eftersom dessa ger högre rithastighet och tillräcklig prestanda. För pdp-skärmar används idag mp170+ som kan rita fotomasker upp till 1100 x 1 700 mm. Micronics system har mycket höga prestanda och en robust konstruktion som ger god produktionssäkerhet. Produktiviteten och stabiliteten gör att Micronics system ger användaren kostnadsfördelar. Ett nära samarbete med flera kunder har dessutom gjort det möjligt att möta marknadens krav vid rätt tidpunkt. Under 2002 introducerade Micronic nästa generations pdp-system, mp185+. Det kan rita fotomasker upp till 1 400 x 1 850 mm, vilket krävs för de nya produktionslinjer för pdp-skärmar som är under uppbyggnad. Bildskärmssegmentet i siffror Marknaden för platta bildskärmar beräknas ha växt med 31 procent under 2002 (DisplaySearch, januari 2003). Under 2003 2006 förväntas marknaden växa med 10 30 procent årligen. Efterfrågan på laserritare har varit i linje med 2001. MUSD % 80 70 60 50 40 30 20 10 0-10 -20 1998 1999 2000 20012002 2003 20042005 2006 Utblick Micronics kunder inom bildskärmsområdet investerar framför allt i system som tillåter dem att göra mer avancerade fotomasker. Investeringar för utökad kapacitet är mindre vanliga. Efterfrågan på laserritare styrs av antalet bildskärmskonstruktioner och behovet av högre prestanda så det finns inget direkt samband med tillväxt på bildskärmsmarknaden. Den växande marknaden för bildskärmar innebär en stabil bas för Micronics kunder. Marknaden för platta bildskärmar uppdelad på olika bildskärmstekniker.tft-lcd står för den största delen under hela perioden, men även PDP förväntas växa kraftigt. Källa: DisplaySearch, januari 2003. Övrigt PDP PM-LCD TFT-LCD Årlig tillväxt Michael Tremblay, serviceingenjör, USA 18 19

Multi Purpose: elektronisk kapsling den största tillämpningen Marknaden för Micronics Multi Purpose-system inkluderar fotomasktillverkare vars fotomasker används för produktion av avancerad elektronisk kapsling, passiva platta bildskärmar (pm-lcd) och avkodare. Avancerad elektronisk kapsling är det viktigaste området. Alla halvledarkretsar behöver kapslas för att kunna användas i elektronikutrustning. Kapslingen är både ett skydd för chippet och utgör gränssnittet för anslutning. Med bärbar elektronik, som t ex mobiltelefoner, är det viktigt att storleken på kapslingen är liten. Allteftersom kretsarna blir mer komplexa så krävs fler anslutningspunkter det kan finnas mer än 1000 signaler till en enda krets. De traditionella teknikerna har svårt att möta dessa krav, vilket har lett till att en mängd nya metoder har utvecklats. En teknik som blir allt vanligare är så kallad Wafer Level Packaging (wlp). Hittills har wlp-tekniken fått ett begränsat genomslag eftersom det krävs en ny uppsättning maskiner för att kapsla på detta sätt jämfört med de traditionella kapslingsmetoderna. I samband med att nya halvledarfabriker byggs väntas tekniken öka starkt. Tillväxten för wlp förväntas därmed bli kraftig och uppgå till i genomsnitt 48 procent per år enligt Prismark (april 2002) räknat på antal kiselskivor (wafers). En annan vanlig teknik är Ball Grid Array (bga) där små substrat används för att sprida ut de tätt liggande anslutningspunkterna på chippet till en mer lätthanterlig delning som går att montera på mönsterkort. Micronics system mp80+ och mp23 lämpar sig väl för dessa tillämpningar. Marknaden för avancerad elektronisk kapsling är starkt beroende av halvledarmarknaden, vilken under 2002 varit svag. Micronic i Multi Purpose segmentet Micronics system för avancerad elektronisk kapsling karaktäriseras av hög ritkvalitet och produktivitet. En styrka hos Micronics produkter är att samma system kan konfigureras om av kunden för att uppnå optimal balans mellan upplösning och rithastighet. Under året har Micronic introducerat förbättringar på produktserien mp80+, som breddar användningsområdet ytterligare. Exempelvis har den maximala upplösningen ökats, vilket krävs både för den mest avancerade kapslingen och för vissa bildskärmstillämpningar. Konkurrenterna är samma som för passiva bildskärmar då det är liknande system som används. Micronic har behållit sin position som teknik- och marknadsledare på en marknad som 2002 varit instabil. Utblick Micronic kommer att fortsätta introducera förbättringar som gör att mpsystemen kan möta de nya marknadskrav som ställs. Den teknik som krävs för t ex ökad upplösning, kan i stor utsträckning hämtas från de mer avancerade bildskärmssystemen. Detta gör att Micronic står väl rustat för att leverera de lösningar som krävs i detta segment. Hårt arbete, snäva tidsramar, ett ständigt behov av nya lösningar och ny teknik det är vad pushing the limits betyder för mig och de flesta andra inom Micronic. Det handlar om att hela tiden kunna svara upp mot kundernas efterfrågan på alltmer avancerade lösningar. Helena Magnusson, systemingenjör, Sverige 20 21

Ständigt nya tekniska utmaningar Mikrolitografi är en central process för tillverkning av komponenter med mikroskopiskt små strukturer i exempelvis bildskärmar och halvledare. Mikrolitografi påminner om hur ett negativ används för att mångfaldiga fotografier. På liknande sätt används fotomasker för att mångfaldiga mönster på en kiselskiva eller glasskiva som sedan används i tillverkningen av halvledarchip respektive bildskärmar. Produktion av fotomasker med laserritare Hans Buhre, teknisk direktör på Micronic, beskriver en vanlig process vid tillverkning av fotomasker i olika steg: En fotomask tillverkas i fem steg. Först förbereds mönsterdata, eller ritningen, över chippet eller bildskärmen för produktion. Ritningen överförs därefter till Micronics mönsterritare där den bearbetas. Med hjälp av en eller flera laserstrålar ritas sedan mönstret på en glasskiva bestruken med fotokänsligt material, en fotoresist, som ligger ovanpå en tunn kromfilm. Efter avslutad ritning framkallas fotoresisten och mönstret etsas i kromfilmen. Slutresultatet är en glasskiva med ett krommönster en fotomask. Tillverkaren kvalitetstestar sedan fotomasken. Figurernas dimensioner mäts och en automatisk inspektionsutrustning kontrollerar att fotomasken stämmer överens med originalmönstret. Eventuella små defekter repareras. Slutligen efterbearbetas fotomasken och förses eventuellt med ett skyddande fönster innan packning och leverans sker till slutanvändaren, halvledarfabriken eller tillverkaren av bildskärmselement. Komponenttillverkning och mikrolitografi Hans Buhre berättar vidare om hur fotomaskerna används i tillverkningen av halvledare. I halvledarfabriken genomgår kiselskivan ett stort antal steg som bygger upp den elektroniska kretsen. Varje steg omfattar en mikrolitografisk avbildning av en fotomask följt av ett eller flera processteg. Processteget kan exempelvis vara att ta bort eller lägga till material i enlighet med mönstret. Det behövs uppåt 40 fotomasker för att tillverka en krets vid tekniknoden 90 nanometer. För 180 nanometer räckte det med 20 25 stycken. Dessutom är fotomaskerna mer avancerade vid 90 nanometer. Halvledare Datafil Mönstren skapas med hjälp av ett CAD-system. Informationen överförs till mönsterritaren där den konverteras till ett lämpligt ritformat. Bildskärmar Micronics mönsterritare Mönsterinformationen styr lasern som ritar fotomasken. Micronics mönsterritare Fotomask Stepper För att överföra mönstret till en halvledarkiselskiva belyses den framkallade fotomasken i ett litografiskt exponeringssystem, en stepper. I steppern förminskas mönstret fyra gånger. Aligner Kiselskiva Mikrochip Efter exponeringen går kiselskivan genom olika processer som skapar transistorer och ledare. Detta förfarande upprepas 20 40 gånger med olika fotomasker varje gång. När chippet är färdigt testas och kapslas det och kan sedan användas i elektronikprodukter, tex bärbara datorer. Datafil Bildskärm Fotomask Genom att flytta fram gränserna möjliggörs nya tekniknoder. Hans Buhre, teknisk direktör Tillvägagångssättet för stora bildskärmar liknar det som för halvledare, förutom att mycket större fotomasker används. Mönstret förminskas inte heller i en stepper utan mönstret projiceras i skala 1:1 på TFT-LCD substratet. Denna process kräver vanligen mellan fyra och nio olika fotomasker. Den färdiga bildskärmen används sedan i t ex bärbara datorer. 22 23

En handfull av fotomaskerna brukar benämnas kritiska, bland annat de som definierar de grundläggande elementen i en transistor samt övriga detaljer som är minst och svårast att tillverka. Därefter byggs ledningsbanor mellan transistorerna upp. Eftersom miljontals transistorer skall kopplas ihop och ledningsbanorna ofta korsar varandra läggs de i flera lager, med kopplingar mellan lagren. Det är som ett enormt gatunät i tiotalet våningar. Det största antalet av fotomaskerna används för att bygga ledningsstrukturen. Sist byggs en kontaktstruktur upp så att kretsen kan anslutas. Det finns många metoder att ansluta halvledarkretsar. Oftast byggs de in i en plastkapsel med anslutningsben eller lodkulor. Micronic tillverkar också mönsterritare som ritar fotomasker för sådan elektronisk kapsling. Bildskärmstillverkningen liknar halvledartillverkningen men använder väsentligt färre fotomasker, fyra till nio, men av mycket större format. Konkurrenskraftig teknik Hans Buhre beskriver två tekniker att rita fotomasker; elektronstråle- och lasertekniken, de skiljer sig åt vad gäller precision och rittid. Traditionellt har elektronstråleritarna producerat de mer avancerade fotomaskerna eftersom de givit den högsta upplösningen. Laserritare har dominerat i volymproduktion tack vare den högre rithastigheten som ger lägre fotomaskkostnader. Micronics laserritare erbjuder en unik kombination av de två teknikernas fördelar. Med Sigma7000-serien kan Micronic erbjuda en kombination av hög produktivitet och hög upplösning, vilket gör oss konkurrenskraftiga även i elektronstrålesegmentet. Tekniknoder och nanometer Under de senaste tjugo åren har förbättringar i mikrolitografin uppnåtts genom betydande framsteg både vad avser upplösning och precision. Utvecklingen mot mer avancerade mönsterritare med högre upplösning sker stegvis, där varje steg kallas tekniknod. Tekniknoderna mäts i nanometer (miljondels millimeter). Idag har serietillverkning av halvledarkomponenter för tekniknoden 130 nanometer börjat. Micronics ritare Omega6600 är i drift för produktion av fotomasker ned till denna tekniknod. Samtidigt har lanseringen av en laserritare som klarar kommande tekniknoder, 90 65 nanometer inletts, säger Hans Buhre. Efterfrågan driver teknikutvecklingen Efterfrågan på allt mer avancerade elektroniska produkter i konsumentledet är den grundläggande drivkraften i den tekniska utvecklingen av Micronics produkter. För att möta efterfrågan på mindre och snabbare elektroniska produkter med högre prestanda behöver våra kunder mönsterritare som kan göra fotomasker med högre upplösning. Micronic fokuserar på utvecklingen av laserritare för att möta efterfrågan på allt mer sofistikerade slutprodukter. De alltmer sofistikerade halvledarkretsarna ställer också krav på kapslingen för att kunna användas i elektronikutrustning. Detta kan ske på en mängd olika sätt. En teknik som blir allt vanligare är så kallad Wafer Level Packaging (WLP). För WLP finns en produktionsteknik som använder fotomasker stora nog för att exponera hela kiselskivan på en gång. En alternativ teknik, så kallad step-and-repeat, använder mindre fotomasker och exponerar varje kiselskiva i ett antal steg, säger Hans Buhre. Även inom bildskärmsområdet går utvecklingen mot högre upplösning. En typ av tft-lcd, Low Temperature Poly Silicon (ltps), ger mindre transistorer så att pixelstorleken kan minskas och upplösningen ökas. Transistorerna blir dessutom snabbare, vilket gör det möjligt att integrera elektronik direkt på bildskärmsglaset. Scannande ritteknik Micronic har byggt upp sin verksamhet på den så kallade rasterscan-tekniken. Den används i alla produkter för bildskärmssegmentet och elektronisk kapsling, samt den första generation laserritare för halvledarmarknaden, Omega6000. Hans Buhre beskriver hur den fungerar: I Omega6000 placeras fotomasken på ett så kallat XY-bord, som kan röra sig i två dimensioner. Samtidigt som bordet rör sig, sveper en laserstråle styrd av en akustooptisk deflektor vinkelrätt mot rörelseriktningen. Det ger en smal exponerad remsa på fotomasken. Flera remsor ritas på samma sätt tills fotomasken är täckt. Överföringen av information sker genom att intensiteten i laserstrålen varieras med hjälp av en akusto-optisk modulator. Sigma-systemen kan rita hela textinnehållet i Encyclopedia Brittanica med läsbara tecken (i mikroskop) på en 15 x15 cm fotomask på 45 minuter. Om fotomasken hade samma storlek som Frankrike skulle alla tecken vara placerade med en noggrannhet bättre än 10 cm. Om man förstorar en linje framställd med Micronics laserritare till en bredd på en millimeter skulle ett normalt hårstrå i jämförelse bli så här stort. 24 25

Från vision till verklighet De maskiner som används för framställning av stora fotomasker har ett rörligt objektiv och ett bord som bara rör sig i en riktning. Micronics laserritare finns för olika storlekar av fotomasker, ända upp till 1 400 x 1 850 millimeter. Sigma7300, laserritare inom halvledarsegmentet, ritar mönster för tekniknoden 90 65 nanometer. SLM ritteknik I samarbete med tyska Fraunhofer- Institute for Photonic Microsystems har Micronic utvecklat en ny teknik, Spatial Light Modulator (slm). SLM är grundstenen i Micronics Sigmasystem, säger Hans Buhre. Sigma bygger på en reflektionsteknik som möjliggör mönsterritning med kortvågig laser med mycket hög upplösning som resultat. Han förklarar att hjärtat i slm-tekniken är en mikro-mekanisk krets med en miljon individuellt styrbara speglar, som reflekterar laserljuset och på detta sätt avbildar en delyta av mönstret. Delytorna fylls på i hög hastighet [frekvens] tills hela mönstret sammanfogats till den kompletta konstruktionen. Hastigheten i SLM-tekniken låter oss bibehålla den höga produktivitet som tidigare generationer mönsterritare haft trots att upplösningen är högre. Vår utmaning är att ta fram laserritare som klarar att rita fotomasker för kommande generationers halvledare utan att rittider och kostnader skenar. Utvecklingen går mot allt högre upplösning. För lasertekniken är det våglängden på det ljus som används som begränsar hur hög upplösningen kan bli. Eftersom SLM speglar ljuset kan tekniken anpassas för kortare och kortare våglängder på ljuset för att i framtiden ge än högre upplösning. Med produkter byggda på SLM-tekniken kommer vi att kunna möta kundernas behov många år framöver, avslutar Hans Buhre. Grunden till Micronics framgång är ett djupt tekniskt kunnande. På marknader med hög utvecklingstakt, som de Micronic är verksam på, är en aggressiv satsning på forskning och utveckling en förutsättning för att vidmakthålla och utveckla marknadspositionerna. År 2002 satsade Micronic 311 msek på forskning och utveckling. Över hälften av Micronics medarbetare är engagerade inom forsknings- och utvecklingsprojekt. Ny teknik tar Micronic in i framtiden Torbjörn Sandström leder, tillsammans med ett team på Micronics enhet i Göteborg, den strategiska utvecklingen. På vår enhet sysslar vi med den teknik som inte finns idag, men som i framtiden kommer att vara det vi levererar till våra kunder. Närmare tio personer arbetar med systemanalys och systemutveckling i skärningspunkten mellan prestanda och analys för optik, process och rastrering. Analysgruppen är mycket viktig. Här simuleras konstruktioner i datorn innan man kan göra experiment i verkligheten. När en konstruktion som testats i datorn anses färdig, fortsätter utvecklingen i konstruktionsavdelningarna, förklarar Torbjörn Sandström och ger ett exempel. Vi förutsåg tidigt att det skulle vara svårt att skapa en tillräckligt jämn belysning av SLMen. Lasertypen vi använde gav en brusig bild. En doktor i optik med relevant erfarenhet anställdes. Hon konstruerade belysningssystemet utifrån vad vi kände till om lasern. När vi sedan byggde ihop det visade det sig att laserns egenskaper var helt annorlunda än vad tillverkaren angett och belysningen blev mycket ojämnare. Vi behövde då analysera laserns egenskaper teoretiskt och komma på ett nytt sätt att få belysningen jämn. För att utröna laserns egenskaper byggde vi också en mätutrustning som gjorde samma mätningar som laserleverantören, men bättre, fortsätter Torbjörn Sandström. Varje gång man lyfter på foten för att ta ett steg, gör man det med avsikt att sätta ner den en bit framför där man stod. De långa jättekliven är ovanliga. Det är de många små stegen som är de viktiga, att överhuvudtaget alltid sträva efter en ständig rörelse framåt. Hur ska man annars kunna flytta fram positionerna? Torbjörn Sandström, chef strategisk utveckling 26 27

Fokuseringsmekanism och slutlins hos Sigma7300. Linsen är framtagen i samarbete med Corning Tropel Corporation, som tillverkat linsen. Resultatet blev att problemet löstes och två patentansökningar kunde skickas in. Nu förbereder vi nästa utvecklingssteg, som ska förenkla belysningssystemet och samtidigt ge ytterligare bättre bildkvalitet. Vi har lyckats göra en originell och lyckosam utveckling inom ett område där det är mycket svårt att gå ut och köpa kompetens, eftersom de experter som finns är få och oftast verksamma inom andra företag. Nära samarbete är en förutsättning För att ytterligare förstärka innovationskraften samarbetar Micronic med externa aktörer. Bland annat finns ett etablerat samarbete med tyska Fraunhofer-institutet. I samarbete med Fraunhofer har vi tagit fram SLM-tekniken som är basen i vårt Sigma-system. Utan samarbetet och möjligheten att utnyttja deras utrustning hade utvecklingen inte varit möjlig, säger Torbjörn Sandström. För Fraunhofer innebär ett samarbete med Micronic samtidigt en viktig kanal för att kommersialisera uppfinningar och patent inom slm-teknologin. En viktig del av forsknings- och utvecklingsarbetet är patentarbetet. Micronic söker kontinuerligt tillämpningspatent kring den del av slmtekniken som bolaget ansvarar för. Micronic har de immateriella och exklusiva rättigheterna att använda slm-chippet för fotomask- och direktritningstillämpningar. Micronic har dessutom rätten att utveckla tillämpningar med slm-tekniken för inspektion och mätning av halvledarkomponenter. Inom Micronic finns ett patentråd för att få en kontinuerlig översyn av våra egna behov av patentansökningar. Utvecklingscheferna och berörda parter i patentrådet träffas var fjortonde dag. Vi ser då över de förslag på patent som kommit in och bedömer om en ansökan ska göras. Fotomasktillverkningen framöver Utvecklingen inom fotomaskindustrin går allt snabbare. Torbjörn Sandström talar om produkterna i olika generationer. Var 18:e månad fördubblas antalet transistorer på en krets enligt Moores lag. Varje sådant steg kallas generation eller tekniknod. Frågan är om utvecklingen kan fortgå i samma takt framöver. Oavsett vilket så gäller det för Micronic att ständigt ligga i framkanten med ny teknik. Sigma-systemen, som är baserade på slm-tekniken, är idag Micronics mest avancerade laserritare inom halvledarsegmentet. slm-tekniken är också förutsättningen för direktritning. Micronic ser med SLM-tekniken möjligheter att rita direkt på kiselskivan, så kallad direktritning. Lanseringen av en produkt för direktritning kan komma att fundamentalt förändra det sätt på vilket produktutveckling bedrivs inom halvledarindustrin. Med direktritning kan halvledare utvecklas och tillverkas i korta serier. När större volymer av produkten blir aktuellt kan mönstret överföras till fotomasker för tillverkning av stora volymer utan att väsentligt förändra produktdesign eller prestanda. Ett företag som använder direktritning får flera fördelar. Vissa processteg kan göras med direktritning och spara inköpet av en fotomask. Eftersom de fotomasker som ligger tidigt i processkedjan är svårast och därför har de längsta leveranstiderna, kan direktritning spara dagar, veckor eller till och med månader på en konstruktion. Dessutom kan företaget testa flera konstruktioner. Istället för att utesluta en testrunda på grund av svårigheterna och den långa leveranstiden, kan konstruktionen göras med direktritning. På så sätt undviks en överdrivet konservativ konstruktion som resulterar i en långsammare inlärningskurva och sämre prestanda hos produkterna. En direktritare kan rita flera varianter av samma konstruktion på en och samma kiselskiva, och därigenom ge en bättre optimerad produkt och kanske spara omkonstruktioner. Likaså kan man göra unika kretsar med direktritare, till exempel kan man lägga in en maskinläsbar unik kod på varje chip för användning i kvalitetskontroll eller för identifiering. Jag tror att en fungerande direktritare kommer att stimulera till nya användningar, som vi inte kan föreställa oss nu, avslutar Torbjörn Sandström. Patentarbete för långsiktig konkurrenskraft För att skydda företagets innovationer och för att säkerställa den långsiktiga konkurrenskraften har Micronic ett aktivt patentprogram. Micronic bedriver ett intensivt arbete när det gäller immateriella rättigheter och uppmuntrar och stimulerar arbete som kan leda till patent. Utvecklandet av patent sker såväl internt som tillsammans med kunder och samarbetspartners. Vid årets slut hade Micronic 51 patentfamiljer där 19 av dessa är beviljade i minst ett land. Under året gjordes elva nya patentansökningar, vilka ingår i patentportföljen. Patenten täcker såväl centrala tekniska lösningar som unika konstruktioner och tilllämpningar. Under 2002 har sju nya patent beviljats. Av dessa sju beviljade patent utmärker sig speciellt ett flertal amerikanska SLM-relaterade patent, vilka skyddar väsentlig teknologi i nästa generation mönstergeneratorer. 28 29

Entreprenörskap och spetskompetens Micronics högteknologiska verksamhet med ständigt nya tekniska utmaningar kräver en gedigen kompetens hos medarbetarna för att möta kundernas krav och stärka företagets konkurrenskraft. Medarbetarna är därför en viktig resurs för Micronic och dess framtida tillväxt. Ständig vidareutveckling av medarbetarnas kompetens är av avgörande betydelse för att ligga i frontlinjen av den tekniska utvecklingen. Medarbetarna arbetar självständigt och under stort eget ansvar med Micronics riktlinjer för verksamheten som grund. En viktig drivkraft är den entreprenörsanda som funnits inom bolaget allt sedan starten. Sammanhållningen är stark, liksom viljan och motivationen att anta nya utmaningar. Micronic har samarbeten med tekniska högskolor och universitet, vilket borgar för att bibehålla kompetens och attrahera välutbildade nya medarbetare. En majoritet av Micronics anställda har akademisk utbildning, varav många har doktorsgrad eller licentiatexamen. Rätt förutsättningar för kompetensutveckling Micronic lägger stor vikt vid att ge medarbetarna rätt förutsättningar för att utveckla sina kunskaper. På så sätt lyckas man behålla engagerade medarbetare och den spjutspetskompetens som fört Micronic till dess unika ställning. Alla anställda får en introduktionsutbildning i syfte att stärka förståelsen för företagets teknik och produkter. Därutöver definieras löpande de behov som finns inom varje grupp och utvecklingsplaner fastställs. Kompetensutveckling kan ske såväl internt som genom externa utbildningsinsatser. Under 2002 har företaget fokuserat den externa utbildningen på ledarskapsfrågor. Antal anställda i koncernen per 31 december 2002 Kvinnor Män Totalt Sverige 59 210 269 USA 1 17 18 Japan 6 40 46 Taiwan 1 2 3 Kina 1 1 2 Totalt 68 270 338 En attraktiv arbetsplats Micronic fäster stor vikt vid att skapa incitament för medarbetarna för att öka motivationen och stärka sambandet mellan företagets bästa och individens bästa. Ett uttalat mål för Micronic är att vara en attraktiv arbetsgivare och att anställa medarbetare med hög kompetens inom sitt respektive område. Företaget premierar egna initiativ, till exempel genom ekonomisk ersättning för såväl sökta som beviljade patent. Micronic har som mål att vara en stimulerande arbetsplats. Genom personalföreningen erbjuder företaget medarbetarna en rad sociala aktiviteter liksom möjligheter till friskvård. Sjukfrånvaron på Micronic uppgick under 2002 till 2,5 procent, varav korttidsfrånvaro 1,1 procent. Anställda fördelade på funktioner Produktion och installation 24 % Marknad, försäljning och kundsupport 28 % Forskning och utveckling 37 % Ledning och stödfunktioner 11% Minskad personalstyrka i svag marknad År 2002 präglades av fortsatt svag marknad, vilket påverkade investeringsviljan negativt hos Micronics kunder. Som en följd av vikande försäljning vidtog Micronic under slutet av året kostnadsbesparande åtgärder, vilket inkluderade en minskning av personalstyrkan med cirka tio procent. Inom koncernen påverkades 29 fast anställda av driftsnedskärningen, varav 22 i Sverige, 4 i usa och 3 i Japan. Vid utgången av år 2002 hade koncernen 338 anställda i Sverige, usa, Japan, Taiwan och Kina. Av de anställda i Sverige arbetar 259 personer på huvudkontoret i Täby och 10 personer på lokalkontoret i Göteborg. Om hänsyn tas till den vid årsskiftet ej avslutade driftsnedskärningen uppgår antalet anställda i koncernen till 318 personer. All forskning och utveckling samt produktion sker i Sverige. Dotterbolagen i usa, Japan och Taiwan svarar i första hand för service, kundstöd samt underhåll av installerade system. Inom forskning och utveckling arbetar 126 personer. 80 personer arbetar inom produktion och installation och 93 personer inom marknad, försäljning och kundsupport. Micronic speglar i hög grad det mångkulturella samhället med medarbetare från många olika länder. Genomsnittsåldern bland de anställda på Micronic är 37 år med en genomsnittlig anställningstid om cirka fem år. Andelen kvinnor uppgick till 20 procent. Mitt dagliga arbete går hela tiden ut på att flytta fram gränserna för det som är möjligt. Inte för teknikens egen skull, utan till nytta för våra kunder. För närvarande ligger fokus på att öka renheten på optikkomponenterna till nästan osannolika nivåer. Mikael Blomström, mekanikingenjör, Sverige 30 31

Finansiella nyckeltal Finansiella nyckeltal MSEK 1996 1997 1998 1999 2000 2001 2002 Nettoomsättning 145,1 258,9 268,4 213,4 704,3 699,3 496,1 Marginaler Bruttomarginal, % 61,7 56,2 47,8 Rörelsemarginal, % 30,6 21,5 16,3-34,4 11,8 2,4-18,1 Vinstmarginal, % 31,0 21,5 15,9-34,1 12,8 1,4-17,5 Avkastning på kapital Avkastning på operativt kapital, % 209 138 57-67 30 5-24,3 Avkastning på sysselsatt kapital, % 87 62 25-31 19 4-9,4 Avkastning på eget kapital, % 106 59 22-32 17 1-9,5 Kapitalstruktur Operativt kapital 20,5 61,3 92,8 128,5 423,0 263,5 475,4 Sysselsatt kapital 74,9 113,6 242,4 211,6 741,6 816,0 762,5 Eget kapital 47,4 88,8 193,4 141,4 679,5 697,2 631,4 Räntebärande nettoskuld 26,9-27,5-100,7-26,7-257,3-434,9-156,0 Kapitalomsättning, gånger 6,8 6,4 3,5 1,9 2,6 2,0 1,3 Soliditet, % 39,6 49,3 65,6 45,7 71,9 52,3 49,5 Kassaflöde och likviditet 1) Kassaflöde från den löpande verksamheten 53,9 17,7 17,1-59,0-171,3 7,0-97,0 Kassaflöde från investeringsverksamheten 31,4 23,0 16,2-12,3-64,7-152,2-180,6 Kassaflöde efter investeringar, före finansiering 22,5-5,3 0,9-71,3-235,9-145,2-277,6 Likvida medel vid årets slut 54,4 50,0 149,6 83,0 318,7 552,4 287,1 FoU 2) FoU-kostnader 25,3 42,1 68,6 190,6 230,0 185,2 FoU-kostnader/omsättning, % 9,6 15,6 31,9 27,1 32,9 37,3 Aktiverade utgifter för utveckling 129,7 Personal Genomsnittligt antal anställda 51 103 140 166 240 284 299 Omsättning per genomsnittligt anställd 2,9 2,6 1,9 1,3 2,9 2,5 1,7 Data per aktie Antal aktier vid årets slut, miljoner 12,0 12,0 14,0 14,0 19,1 19,2 19,2 Genomsnittligt antal aktier, miljoner 12,0 12,0 13,8 14,0 18,1 19,1 19,2 Genomsnittligt antal aktier efter utspädning, miljoner 21,0 21,8 Före utspädning Resultat per aktie (beräknas på genomsnittligt antal) 2,74 3,34 2,27-3,81 3,93 0,37-3,30 Eget kapital per aktie (beräknas på genomsnittligt antal) 3,95 7,40 13,81 10,10 37,54 36,50 32,86 P/E-tal (beräknas på antal aktier vid årets slut) 75 516 neg Kurs/eget kapital (beräknas på antal aktier vid årets slut) 7,87 5,26 1,25 Utdelning per aktie Mariginaler Bruttomarginal Bruttovinst i procent av nettoomsättning. Rörelsemarginal Rörelseresultat i procent av nettoomsättning. Vinstmarginal Resultat efter finansiella poster i procent av nettoomsättning. Avkastning Avkastning på operativt kapital Rörelseresultat i procent av genomsnittligt operativt kapital. Avkastning på sysselsatt kapital Resultat efter finansiella poster plus finansiella kostnader i procent av genomsnittligt sysselsatt kapital Avkastning på eget kapital Resultat efter full skatt (aktuell skatt plus 28 procent av förändring obeskattade reserver) i procent av genomsnittligt eget kapital. Kapitalstruktur Operativt kapital Totala tillgångar minskade med icke räntebärande skulder inklusive latent skatt i obeskattade reserver och likvida medel. Sysselsatt kapital Totala tillgångar reducerade med icke räntebärande skulder inklusive latent skatt i obeskattade reserver. Eget kapital Eget kapital plus 72 procent av obeskattade reserver. Räntebärande nettoskuld Räntebärande skulder minskat med likvida medel i enlighet med definition. Kapitalomsättning Nettoomsättning dividerat med genomsnittligt operativt kapital. Soliditet Eget kapital i enlighet med definition i procent av totala tillgångar. Kassaflöde och likviditet Kassaflöde från den löpande verksamheten Resultat efter finansiella poster justerat för poster som ej ingår i kassaflödet, betald inkomstskatt och förändringar av rörelsekapital. Kassaflöde från investeringsverksamheten Nettoinvesteringar i byggnader, maskiner, inventarier och finansiella anläggningstillgångar. Kassaflöde efter investeringar före finansiering Kassaflöde från den löpande verksamheten inklusive förändring av rörelsekapital minskat med investeringar. Likvida medel Kassa, bankmedel och kortfristiga placeringar. FoU FoU-kostnader Kostnader hänförliga till FoU aktiviteter inklusive kostnader för personal sysselsatta med forskning och utveckling. FoU-kostnader/omsättning Kostnader hänförliga till forskning och utveckling som en procentsats av nettoomsättningen inklusive övriga rörelseintäkter. Personal Antal anställda Genomsnittligt antal heltidsanställda. Omsättning per anställd Nettoomsättning dividerat med genomsnittligt antal anställda. Data per aktie Årets resultat per aktie Resultat efter full skatt dividerat med genomsnittligt antal aktier. Eget kapital per aktie Eget kapital i enlighet med definition dividerat med genomsnittligt antal aktier. 32 Efter utspädning 3) Resultat per aktie (beräknas på genomsnittligt antal aktier) 3,52 0,32-3,30 Eget kapital (beräknas på genomsnittligt antal aktier) 37,65 57,00 32,86 P/E-tal (beräknas på antal aktier vid årets slut) 79 596 neg Kurs/eget kapital (beräknas på antal aktier vid årets slut) 7,49 3,30 1,25 1) Kassaflödesanalyserna för 1996 och 1997 avser moderbolaget Micronic Laser Systems AB. 2) Eftersom redovisningssystemet under 1996 inte stödde särredovisning av FoU-kostnader, finns ingen information om de exakta beloppen utan dessa kostnader ingår i Övriga rörelsekostnader. 3) Uppgifterna 2002 är beräknade på antalet aktier utan hänsyn till utspädningseffekten då lösenpriset på utestående optionsprogram skiljer sig avsevärt från aktuell börskurs. 33

Förvaltningsberättelse 34 Styrelsen och verkställande direktören för Micronic Laser Systems ab (publ.) org nr 556351-2374 får härmed avge årsredovisning för räkenskapsåret 2002-01-01 2002-12-31. Verksamheten Micronic Laser Systems är ett högteknologiskt företag som utvecklar, tillverkar och marknadsför en serie extremt noggranna laserritare för framställning av fotomasker. Teknologin kallas mikrolitografi. Micronics system används av världens ledande elektronikföretag vid tillverkning av bildskärmar för tv-apparater och datorer samt halvledarkomponenter. Händelser under 2002 Marknadsutveckling År 2002 har varit ett mycket svagt år. Det världsekonomiska läget med låg försäljning av datorer och svag marknadsutveckling för mobil kommunikation har lett till en fortsatt svag halvledarmarknad. Micronic har, liksom övriga leverantörer av utrustning till industrin, drabbats av kraftigt minskade investeringar hos företagets kunder. Trots en hög försäljning av platta bildskärmar har efterfrågan på mönstergeneratorer för denna produktion varit i nivå med föregående års. Efterfrågan på Micronics Multi Purposesystem följer i hög utsträckning utvecklingen inom halvledarindustrin. Leverans av det första Sigmasystemet Micronic har levererat det första Sigmasystemet till Du Pont Photomasks. Sigmasystemet som bygger på slmteknologin bedöms få genomgripande inverkan på fotomaskritning inom halvledarindustrin. Order på ett andra Sigmasystem Micronic har erhållit en andra order på ett system ur Sigma7000-serien, för produktion av avancerade fotomasker för teknologinoden 130 nanometer och framtida noder. Introduktion av nästa generation Sigma Micronic har introducerat Sigma- 7300, vilken riktar sig till volymproduktion av tekniknoderna 90 och 65 nanometer. Systemet erbjuder upplösning på spjutspetsnivå och kan rita fotomasker för kritiska lager med korta rittider. Detta reducerar genomloppstiden och sänker därmed kostnaden för produktion av fotomasker. Lansering av nästa generations PDP Micronic har lanserat en ny laserritare för nästa generations plasmabildskärmar (pdp). Micronics nya system, mp185+, har kapacitet att rita fotomasker upp till 1 400 x 1850 mm. Fortsatt satsning på lokal kundsupport Micronic har slutit ett samarbetsavtal med Hermes-Epitek som är en av Taiwans främsta leverantörer till halvledarindustrin. Hermes ansvarar för Micronics försäljnings- och supportverksamhet i Taiwan och Sydostasien. Micronic har också etablerat ett filialkontor i Shanghai, Kina. Genom dessa satsningar kan Micronic ytterligare expandera verksamheten på den taiwanesiska och sydostasiatiska marknaden för halvledar-, bildskärmsoch Multi Purposeprodukter. Nedskärningar för att anpassa företaget i en vikande marknad Den svaga halvledarmarknaden, med en större osäkerhet kring leveranser till detta segment, har föranlett Micronic att vidta åtgärder för att minska företagets kostnader. De totala kostnaderna för externa konsulter har reducerats. Antalet anställda har reducerats med cirka tio procent. Omstruktureringskostnader uppgående till cirka 7 msek har belastat årets resultat. 31 december 2002 omfattar moderbolaget Micronic Laser Systems ab samt de helägda dotterbolagen Micronic Japan k.k., Micronic Treasury ab, Micronic Laser Systems, Inc. samt Micronic Laser Systems Far East Ltd. Micronic Japan k.k. är ett kundsupportbolag med lokala servicekontor nära företagets kunder i Japan. Micronic Laser Systems, Inc. erbjuder kundsupport till kunder i usa, samt förstärker den globala marknadsföringen genom en ökad närvaro på den amerikanska marknaden. Micronics verksamhet i Taiwan har under året bolagiserats och är sedan den 1 oktober ett självständigt dotterbolag som erbjuder kundsupport. Micronic har också etablerat en filial i Shanghai för att öka närheten till kunderna även i Kina. Micronic Treasury ab har fungerat som förmedlare vid spridning av de optionsprogram som riktats till företagets anställda samt partners. Orderingång och orderstock Orderingången under 2002 uppgick till 459 (633) msek, en minskning med 27 (-17) procent. Av den totala orderingången avser 81 (70) msek den globala serviceverksamheten. Under 2002 erhölls order om totalt 8 (10) system varav 3(3) system till halvledarsegmentet, 2(5) till bildskärmssegmentet samt 3(2) system till Multi Purpose segmentet. Orderstocken vid årets utgång var 231 (279) msek, och avser i sin helhet system. Samtliga system beräknas levereras under år 2003. Fakturering Nettoomsättningen uppgick under året till 496 (699) msek, en minskning med 29 procent (0). Av försäljningen avser 81 (70) msek den globala serviceverksamheten, motsvarande 17 (10) procent av total försäljning. Under 2002 levererades 9 (15) system, varav 1 (2) uppgradering. Micronic har levererat 2 (5) system till halvledarmarknaden, motsvarande 26 (37) procent av försäljningen. 4 (5) system, har levererats till bildskärmsmarknaden vilket är 44 (36) procent av försäljningen medan 3 (5) system har levererats till Multi Purpose marknaden, motsvarande 13 (17) procent av årets försäljning. Den globala serviceverksamheten har fortsatt att expandera i takt med att antalet installerade system ökar. Antalet anställda i Japan, Taiwan, Kina och usa ökade från 64 till 69 personer. Micronic hade vid 2002 års utgång 50 (42) servicekontrakt med kunder runt om i världen och cirka 90 installerade system. Rörelsens kostnader Micronic redovisar från 2002 resultatet fördelat på funktioner, för att tydligare spegla verksamheten. Rörelsens kostnader uppgick under året till 586 (684) msek. Kostnaden för sålda varor uppgick till 259 (306) msek, vilket resulterat i en bruttomarginal på 48 (56) procent. Den lägre bruttomarginalen förklaras bland annat av att det första Sigmasystemet levererats, med en något lägre bruttomarginal än övriga system samt av negativa effekter som än följd av försvagning av den amerikanska dollarn under året. Kostnaderna för fou har belastat resultatet med 185 (230) msek. Därutöver har utvecklingskostnader, i enlighet med gällande redovisningsrekommendationer, på totalt 130 msek aktiverats och redovisas som immateriella tillgångar. Aktiveringen har skett efter individuell bedömning av samtliga utvecklingsprojekt. Avskrivning av de aktiverade utvecklingskostnaderna påbörjas när intäkter börjar genereras från respektive projekt. Under 2002 har avskrivningar påbörjats på vissa projekt och belastar resultatet med cirka 3 msek. Företagets totala kostnader för forskning och utveckling uppgår därmed till 311 (230) msek. Av de totala fou-kostnaderna avser 35 msek direktritning, vilket i sin helhet resultatförts i den takt de uppkommit. Försäljningsomkostnaderna uppgår till 47 (67) msekoch inkluderar bland annat kommissionskostnader. Administrationskostnader inkluderar dotterbolagens verksamhet. Övriga kostnader består till största delen av negativa effekter på grund av kursdifferenser vid omräkning av rörelserelaterade balansposter till svenska kronor. Resultat Resultat efter finansiella poster för 2002 blev -87 (9) msek, en minskning med 96 msek. Hade samtliga utvecklingskostnader kostnadsförts skulle resultatet vara -212 msek. Företaget har, trots en starkt minskad försäljning, upprätthållit och även ökat satsningen inom fou-området. Resultatet har belastats med 7 msek i omstruktureringskostnader som ett led i den driftsnedskärning som vidtogs under slutet av 2002. Lager Lagret uppgick vid årets slut till 328 (279) msek, varav varor under tillverkning 182 (158) msek samt råvaror och förnödenheter 146 (121) msek. Varor under tillverkning omfattar de system som löpande produceras för leverans till kund, vissa test- och utbildningssystem samt system för kunddemonstrationer. Under 2002 har maskiner till ett värde av 29 msek, vilka enbart används för forskning och utveckling, omklassificerats från Varor under tillverkning till Inventarier. 35

36 Varor under tillverkning belastas löpande med nedlagda kostnader för material och arbete för att färdigställa planerade system. Kundfordringar Kundfordringar uppgick vid årets slut till 188 (213) msek av vilka 75 msek, eller 40 procent, kommer att förfalla till betalning inom tre månader. Investeringar En stor om- och tillbyggnad av produktions- och kontorslokaler avslutades under 2001. Fortsatta ombyggnader av fastigheten har gjorts under 2002 med cirka 3 msek. Vidare har investeringar i maskiner och produktionsutrustning gjorts med 37 msek, varav cirka 23 msek avser leasad utrustning. Fortsatta investeringar har gjorts i ett nytt företagsgemensamt informationssystem, vilket påbörjades 2001, med 10 msek. Detta har redovisats som en immateriell tillgång. Merparten av årets investeringar avser kostnader nedlagda i utvecklingsprojekt, totalt 130 msek. s totala investeringar i materiella och immateriella tillgångar uppgår till 180 (136) msek. Kassaflöde, likviditet och finansiell ställning s likvida medel uppgick vid årets slut till 287 (552) msek, exklusive outnyttjad checkräkningskredit. Under året har likvida medel minskat med 265 (234) msek. Soliditeten var 50 (52) procent vid årets utgång. Den löpande verksamheten har tagit 97 msek i anspråk inklusive förändringar av rörelsekapital. Investeringar i materiella och immateriella anläggningstillgångar uppgår till 180 (136) msek. Valutaexponering Försäljningen sker nästan uteslutande i usd. Företaget strävar efter att begränsa effekterna av valutaförändringar. Under 2002 har en större osäkerhet kring leveranstidpunkt av system lett till att de utländska flödena inte kurssäkrats i samma omfattning som tidigare. Vid årsskiftet fanns inga utestående terminskontrakt. Valutaeffekter som avser värderingar av orderingång, fakturering och orderstock hanteras enligt följande principer. Orderingång och fakturering anges enligt respektive avistakurser. Utgående balans för orderstocken beräknas till periodens balansdagskurs och med hänsyn tagen till gjorda terminssäkringar. Valutadifferenser av rörelsekaraktär, ett negativt netto om -16 msek, har inkluderats i rörelseresultatet medan positiva valutadifferenser av finansiell karaktär om 0,3 msek har inkluderats i finansiella kostnader och intäkter. Forskning och utveckling Kostnaderna för forskning och utveckling uppgår för 2002 till 311 (230) msek. Av dessa kostnader har 185 msek kostnadsförts i den takt de uppstått medan 130 msek aktiverats. Verksamheten har under året fokuserats på utvecklingen av slm-tekniken inom halvledarsegmentet. Ökningen jämfört med föregående år härrör till stor del från utökade samarbetsavtal samt konsultinsatser. Organisation Organisationen är baserad på en linje/- projektorganisation, med ansvarsområden för marknadsföring, försäljning, strategisk utveckling, basutveckling, systemapplikation, produktion & installation, kundsupport samt finans & administration. Vid utgången av året uppgick antalet anställda till 338 (327). Med hänsyn taget till den vid årsskiftet ännu ej helt avslutade driftsinskränkningen uppgår antalet anställda till 318. Reduceringen av antalet anställda uppgår till cirka tio procent, från 355 anställda vid utgången av tredje kvartalet. Styrelsens arbete Styrelsen består av åtta ledamöter valda av bolagsstämman. Styrelsen har under 2002 hållit 19 (14) möten, varav ett antal extra styrelsemöten främst fokuserade på företagets strategiska utveckling och rådande marknadssituation. Styrelsens arbete följer en årlig plan och till grund för styrelsens arbete ligger den fastställda arbetsordningen där arbetsfördelningen mellan styrelsen och verkställande direktören fastställts. En nomineringskommité bestående av Lars Öjefors, som ordförande och sammankallande, samt Bert Jeppsson och Christer Zetterberg har under året fört diskussioner med större aktieägare. Styrelsen har för avsikt att, efter bolagsstämman, tillsätta en revisionskommitté och en ersättningskommitté. Framtidsutsikter Marknaden för utrustning till halvledarindustrin väntas under 2003 visa en tillväxt på 16 procent (Gartner Dataquest, dec 2002). För mönsterritare är Dataquests uppskattning att marknaden kommer att växa i samma storleksordning. Det är vår bedömning att efterfrågan i närtid kommer att domineras av teknologiinvesteringar. Marknaden karaktäriseras av stora och till antalet relativt sett begränsade beställningar, vilket kan resultera i stora fluktuationer för såväl individuella företag som för marknaden i helhet och när under året dessa sker. Micronic har gjort kraftfulla satsningar på produktutveckling mot segmentet för de mest avancerade fotomaskerna där efterfrågan förväntas. Täby den 11 februari 2003 Detta ger bolaget goda förutsättningar att även under fortsatt rådande marknadsförutsättningar skapa en ökad omsättning och därmed ökade marknadsandelar. Bildskärmsindustrin fortsätter att utvecklas starkt med årliga tillväxttal i storleksordningen 10 30 procent. Micronics stabila position och breda produktsortiment gör bolaget väl positionerat för att möta kundernas såväl närliggande som långsiktiga behov. Efterfrågan på mönsterritare är starkare kopplad till teknikutveckling av bildskärmar än volymökning i tillverkningen. Vi ser en fortsatt stabil marknad för bildskärmsritare i nivå med föregående år. Marknadsutvecklingen för vår produktlinje Multi Purpose drivs till stor del av utvecklingen inom halvledarområdet och dess efterfrågan på avancerad kapslingsteknik. Prognosen för halvledarindustrins utveckling pekar på en återhämtning under andra halvåret 2003, vilket gör att bedömningen för vårt Multi Purpose segment är försiktigt optimistisk. Bert Jeppsson Millert Carlsson Sven Löfquist Ordförande Verkställande direktör Förslag till resultatdisposition s fria egna kapital enligt koncernbalansräkningen uppgår till 48 440 (104 808) tsek. s ansamlade förlust föreslås behandlas enligt nedan. Hans Fletcher Göran Malm Magnus Ryde Christer Zetterberg Lars Öjefors Vår revisionsberättelse har avgivits den 11 februari 2003 Anders Östberg Auktoriserad revisor Lindebergs Grant Thornton AB Per Fridolin Auktoriserad revisor Lindebergs Grant Thornton AB 2002 Från föregående år balanserad vinst 99 477 828 Årets förlust -148 154 747-48 676 919 Förslag till behandling av förlust Balanseras i ny räkning -48 676 919 Summa -48 676 919 37

Resultaträkningar Kassaflödesanalyser Noter TSEK 2002 2001 2002 2001 Nettoomsättning 1 496 050 699 348 446 677 651 898 Kostnad sålda varor -259 197-306 413-235 063-294 092 Bruttovinst 236 853 392 935 211 614 357 806 Forskning och Utveckling -185 156-230 016-311 483-230 016 Försäljningsomkostnader -46 911-67 071-58 968-73 621 Administrationsomkostnader -78 436-80 075-42 799-47 648 Övriga rörelseintäkter 1 009 1 614 772 2 639 Övriga rörelsekostnader -17 080-322 -17 080-176 Rörelseresultat 2, 3, 4-89 721 17 065-217 944 8 984 Resultat från finansiella investeringar Nedskrivning av andelar i koncernföretag 15-2 407 Ränteintäkter och liknande poster 5 15 465 11 204 15 632 11 323 15 465 11 204 13 225 11 323 Räntekostnader och liknande poster 6-12 445-18 801-11 128-18 161-12 445-18 801-11 128-18 161 Resultat efter finansiella poster -86 701 9 468-215 847 2 146 Bokslutsdispositioner Förändring av periodiseringsfonder 11 430 3 287 Skillnad mellan bokförd avskrivning och avskrivning enligt plan -5 451 11 430-2 164 Resultat före skatt -87 701 9 468-204 417-18 Skatt på årets resultat 7 23 323-2 411 56 262 18 Årets resultat -63 378 7 057-148 155 0 Resultat per aktie, före utspädning, SEK -3,30 0,37 Resultat per aktie, efter utspädning, SEK -3,30 0,34 Antal aktier vid årets slut, tusental 19 215 19 203 Genomsnittligt antal aktier, före utspädning, tusental 19 212 19 104 Antal aktier vid årets slut, efter utspädning, tusental 21 551 21 794 Genomsnittligt antal aktier, efter utspädning, tusental 21 794 21 018 Noter TSEK 31 dec 2002 31 dec 2001 31 dec 2002 31 dec 2001 Den löpande verksamheten Resultat efter finansiella poster -86 701 9 468-215 846 2 146 Justering för poster som inte ingår i kassaflödet mm: Utrangeringar 181 176 Vissa avsättningar och upplupna kostnader -10 877 3 092-10 877 3 092 Förändring omräkningsdifferens eget kapital 1) -3 470 590 Nedskrivning av andelar i koncernföretag 2 407 Avskrivningar 32 033 19 832 22 142 16 884-69 015 33 163-202 174 22 298 Betald inkomstskatt 2) -2 687-2 991 Kassaflöde från den löpande verksamheten före förändringar av rörelsekapital -71 702 30 172-202 174 22 298 Förändringar av rörelsekapital Ökning( )/Minskning(+) av varulager 3) -77 357-115 669-72 339-109 990 Ökning( )/Minskning(+) av kortfristiga fordringar 38 538 93 269 18 208 86 093 Ökning(+)/Minskning( ) av övriga kortfristiga skulder 13 559-786 10 478 2 244 Kassaflöde från den löpande verksamheten -96 962 6 986-245 827 645 Investeringsverksamheten Investering i andelar i koncernföretag 15-3 030 Förvärv av immateriella anläggningstillgångar 8, 9, 10-139 797-21 656-10 082-21 656 Förvärv av materiella anläggningstillgångar 3) 11, 12, 13, 14-39 535-114 046-14 943-111 256 Försäljning av inventarier 100 100 Ökning( )/Minskning(+) av långfristiga fordringar, netto 3 889-16 618 2 678-15 478 Kassaflöde från investeringsverksamheten -175 443-152 220-25 377-148 290 Finansieringsverksamheten Nyemission teckningsoptioner 1 142 5 610 1 142 5 610 Teckningspremie utfärdade optioner 4 368 6 917 Kvarvarande teckningsoptioner koncernföretag -93 Ökning(+)/Minskning( ) av övriga avsättningar -4 012 737 Ökning(+)/Minskning( ) av långfristiga skulder 10 052 368 305-3 378 369 530 Kassaflöde från finansieringsverksamheten 7 089 379 020-2 236 382 057 Ökning/Minskning av likvida medel -265 316 233 786-273 440 234 412 Likvida medel vid årets början 552 441 318 656 544 473 310 061 Likvida medel vid årets slut 287 125 552 441 271 033 544 473 1) Förändring av omräkningsdifferens eget kapital har i likhet med tidigare år justerat kassaflödet från den löpande verksamheten. 2) Betald inkomstskatt hänför sig till årets aktuella skatt på skattemässiga överskott. 3) Omklassificering av maskiner som används i forskning och utveckling, från Varor under tillverkning till Inventarier, har inte påverkat kassaflödet. 38 39