Årsredovisning 2001 Micronic Laser Systems AB (publ.)

Årsredovisning 2001 Micronic Laser Systems AB (publ.)

Innehåll Micronic Laser Systems är en världsledande tillverkare av laserritare för framställning av fotomasker för mikrolitografisk tillverkning av bland annat halvledare och bildskärmar. Micronic erbjuder högsta möjliga upplösning kombinerat med en konkurrensmässig produktivitet för dessa tillämpningar. Under året har Micronic befäst sin ställning som den ledande leverantören till bildskärmsindustrin, förstärkt positionen som leverantör av avancerade laserritare till halvledarmarknaden och flyttat fram positionerna när det gäller Multi Purpose-system. 2001 i korthet 4 VD summerar 6 Micronics värld 9 Halvledare 13 Bildskärmar 15 Multi Purpose 17 Marknad och konkurrens 18 Micronic-aktien 19 Micronics teknik och produkter 24 Forskning och utveckling 28 Micronics medarbetare 30 Finansiella nyckeltal 32 Förvaltningsberättelse 34 Resultaträkningar 38 Kassaflödesanalyser 39 Balansräkningar 40 Redovisningsprinciper 42 Noter 44 Revisionsberättelse 53 Ledningsgrupp 54 Styrelse och revisorer 56 Ordlista 58

2001 i korthet Förstärkt position som leverantör av avancerade laserritare för halvledarmarknaden med leveranser av system för produktion av fotomasker* för tekniknoden 130 nanometer. Lansering av ny generation laserritare för TFT-LCD* bildskärmar. Finansiell översikt MSEK 1997 1998 1999 2000 2001 Orderingång, inklusive service 315 168 292 759 633 Orderstock, 31 december 219 117 194 307 279 Nettoomsättning 259 268 213 704 699 Rörelseresultat 56 44-74 83 17 Rörelsemarginal, % 21,5 16,3-34,4 11,8 2,4 Vinst per aktie före utspädning, kronor 3,34 2,27-3,81 3,93 0,37 Genomsnittligt antal anställda 103 140 166 240 284 1) Vinst per aktie baseras på antal aktier vid årets slut. Samarbete med ASML i Holland, avseende direktritning på kiselskivor med Micronics SLM*-teknik. Förlikning med Etec avseende patenttvist. Nettoomsättning i linje med föregående år, trots mycket svag marknad. Positivt nettoresultat efter betydande satsningar på produktutveckling och organisationsuppbyggnad. Nettoomsättning och rörelsemarginal MSEK % 800 80 700 70 600 60 500 50 400 40 300 30 200 20 100 10 0 0 1997 1998 1999 2000 2001-10 -20-30 -40 Orderingång MSEK 800 700 600 500 400 300 200 100 Nettoomsättning per marknadssegment 2001 Multi Purpose 17% Service 10% Bildskärmar 36% Halvledare 37% 0 1997 1998 1999 2000 2001 2001 i korthet 4 Ordinarie bolagsstämma kommer att hållas torsdagen den 21 mars klockan 17.00 på Täby Park Hotel. *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk. 2001 i korthet 5

VD summerar: Betydande framgång på tuff marknad 2001 var året då Micronic etablerade sig som en ledande leverantör av avancerade laserritare till halvledarindustrin och samtidigt befäste och förstärkte positionerna inom de två övriga produktsegmenten bildskärmar och Multi Purpose. Året präglades också av en fortsatt mycket hög takt i vår teknik- och produktutveckling och fokus på kundsupport. Samtidigt upplevde vi en dramatiskt försämrad marknad. För första gången i modern historia minskade den globala försäljningen av elektronikprodukter. Fallet kom snabbt och halvledarindustrin präglades under första halvåret 2001 av kraftigt reducerad orderingång, upp till 65 procent och detta slog snabbt igenom i den utrustningsindustri som Micronic tillhör. Branschanalytiker har gjort bedömningen att utrustningsindustrins sammanlagda försäljning har fallit med närmare 40 procent för helåret 2001 jämfört med året tidigare. För Micronics del tog detta sig uttryck i en lägre efterfrågan på mönsterritare för fotomasker*, framför allt för de etablerade tekniknoderna ned till 180 nanometer. I dessa marknadssegment är efterfrågan på mönsterritare främst en kapacitetsfråga och med fallande volymer är investeringsbehovet begränsat. Den ökande osäkerheten ledde till lägre orderingång för Micronic vad gäller mönsterritare för halvledarmarknaden, och vi fick som en konsekvens justera ned våra försäljningsprognoser under sommaren. Även på bildskärmsmarknaden, där kapacitetsutnyttjandet har fortsatt att vara högt, har investeringsviljan avtagit något på grund av det osäkra marknads- och konjunkturläget. Vi hade alltså en mycket svår marknad under året med en kraftigt fallande försäljning för hela industrin. I ljuset av detta är jag mycket nöjd med vårt utfall, som visar att vi nådde en försäljning i nivå med rekordåret 2000 och att vi fortsätter att visa en positiv nettomarginal. Förstärkta marknadspositioner När det gäller Micronics marknadspositioner och utgångsläge för framtiden var 2001 en ännu större framgång. På halvledarmarknaden en marknad som vi började bearbeta för två år sedan har vi nu etablerat oss som en av två ledande leverantörer av avancerade laserritare. Inom bildskärmssegmentet där vi fortfarande är den enda leverantören har vi fått förnyat förtroende från flera av våra viktiga kunder, både i form av utökat samarbete och, i mer konkreta termer, i form av order. De ökande kvalitetskraven på platta bildskärmar har skapat en efterfrågan på mer avancerade mönsterritare. Därför introducerade Micronic i december en ny generation bildskärmsritare. Inom Multi Purpose har elektronisk kapsling* blivit den dominerande tillämpningen. Våra kunder möter allt högre krav på prestanda från slutkunder. Detta stärker Micronics möjligheter då våra produkter är tekniskt ledande. Det gångna året har också inneburit att vi avsevärt flyttat fram vår marknadsposition. Tekniskt ledarskap och support Tekniken har alltid stått i centrum för Micronic. Därför var det särskilt glädjande att Micronics grundare och tre av våra forskare under året erhöll det prestigefyllda semi-priset för tekniskt nyskapande inom halvledarindustrin. Priset är ett godkännande för vår förmåga att inte bara utveckla, utan också nå kommersiell framgång med våra avancerade produkter. Inom bildskärmssegmentet har vi tidigare visat att man kan nå en mycket stark ställning genom tekniskt ledarskap och hög kundsupport. Vi är nu på god väg att visa även våra kunder i halvledarindustrin att kombinationen överlägsen teknik och kundsupport innebär unika möjligheter. Tillsammans med våra kunder kan vi leverera avsevärt högre prestanda och följa teknikutvecklingen med förbättrad kvalitet. VD summerar 6 *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk.

Micronics värld VD summerar Nyckeln till tekniskt ledarskap är djup kompetens, innovationsrikedom, benhård vilja och engagemang. Det kräver uthållighet och förmåga att avsätta resurser till forskning, utveckling och kundsupport. Att det redan idag sker serieproduktion med Omega6600 för tekniknoden 130 nanometer är beviset på att Micronics etablerade teknik fungerar. Att vi demonstrerat att Sigma- 7100 kan användas för nästa tekniknod 100 nanometer visar på en stor utvecklingspotential för såväl den nya slm*-tekniken som för Micronic som företag. Viktiga samarbeten Vår kanske viktigaste framgångsfaktor är dock förtroende. En enskild laserritare kan kosta runt 100 miljoner kronor, men kundens investering är mycket större än så. Våra kunder måste välja en leverantör som de tror kommer att finnas med längre fram, när tekniken utvecklats. Här har Micronic varit framgångsrikt genom att visa engagemang och uthållighet kopplat till starka tekniska kvaliteter. Tillsammans med kunderna kan vi lära oss mer och förbättra våra produkter. Det är ett arbete som fortskrider varje dag. Ett nytt och viktigt samarbete är det vi under året startat med asml, världens ledande steppertillverkare, när det gäller direktritning. Utan att gå in på några tekniska detaljer innebär direktritning att man använder mönsterritaren för att rita direkt på kiselskivan det vill säga direkt på en del som senare blir en halvledarkomponent istället för att tillverka en fotomask som sedan används i volymproduktion i en stepper. De mest uppenbara tillämpningarna för direktritning är prototyptillverkning av små serier eller när time-tomarket är av avgörande betydelse. Direktritning är en mycket spännande möjlighet, vilket förstärks av vetskapen om att steppermarknaden är cirka 10 gånger större än marknaden för mönsterritare för halvledarindustrin. Vi har dessutom nyligen förvärvat rättigheterna att även utnyttja slm-tekniken inom tillämpningar som mätning och inspektion. Micronic står väl rustat Året präglades av stabil försäljning och befästa positioner. Men under 2001 har vi också förstärkt vårt företag och sättet att arbeta. Vi har fokuserat på interna processfrågor och förstärkt kvalitetstänkandet, byggt ut vår globala kundsupportorganisation och tagit i drift en utökad produktionsanläggning. Vi har som en följd av denna verksamhetsutveckling nyanställt 23 personer, framför allt i usa och Asien, för att vara nära våra kunder. Det är också med tillfredsställelse som vi lägger bakom oss den patenttvist som pågått sedan januari 2000 med Etec. Parterna förlikades i juni 2001. Sammantaget ser Micronic med tillförsikt på framtiden. Vi är finansiellt starka med en kassa på en halv miljard. Vi har befäst och förstärkt våra marknadspositioner inom samtliga tre produktsegment. Vi står beredda med en attraktiv produktportfölj för såväl kapacitetsinvesteringar när marknaden vänder, som för investeringar i ny teknologi. Vi har introducerat slm-tekniken en teknik som är skalbar och därför kan möta framtida teknikkrav. Slutligen har vi vårt spännande direktritningsprojekt, som innebär att en ny marknad öppnar sig för oss. Vi står väl rustade och ser fram emot en fortsatt, snabb utveckling på våra marknader. Sven Löfquist Verkställande direktör Vision: Att leda den mikrolitografiska utvecklingen Mål: Att kombinera upplösning med produktivitet för att befästa den ledande positionen inom bildskärmssegmentet bli den ledande leverantören till halvledarindustrin möjliggöra produktion med hjälp av direktritning Strategi: Att uppnå våra mål genom tekniskt ledarskap kundfokus lokal närvaro Micronic Laser Systems är en världsledande tillverkare av laserritare för framställning av fotomasker* för tillverkning av bland annat halvledare och bildskärmar. Tekniken kallas mikrolitografi och Micronic erbjuder högsta möjliga upplösning kombinerat med en konkurrensmässig produktivitet för dessa tillämpningar. Tre huvudmarknader Micronics huvudmarknader är laserritare till halvledarindustrin och bildskärmsindustrin, samt ett tredje marknadssegment Multi Purpose, som omfattar laserritare till universaltillverkare, för bland annat elektronisk kapsling*, passiva bildskärmar och specialtillämpningar. Micronics kunder omfattar såväl sluttillverkare av elektroniska komponenter och bildskärmar med egen fotomaskframställning som fristående fotomasktillverkare. Dessa fungerar som underleverantörer till sluttillverkarna och kan genom skalfördelar ofta erbjuda en hög kostnadseffektivitet. Nettoomsättning per marknadssegment 2001 Multi Purpose 17% Service 10% Bildskärmar 36% Halvledare 37% Från stark bas inom bildskärmsmarknaden till snabbväxande inom halvledare Micronic har 100 procent av marknaden för avancerade bildskärmar. Det var företagets enda tillämpning av laserritare fram till hösten 1999, då inbrytningen på halvledarmarknaden påbörjades. Halvledarmarknaden är cirka 10 gånger större än bildskärmsmarknaden och bedöms uppgå till cirka 250 musd årligen 1), men ställer högre krav på teknik och support. Micronic har redan efter drygt två år på marknaden etablerat sig som en ledande leverantör av laserritare till halvledarindustrin, vid sidan av konkurrenten Etec (ett dotterbolag till Applied Material). Micronics värld 8 *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk. 1) Källa: Dataquest, december 2001. 9

Micronics värld Allt bättre och allt mindre Den historiska utvecklingen eller miniatyriseringen ofta beskriven som Moores lag pekar på en kontinuerlig strävan att öka packningstätheten i halvledarchip*, för att därigenom sänka produktionskostnaden. Samtidigt vill tillverkarna erbjuda högre funktionalitet i produkterna, vilket också driver fram halvledarkretsar* med högre packningstäthet. Inom bildskärmssegmentet eftersträvar tillverkarna framför allt att erbjuda högre upplösning till lägre produktionskostnad. Andra drivkrafter är att till rimliga produktionskostnader öka storleken på skärmar eller att minska elförbrukningen, till exempel när det gäller bildskärmar för mobiltelefoner. Samtliga dessa trender kräver produktionsutrustning som kan rita mönster med allt högre upplösning. Men det är inte bara en fråga om upplösning. Mönsterframställningen måste kunna ske med hög produktivitet. Kunderna har också behov av att kunna minska tiden fram till marknadslansering av nya produkter, vilket ställer krav på rationell och snabb produktion av mönster. För Micronics kunder är driftsekonomin av avgörande betydelse, då mönsterritare utgör en betydande investering. Att snabbt kunna tillverka applikationsspecifika halvledarkomponenter* i korta serier blir också allt viktigare. I framkanten idag och mot morgondagens lösning Traditionellt har de mest avancerade fotomaskerna för tillverkning av halvledarchip framställts med hjälp av elektronstråletekniken som ger hög upplösning men har låg produktivitet. Alternativet har varit scannande laserritare som ger hög produktivitet, men med en relativt låg upplösning. Micronics produktstrategi kan enkelt sammanfattas i att erbjuda både den upplösning som kunderna kräver och den överlägsna produktivitet som lasertekniken erbjuder. Utvecklingen mot produkter med allt högre upplösning drivs i steg, vilka ofta kallas tekniknoder. Stegen benämns efter den minsta linjebredd som är aktuell och mäts i nanometer (en miljondels millimeter). Under året har serietillverkning av halvledarkomponenter för tekniknoden 130 nanometer inletts. Micronics produkt Omega6600 är i drift för produktion av fotomasker för denna tekniknod. Micronic har även utvecklat produkter för nästa generation av laserritare baserat på den så kallade slm*- tekniken, som utvecklats tillsammans med det tyska utvecklingsinstitutet Fraunhofer ims. slm Spatial Light Modulator bygger på reflektionsteknik och möjliggör mönsterritning med kortvågig laser med mycket hög upplösning. Hjärtat i tekniken är en mikromekanisk komponent med en miljon individuellt styrbara speglar, som samtidigt reflekterar laserljuset och på detta sätt avbildar en delyta av mönstret. Delytorna fylls på i hög frekvens tills hela mönstret sammanfogats till den kompletta konstruktionen. Detta innebär att produktiviteten ökar väsentligt i jämförelse med tidigare generationer mönsterritare som utnyttjat en teknik med en eller ett fåtal strålar som successivt scannat den yta där mönstret ska ritas. Den första produkten baserad på den nya tekniken är Sigma7100 avsedd för volymproduktion för tekniknoden 130 nanometer. Micronic har i tester även visat att den redan idag har tillräcklig upplösning för tekniknoden 100 nanometer. Ett första system av Sigma7100 är beställt och kommer att levereras under 2002. slm-tekniken är skalbar, det vill säga den kan utvecklas att ge allt högre upplösning. Med hjälp av slmtekniken kommer Micronic att kunna erbjuda kostnadseffektiva mönsterritare för alla kommande tekniknoder inom överskådlig framtid. Bortom traditionell fotomasktillverkning Ett ytterligare utvecklingssteg är direktritning maskless lithography av halvledare. Direktritning gör det möjligt att rita det önskade mönstret direkt på kiselskivan, som kan sägas vara bottenplattan i halvledarkomponenten, istället för att först tillverka en fotomask och därefter via en stepper överföra mönstret på skivan. Direktritning kan ge kostnadsbesparingar för prototyper och korta serier. En global organisation Micronics främsta marknader är Japan, usa och Asien. Marknadsbearbetningen sker tillsammans med agenter eller distributörer. Dessa ansvarar för kundkontakt i nära samarbete med Micronics egen försäljnings- och marknadsföringsorganisation och tekniska personal. Genom dotterbolag i Japan, usa och Taiwan erbjuder Micronic kundsupport, vilket omfattar lokal service, avancerad teknisk support och applikationsstöd. INSTALLERADE SYSTEM Japan 46% Övriga Asien 26% USA 19% Europa 9% USA Dotterbolag: Micronic Laser Systems, Inc. VD: J. Freyer Agent: PacTech Enterprises LLC VD:T. Halloran Agent: Lite Enterprises Inc VD: D. Ronning Micronic Japan k.k. har totalt 39 anställda vid bolagets huvudkontor i Tokyo och vid lokalkontor i Kyoto, Kumamoto och Kanazawa. Under året har en ny verkställande direktör tillträtt. Micronics verksamhet i Hsin-Chu i Taiwan har 5 anställda och dotterbolaget Micronic Laser Systems, Inc. i Mountain View i Kalifornien, usa har 20 anställda. Ett starkt nätverk Micronic har sedan lång tid arbetat på att bygga och förstärka ett starkt SVERIGE Huvudkontor: Micronic Laser Systems AB VD: S. Löfquist nätverk av bransch- och teknikexperter som har kontakt såväl med Micronic som med bolagets kunder. Dessa ambassadörer medverkar vid tekniska diskussioner och andra försäljningsaktiviteter. KINA Agent: Hermes Epitek Corp. VD: C.Y. Shu TAIWAN R.O.C. Dotterbolag: Micronic Taiwan (under bildande) VD: E. Hsu Agent: Hermes Epitek Corp. VD: C.Y. Shu Nettoomsättning per geografisk marknad 2001 Japan 70% USA 13% Övriga Asien 17% KOREA Agent/Service: Microcom VD: K.S. Lee JAPAN Dotterbolag: Micronic Japan K.K. VD: M.Tsutsui Distributör: Hakuto Co., Ltd VD:T. Hirai Affärspartner: HTL Co., Ltd VD: A. Acharya Micronics värld 10 *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk. 11

Utvecklingen inom halvledarindustrin går i en rasande takt. Mönstertätheten i litografin dubblas ungefär vartannat år. Utan att man för den skull gör avkall på produktiviteten. Det är en svår och skrämmande utmaning som ter sig som ett spöke för många. För att klara detta scenario krävs en ny strategi och en ny generation av laserritare. Omega6000 och Sigma7000 i kombination gör detta möjligt. De klarar utvecklingen mot och bortom 130 nanometerstekniken. Halvledare: Nu en etablerad leverantör Micronics inbrytning på marknaden för laserritare till halvledarindustrin är en viktig kommersiell framgång i företagets historia. Halvledarkomponenter* är byggstenar i all modern teknisk utrustning och finns i allt från mobiltelefoner, bilar och kreditkort till datorer. Halvledarens funktion bestäms genom det mönster som med hjälp av en stepper genom en fotomask* avbildas på en kiselskiva. För att tillverka en halvledarkrets kan det behövas upp till 30 fotomasker med olika mönster och av olika komplexitet. Tillverkning av fotomasker av hög kvalitet ställer extremt stora krav på mönsterritarens kapacitet för upplösning och precision. Kostnaden för ett set av fotomasker för halvledarkomponenter för tekniknoden 180 nanometer kan uppgå till 250 000 usd och kan i tekniknoden 130 nanometer kosta upp till 1 musd, vilket är en återhållande faktor vid korta produktionsserier och vid produktutveckling. Upplösning vs produktivitet Konkurrensen och den tekniska utvecklingen tvingar tillverkarna av halvledarkomponenter att öka packningstätheten och samtidigt öka upplösningen på en halvledarkrets. Traditionellt har halvledarindustrin använt sig av elektronstråleritare för framställning av de mest avancerade fotomaskerna, då dessa har en mycket hög upplösning. Elektronstråleritare har dock mycket låg produktivitet vid komplexa mönster. Micronic har därför tagit fram ritare som erbjuder samma upplösning som en elektronstråleritare, men med produktiviteten hos ett lasersystem. Den tekniska utvecklingen mot mer komplexa halvledarkomponenter med högre upplösning brukar beskrivas genom Moores lag, vilken förutsäger att packningstätheten (det vill säga att komponentens yta minskar) ökas i en takt som innebär att antalet transistorer i en krets fördubblas var artonde månad. Ökningen i upplösning eller packningstäthet drivs i steg, vilka kallas tekniknoder och mäts ofta i nanometer (en miljondels millimeter). Vid skifte till en ny tekniknod påverkas hela industrin genom att de mest kritiska fotomaskerna måste kunna erbjuda denna nya upplösning. För närvarande sker huvuddelen av serieproduktionen av avancerade fotomasker för tekniknoden 180 nanometer, medan produktion för tekniknoden 130 nanometer har inletts. Kundsupport En väl fungerande och samordnad kundsupport är avgörande inom elektronikindustrin och särskilt inom halvledarbranschen och har varit en hörnsten i Micronics etableringsstrategi. Micronic har byggt upp ett globalt kundsupportnät med verksamhet i Japan, usa, Kina, Taiwan, Korea och Sverige. Marknad Marknaden för halvledarritare har under senare år uppskattats till cirka 300 musd. Branschanalytiker bedömer att marknaden under 2001 minskat med cirka 15 procent till 250 musd 1) men tror också att marknaden under 2002 kommer att återgå till en nivå runt 300 musd. Under 2001 erhöll Micronic order på tre system och levererade fem system, varav en uppgradering. Uppskattning av total marknad, enligt Dataquest, december 2001. MUSD 422 Fotomaskerna används för att masskopiera kretsmönstret på kiselskivor. Halvledarkretsen består av många olika mönsterlager och för varje lager behövs en separat fotomask. 286 296 248 316 1) Källa: Dataquest, december 2001. *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk. 1999 2000 2001 2002 2003 Halvledare 13

Det kanske viktigaste kvalitetskravet för TFT-bildskärmar beskrivs med ordet: mura. Det är ett japanskt ord och betecknar de visuella fel, till exempel ränder, som kan uppstå på grund av olika systematiska avvikelser vid fotomasktillverkningen. Dessa avvikelser är oftast för små att kunna mätas. Ändå är de i högsta grad synliga för det mänskliga ögat. Att eliminera mura är därför avgörande. Micronic LRS11000 ger oöverträffad murakontroll. Detta system har därför blivit industrins de facto standard för alla bildskärmstillämpningar där stora fotomasker används. Bildskärmar:Vår styrka Bildskärmssegmentet har varit basen i Micronics verksamhet. Genom att utveckla och befästa ett starkt teknikledarskap och därefter vinna i princip hela marknaden för fotomasker till avancerade skärmar har Micronic skapat bred acceptans för sina tekniska lösningar. Detta har gett en stark bas för fortsatt utveckling. I bildskärmssegmentet används Micronics utrustning för tillverkning av fotomasker* för produktion av en rad produkter; såväl traditionella katodstrålerör*, som allt från mycket stora plasmabildskärmar (pdp*-skärmar) till platta bildskärmar med flytande kristallteknik (lcd*-skärmar). Platta bildskärmar används till bland annat datorer, tv-apparater, mobiltelefoner, videokameror och informationsmonitorer. Den dominerande tekniken på marknaden för platta skärmar är tft-lcd*-skärmar. För dessa används 8 13 fotomasker, inklusive färgfilter*. Tillverkare av tft-skärmar har traditionellt haft valet mellan att använda små eller stora fotomasker. Micronics utrustning klarar att tillverka fotomasker som är större än en kvadratmeter och i moderna litografiutrustningar används bara stora fotomasker. Detta ökar den tillgängliga marknaden för Micronic. Växande marknad För Micronic har den dominerande delen av bildskärmsmarknaden varit tft-lcd-skärmar. Marknaden för dessa skärmar har visat en stadig tillväxt och undersökningar pekar på en årlig genomsnittlig tillväxttakt på över 15 procent mellan 1999 och 2005 1). Under 2001 minskade marknaden för tft-skärmar något i monetära termer. En ökande acceptans av platta skärmar, framför allt som datormonitorer, har dock lett till att produktionsvolymerna ökat. Behovet av fotomasker är därför oförändrat starkt. Marknaden för bildskärmsritare uppgick 2001 till 25 musd, vilket är en nedgång från 40 musd under 2000. Behovet av mer avancerade ritare är fortfarande stort och den underliggande tillväxten är god sett på några års sikt. Micronic beräknar att marknaden för bildskärmsritare kommer att nå 70 musd under år 2004. Micronics laserritare används även vid framtagning av de skuggmasker som används vid tillverkning av alla TV-skärmar och datormonitorer som produceras i världen. Marknaden är emellertid mogen och nyförsäljningen av mönsterritare för denna tillämpning är mycket begränsad. Under 2001 erhöll Micronic order på fem system avseende tft-ritare och levererade fem, varav en uppgradering. Uppskattning av total marknad, enligt Micronics bedömningar. MUSD 70 40 25 25 Stora fotomasker av hög kvalitet krävs för att tillverka platta bildskärmar på ett effektivt sätt. 1999 2000 2001 2004 1) Källa: Dataquest, december 2001. *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk. Bildskärmar 15

Elektronisk kapsling. Passiva skärmar. Avkodare. De fotomasktillverkare som arbetar inom Multi Purpose-segmentet måste ha förmågan att hålla många bollar i luften samtidigt. Det gäller att kunna tillfredsställa de ständigt varierande kraven från kunderna. Micronics MP80+ och MP170+ arbetar med extrem hastighet och ger bra bildkvalitet till ett konkurrenskraftigt pris. Den inbyggda flexibiliteten gör att varje fotomask kan ritas med optimala inställningar. Multi Purpose: Framflyttade positioner Marknaden för Micronics Multi Purpose-system (mp) omfattar försäljning till oberoende, ofta mindre, fotomasktillverkare. Dessa kan beskrivas som universaltillverkare vars fotomasker* används för produktion av till exempel elektronisk kapsling*, passiva platta bildskärmar och avkodare*. För dessa kunder är flexibilitet och kostnadseffektivitet avgörande vid val av leverantör av mönsterritare. En annan kundkategori är elektroniktillverkare som producerar fotomasker för eget bruk, framför allt av kvalitetsskäl. Den viktigaste tillämpningen för MP-systemen är elektronisk kapsling där det sker en snabb utveckling som leder till ökade krav på fotomaskerna. Detta gör att tillverkare som tidigare klarat sig med enklare utrustning nu börjar efterfråga Micronics system. Även inom detta område ökar kraven på upplösning. För att möta dessa behov har Micronics produktprogram under året utökats med system optimerade för krommasker, och en konfiguration med högre upplösning introducerats. pdp*-skärmar är en tillämpning som produktmässigt tillhör mp-segmentet, trots att det är fråga om en typ av bildskärmar. Dessa omfattar mönsterritare för fotomasker upp till 1100 x 1700 millimeter. pdp-skärmar används till exempel som informationsmonitorer och tv på väggen, men har ännu inte slagit igenom kommersiellt, främst av kostnadsskäl. De produktlanseringar som Micronic genomförde under 2000 har gett utdelning i ökad försäljning och framflyttade positioner. Den viktigaste konkurrensfördelen är tekniskt ledarskap med hög kvalitet och hög rithastighet. Micronic är den ledande aktören inom segmentet som präglas av snabb teknisk utveckling och nytillkommande tillämpningar. Under 2001 erhöll Micronic order på två Multi Purpose-system och levererade fem. Nya metoder för elektronisk kapsling kräver noggrannare fotomasker än tidigare, vilket ökar efterfrågan på MP-systemen. *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk. Multi Purpose 17

Marknad och konkurrens: Vi vinner terräng Micronic-aktien Micronic möter starkt varierande konkurrens på de tre produktsegment som bolaget bearbetar. Ökande marknadsandelar i halvledarsegmentet Marknaden för mönsterritare till halvledarindustrin kan delas upp i två segment beroende på den teknik som de olika produktionssystemen bygger på; elektronstråle- eller laserritare. Amerikanska Etec, som sedan ett drygt år är helägt dotterbolag till Applied Materials Inc., har historiskt varit den dominerande leverantören och erbjuder ritare av båda tekniktyperna. Andra aktörer är Toshiba, Jeol, Hitachi och Leica som enbart levererar elektronstråleritare. Av dessa har framför allt de två förstnämnda varit framgångsrika under året. Etec var fram till 1999 den enda leverantören av laserritare till halvledarsegmentet. Under de senaste två åren har Micronic gjort en stark inbrytning i detta marknadssegment och svarar nu för cirka 10 procent av marknaden. Hela industrin drivs av krav på ökad upplösning och successiva steg mot allt finare mönsterstrukturer. De olika leverantörernas konkurrenskraft påverkas av om de kan lansera mönsterritare för den aktuella tekniknoden för volymproduktion och samtidigt bearbeta kunder med produkter för den eller de kommande tekniknoderna. Micronic har på kort tid etablerat en mycket stark position inom halvledarsegmentet. Befästa positioner i bildskärmssegmentet Inom bildskärmssegmentet är Micronic sedan många år den obestridliga ledaren med i princip hela marknaden för ritare för avancerade stora fotomasker*, det vill säga sådana som används för tillverkning av tft*- skärmar. Micronic har också hela marknaden för mönsterritare till skuggmasker. Under året har Micronic befäst sina positioner inom bildskärmssegmentet. Framflyttade positioner inom Multi Purpose-segmentet De produktlanseringar som Micronic genomförde under 2000 har lett till ökad försäljning och framflyttade positioner inom segmentet Multi Purpose. Allt fler kunder upplever ökande krav, vilka inte längre kan mötas med de enklare mönsterritare som använts tidigare, utan kräver den prestanda som Micronic erbjuder. Den starkast växande tillämpningen är elektronisk kapsling, där det sker en snabb teknisk utveckling. Vid sidan av Micronic är Heidelberg Instruments och dns aktiva inom detta produktsegment. Micronic gör bedömningen att bolaget, med dess avancerade Multi Purposesystem, är både marknads- och teknikledande. Kursutveckling och handel i aktien Micronic, som noterades på Stockholmsbörsens O-lista den 9 mars 2000, ingår sedan den 2 januari 2001 i Attract 40-listan. Attract 40-listan har inrättats med syfte att underlätta för investerare att hitta de mest in-tressanta bolagen på O-listan. Urvalet till Attract 40 baseras på handelsstatistik om bolagets omsättnings- hastighet under senaste halvårsperioden. SEK 350 300 250 Micronics börsvärde uppgick vid utgången av år 2001 till 3 667,7 msek (5 329,1). Börskursen var den 28 december 191 kronor. Jämfört med slutkursen föregående år, 279 kronor, har kursen under året gått ned med 32 procent. Affärsvärldens Generalindex har under året gått ned med 17 procent. Sedan börsintroduktionen, då introduktionspriset var 105 kronor, har aktien stigit med 82 procent. Under samma period har Affärsvärldens Generalindex sjunkit med 40 procent. Under 2001 har Micronic som högst betalats med 325 kronor (den Omsatt antal aktier i 1000-tal per vecka (inkl. eft.anm) 1 februari) och som lägst med 73,50 kronor (den 16 juli). Under året har det omsatts totalt 15 454 201 Micronic-aktier (15 145 101), motsvarande cirka 80 procent av utestående aktier, till ett värde av 2 279 msek (3 338). Micronic-aktier har omsatts under samtliga 249 börsdagar jämfört med 204 dagar under 2000. I genomsnitt omsattes dagligen under 2001 62 065 aktier jämfört med 74 236 föregående år. Det genomsnittliga dagsvärdet av omsatta aktier uppgår till 11 162 tkr (16 365). Micronic Laser Systems Afv Generalindex Delphi Economics Marknad och konkurrens 18 Micronics Modell Teknik och våglängd Omega6000 Scannande 413 Sigma7000 SLM 248 Nästa generation SLM 193 Tekniknod 180 nm 130 nm 100 nm 70 nm 50 nm *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk. Marknader Mönsterritare för bildskärmar Laser Micronic Mönsterritare för halvledare E-beam Toshiba Jeol, Etec Hitachi Leica Laser Micronic Etec 200 150 100 50 0 m a m j j a s o n d j f m a m j j a s o n d 2000 2001 Antal 1000-tal 1400 1200 1000 800 600 400 200 0 Micronic-aktien 19

Micronic-aktien 20 Aktiekapitalets utveckling Per 2001-12-31 uppgick aktiekapitalet till 19 202 583 kronor, fördelat på lika många aktier med ett nominellt värde på 1 krona. Nedanstående tabell visar hur aktiekapitalet förändras vid fullt utnyttjande av utestående teckningsoptioner samt full konvertering av det till asml ställda konvertibla förlagslånet. Micronics optionsprogram Micronic har sedan 1997 vid fem tillfällen introducerat optionsprogram, varav de vid fyra tillfällen riktats till Micronics medarbetare. Ett första optionsprogram, genomfört 1997, förföll under år 2000. 1998 genomfördes ytterligare ett program riktat till de anställda, omfattande 120 000 optioner med rätt till nyteckning av lika många aktier. Teckning av aktier kunde ske fram till 2001-10-31 till kursen 55 kronor. Av detta program har 18 000 optioner ej fördelats utan dragits in medan 102 000 optioner fördelats och lösts in under 2001. Aktiekapitalets utveckling Ökning av Totalt antal Totalt aktie- År Transaktion antalet aktier aktier kapital, kr 1989 Bolaget grundas 500 50 000 1989 Nyemission 9 500 10 000 1 000 000 1989 Nyemission 6 000 16 000 1 600 000 1990 Nyemission 3 300 19 300 1 930 000 1994 Nyemission 1 801 21 101 2 110 100 1997 Fondemission 5:1 84 404 105 505 10 550 500 1997 Split 100:1 10 444 995 10 550 500 10 550 500 1997 Nyemission 1 450 000 12 000 500 12 000 500 1998 Nyemission 2 000 083 14 000 583 14 000 583 2000 Nyemission 4 500 000 18 500 583 18 500 583 2000 Utnyttjande av teckningsoptioner 600 000 19 100 583 19 100 583 2001 Utnyttjande av teckningsoptioner 102 000 19 202 583 19 202 583 Antal aktier med hänsyn till teckningsoptioner och konvertibler Antal utestående aktier per 31 december 2001 19 202 583 Utestående teckningsoptioner 1 591 150 Antal aktier efter utnyttjande av teckningsoptioner 20 793 733 Konvertibelt förlagslån till ASML 1 000 000 Antal aktier efter full konvertering 21 793 733 1999 genomfördes det tredje optionsprogrammet riktat till medarbetarna på Micronic, omfattande 350 000 optioner, med rätt att teckna lika många aktier. Teckning av aktier kan ske mellan 2000-01-01 och 2002-12-31 till kursen 90 kronor per aktie. Andelen ej fördelade optioner uppgår till 94 900 och styrelsen har beslutat att dra in utestående, ej fördelade optioner. Utestående optioner, efter indragning, uppgår till 255 100. Under 1999 utfärdades ytterligare ett optionsprogram, i samband med Omega6000-ordern från DuPont Photomasks, omfattande 736 050 teckningsoptioner med rätt att teckna lika många aktier. Optionerna kan lösas in under perioden 2000-01-01 till och med 2003-12-31. Teckningskursen uppgår till 60 kronor. Teckningsoptionerna har tilldelats DuPont i rater enligt avtal mellan Micronic och DuPont och är under 2001 fullt fördelade. Under 2001 år har ett femte, sjätte och sjunde delprogram introducerats, riktat till samtliga medarbetare inom koncernen. Programmen omfattar 380 000 och 130 000 respektive 90 000 optioner med rätt till nyteckning av lika många aktier. Teckning av aktier kan ske under perioden 2003-10-01 till och med 2003-12-31 till kursen 312 kronor per aktie för anställda i Sverige (totalt 510 000). Medarbetarna i de utländska bolagen har rätt att under perioden 2005-10-01 till och med 2005-12-31 teckna 90 000 aktier till kursen 208 kronor per aktie. Totalt antal ej fördelade optioner uppgår per 2001-12-31 till 297 600. Optionsprogram Ägarstruktur i Micronic Antalet aktieägare, som i samband med introduktionen uppgick till cirka 6 000, var den 28 december 2001 4 680. Styrelsen och ledningen har en sammanlagd ägarandel om totalt 398 671 aktier, vilket motsvarar cirka 2 procent av totalt antal aktier. Övrig personal tecknade vid introduktionen cirka 6 procent av totala antalet aktier. Genom ett antal optionsprogram har Micronics medarbetare per den 31 december 2001 optioner vilka totalt kan leda till nyteckning av 855 100 aktier (varav 75 200 aktier till ledningen) under en period fram till 2005-12-31. Därutöver innehar DuPont teckningsoptioner motsvarande 736 050 aktier. asml kan fram till 2004-07-31 genom nyteckning erhålla 1 miljon aktier, vilket betyder att det totala antalet aktier efter full utspädning av optioner och konvertering uppgår till 21 793733 aktier. Program 3 4 5/6 7 Teckningstid från 2000-01-01 2000-01-01 2003-10-01 2005-10-01 Teckningstid till 2002-12-31 2003-12-31 2003-12-31 2005-12-31 Teckningskurs 90 60 312 208 Verkställande direktör 4 400 Ledning 55 000 12 800 3 000 Övriga anställda 135 100 312 200 1) 35 000 Externa affärspartners 736 050 Ej fördelade 2) 65 000 180 600 52 000 Ej fördelade, indragna 94 900 Totalt 350 000 736 050 510 000 90 000 1) Arbetande styrelseordföranden innehar 4 400 teckningsoptioner. 2) Återstående optioner har ej upptagits till något värde i redovisningen. Det utländska ägandet i Micronic uppgår till 38 procent. Andelen institutionella ägare (svenska institutioner och utländska ägare) var vid utgången av året 85 procent. Utdelningspolitik Micronic har inte lämnat någon utdelning sedan bolaget bildades. Micronic planerar heller inte någon utdelning under de närmaste åren utan ämnar behålla de vinstmedel som genereras för att finansiera ytterligare forsknings- och utvecklingsarbete. Ägarstruktur per 28 december 2001 Utländska ägare 38% Svenska ägare 62% Institutioner 31% Fonder 16% Privata ägare 15% Micronic-aktien 21

Micronic-aktien 22 Data per aktie SEK 1995 1996 1997 1998 1999 2000 2001 Antal aktier vid årets slut 19 100 583 19 202 583 Genomsnittligt antal aktier 18 078 452 19 103 936 Genomsnittligt antal omsatta 742 36 620 65 aktier per dag Genomsnittligt värde i omsatta 16 366 11 162 aktier per dag, tkr Eget kapital per aktie, före utspädning 1,22 3,95 7,4 13,61 10,1 35,58 36,30 Eget kapital per aktie, efter utspädning 2) 37,65 57,00 Vinst per aktie, före utspädning 0,79 2,74 3,34 2,27-3,81 3,93 0,37 Vinst per aktie, efter utspädning 3,52 0,32 Utdelning per aktie Börskurs vid årets slut 279 191 Högsta börskurs 334 325 Lägsta börskurs 138 73,50 Kursförändring under året, % - 32 P/E-tal före utspädning 1) 75 516 P/E-tal efter utspädning 1) 79 596 Kurs/eget kapital, före utspädning 1) 7,87 5,26 Kurs/eget kapital, efter utspädning 1)2) 7,49 3,30 1) Beräkningen baseras på antal aktier vid årets slut. 2) I eget kapital per aktie, efter utspädning, ingår det kapital som tillförs via teckningsoptioner och konvertibelt förlagslån. Fördelning av innehav i Micronic-aktien Antal Antal aktier Storleksklass aktieägare och röster % Mer än 100 001 35 13 234 210 68,92 50 001-100 000 26 1 842 085 9,59 10 001-50 000 94 2 358 422 12,28 5 001-10 000 41 319 828 1,67 2 001-5 000 112 368 118 1,92 1 001-2 000 137 211 707 1,10 501-1 000 348 302 632 1,58 1-500 3 887 565 581 2,95 Totalt 4 680 19 202 583 100,00 Följande analytiker följer kontinuerligt Micronic Analytiker Telefon e-mail Alfred Berg Patrick Clase +46 (0)8 723 60 30 patrick.clase@alfredberg.se Carnegie Johan Lindqvist +46 (0)8 676 86 78 johlin@carnegie.se Credit Agricole Indosuez Cheuvreux Johan Eliason +46 (0)8 723 51 77 jeliason@caicheuvreux.com Deutsche Bank AG David Halldén +46 (0)8 463 55 15 david.hallden@db.com Enskilda Securities Johan Grabe +46 (0)8 52 22 95 00 johan.grabe@enskilda.se Evli Anders Berg +46 (0)8 407 80 25 anders.berg@evli.com Frans Heijbel +46 (0)8 407 80 29 frans.heijbel@evli.com Handelsbanken Jonas Eixmann +46 (0)8 701 16 81 joei02@handelsbanken.se Nordea Esbjörn Lundevall +46 (0)8 407 92 48 esbjorn.lundevall@nordeasecurities.com Nordiska Mikael Laséen +46 (0)8 791 48 27 mikael.laseen@nordiska.com Redeye Roger Jansson +46 (0)8 545 013 30 roger.jansson@redeye.se Pontus Herin +46 (0)8 545 013 30 pontus.herin@redeye.se Remium Securities Robert Ahldin +46 (0)8 454 32 00 robert.ahldin@remium.com Swedbank Mats Larsson +46 (0)8 58 59 25 42 mats.larsson@foreningssparbanken.se Arete Research Brett Simpson +44 (0)20 7959 1320 brett.simpson@arete.net Robertson Stephens Scott Ingham +44 (0)20 7798 6378 scott_ingham@rsco.com Sue Billat +1 650 289 7226 sue_billat@rsco.com Cazenove Laurence Watts +44 (0)20 7512 6373 laurence.watts@cazenove.com Micronics 15 största aktieägare/förvaltare per 28 december 2001 Ägare Antal % Stiftelsen Industrifonden 3 525 000 18 State Street Bank and Trust Co 1) 2 404 750 13 Robur Fonder 1 032 780 5 Smith Barney Inc 950 000 5 Skandia 829 900 4 Banco Fonder 603 501 3 Fidelity fonder 515 714 3 Skandia Carlson fonder 444 549 2 Svolder 335 100 2 Chase Manhattan 327 448 2 Nordea fonder 308 550 2 Northern Trust Company 303 154 2 SHB fonder 271 600 1 Citibank NA London 254 525 1 Nordea pensionsstiftelse 200 000 1 Summa 15 största ägare/förvaltare 12 306 571 64 Övriga ägare 6 896 012 36 Totalt antal utestående aktier 19 202 583 100 per 28 december 2001 1) State Street Bank and Trust Co är förvaltare och innehavet är fördelat på ett antal ägare. Källa: SIS Ägarservice. Micronic-aktien 23

Micronics teknik och produkter Teknik och produkter Mikrolitografin är grunden Att mångfaldiga ett mönster genom att belysa till exempel en kiselskiva bestruken med fotokänsligt material genom en fotomask* kallas mikro-litografi och påminner om hur ett negativ används för att mångfaldiga fotografier. Fotomasken kan innehålla ett mycket komplicerat mönster som på detta sätt förs över till det belysta materialet. Mikrolitografi används för både tillverkning av bildskärmar och halvledarkomponenter och är grunden för Micronics verksamhet. Micronic tillverkar mönsterritare, som ritar ett mönster på en fotomask, som sedan används för att bilda ett bildskärmsmönster eller strukturer på en kiselskiva för framställning av ett halvledarchip*. Processen att tillverka en halvledarkomponent eller en bildskärm beskrivs här i korthet. Det första steget är att utveckla och fastställa den önskade konstruktionen som styr funktionaliteten i ett chip eller att rita bildskärmsmönstret. Konstruktionen utarbetas i en avancerad cad* eller cae-programvara vilken genererar en mönsterlayout en ritning över chippet eller bildskärmsmönstret. Nästa steg i processen är att layoutinformationen överförs till Micronics mönsterritare, där informationen konverteras och bearbetas. Med hjälp av en eller flera laserstrålar ritas sedan mönstret på en glasskiva, som är bestruken med fotokänsligt material, en fotoresist, som ligger ovanpå en tunn kromfilm. Efter avslutad ritning framkallas fotoresisten och mönstret etsas i kromfilmen. Slutresultatet är en glasskiva med ett krommönster en fotomask. Fotomasken är en exakt återgivning av det önskade mönstret och med hjälp av genomlysning i en exponeringsutrustning kan detta mönster kopieras på substrat av varierande material. På detta sätt kan elektronikindustrin massproducera komponenter som platta bildskärmar och halvledarkomponenter. Micronics laserritare idag Micronics första generation av laserritare för halvledarmarknaden och som nu används för serieproduktion använder den så kallade rasterscantekniken vid ritningen av mönstret. Det fungerar så att fotomasken som ska exponeras ligger på ett xy-bord en konstruktion som kan röra sig i två dimensioner vilket rör sig samtidigt som en laserstråle styrd av en akustooptisk* deflektor sveper vinkelrätt mot rörelseriktningen. Detta ger en smal exponerad remsa, en strip, på fotomasken. Bordet rör sig därefter till nästa position och en ny strip exponeras. På detta sätt fortsätter det till dess att fotomasken är täckt av ett antal intilliggande remsor. Överföringen av informationen sker genom att intensiteten i laserstålen varieras med hjälp av en akusto-optisk modulator. Micronics laserritare finns för olika format av fotomasker ända upp till 1 100 x 1 700 millimeter. De maskiner som används för framställning av stora fotomasker har ett rörligt objektiv och ett bord som bara rör sig i en riktning, bland annat för att begränsa storleken på systemet. och imorgon Utvecklingen går kontinuerligt mot högre upplösning där allt finare mönster ska överföras till allt mindre ytor. Micronics utmaning är att utveckla mönsterritare som kan möta dessa krav på högre upplösning och som samtidigt har en hög produktivitet. I ett laserbaserat system är det våglängden på det ljus som används som sätter begränsningen för hur hög upplösningen kan bli. I samarbete med tyska Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems har Micronic utvecklat en helt ny teknik som kallas slm* (Spatial Light Modulator). slm bygger på reflektionsteknik och möjliggör mönsterritning med kortvågig laser med mycket hög upplösning. Hjärtat i tekniken är en mikro-mekanisk krets med en miljon individuellt styrbara speglar, som samtidigt reflekterar laserljuset och på detta sätt avbildar en delyta av mönstret. Delytorna fylls på i hög frekvens tills hela mönstret sammanfogats till den kompletta konstruktionen. Detta innebär att produktiviteten ökar väsentligt i jämförelse med tidigare generationer mönsterritare. Dessa utnyttjade en teknik med en eller ett fåtal strålar som successivt scannade den yta där mönstret ska ritas. Den nya tekniken tillåter användningen av ljuskällor med extremt kort våglängd, till exempel duv-laser* (Deep Ultra Violet) men också ljus med ännu kortare våglängd. När chippet är färdigt testas och kapslas det och kan sedan användas i elektronikprodukter, tex bärbara datorer. 24 *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk. 25 Halvledare Datafil Mönstren skapas med hjälp av ett CAD*-system. Informationen överförs till mönsterritaren där den konverteras till ett lämpligt ritformat. Bildskärmar Datafil Micronics mönsterritare Mönsterinformationen styr lasern som ritar fotomasken. Micronics mönsterritare Tillvägagångssättet för stora bildskärmar liknar det som för halvledare, förutom att mycket större fotomasker används. Fotomask Stepper För att överföra mönstret till en halvledarkiselskiva belyses den framkallade fotomasken i ett litografiskt exponeringssystem, en stepper. I steppern förminskas mönstret fyra gånger. Fotomask Aligner Kiselskiva Efter exponeringen går kiselskivan genom olika processer som skapar transistorer och ledare. Detta förfarande upprepas 20 25 ggr med olika fotomasker varje gång. Mönstret förminskas inte heller i en stepper utan mönstret projiceras i skala 1:1 på TFT-LCD substratet. Denna process kräver vanligen mellan fem och sju olika fotomasker. Mikrochip Bildskärm Den färdiga bildskärmen används sedan i t ex bärbara datorer. Teknik och produkter

Teknik och produkter Mönsterritare för halvledarproduktion Omega6000 Micronics produktserie Omega6000 erbjuder kostnadseffektiv mönsterritning för halvledarproduktion ned till 130 nanometer. Produktserien omfattar två system, Omega6060 och Omega6600, som är byggda på samma plattform. Sigma7000 Sigma representerar ett paradigmskifte när det gäller mönsterritare. Ritprinciper för Omega-systemet Omega är en rasterritare. Laserns intensitet styrs av mönstret som ska ritas och lasern sveper successivt över hela fotomasken. Fotomasken läggs på XY-bordet. Bordet rör sig i en riktning medan fem laserstrålar rör sig i rät vinkel mot bordets riktning och en remsa av mönstret exponeras på fotomasken. Detta upprepas över hela ytan till dess att fotomasken är färdigexponerad. Stråldelare AOM* Laser AOD* Svepstart Datakanal Mönsterdata Y-position Interferometer* X-position Laser Den baseras på slm*-tekniken. Sigma- 7100 är den första ritaren i Sigmaserien och kan i dagsläget användas för produktion av fotomasker för tekniknoden 130 nanometer. Med Sigma erbjuds halvledarindustrin kostnadseffektiva produktionslösningar även för de mest avancerade tillämpningarna. För att producera en halvledarkrets krävs en uppsättning på vanligen över 20 fotomasker. Av dessa är endast ett fåtal kritiska och för dessa krävs mönsterritare anpassade för den Ritprincipen för SLM SLM-teknologin använder sig av en massivt parallell ritmetod. SLM består av ett chip med en miljon individuellt styrbara mikrospeglar. En del av mönstret laddas in i SLM-chippet och en puls från exponeringslasern belyser mikrospeglarna. Det reflekterade ljuset avbildas ner på fotomasken. Fotomasken rör sig med en konstant hastighet och när positionen för nästa del av mönstret nås startas nästa laserpuls och fotomasken belyses på nytt. Mellan laserpulserna laddas SLM-chippet med information för nästa del av mönstret. Detta upprepas till dess att fotomasken är färdigexponerad. Interferometer absolut senaste tekniska utvecklingen för att ge den önskade upplösningen. Resterande fotomasker kräver inte lika hög upplösning. Micronic har därför utvecklat ett koncept Mix & Match som innebär att kundens hela produktionsbehov kan tillfredsställas med hjälp av en kombination av Micronics mönsterritare. Detta ger en mycket god driftsekonomi och hög flexibilitet, samt minskade investeringar i de förberedelser som krävs om mönsterritare från ett antal tillverkare används. Pulsad excimer laser Y-position Interferometer* X-position Laser Mönsterrastrerare SLM Stråldelare Lins Apertur Objektiv Mönsterritare för bildskärmstillämpningar Micronics lrs11000 används vid framställning av högkvalitativa fotomasker för bildskärmar. På grund av oöverträffad mura -kontroll, det vill säga eliminering av källor till synliga fel, till exempel ränder på en bildskärm, har systemet blivit industrins de facto standard för bildskärmstillämpningar. LRS11000 lrs11000-tft mb3 och den nyligen introducerade högupplösande lrs11000-tft2 används för avancerade tft-fotomasker och fotomasker för färgfilter* till tft-skärmar. Båda systemen använder multistråleteknik, vilket tillåter hög produktivitet i kombination med hög upplösning. lrs11000-30s är avsedd för tillverkning av skuggmasker* för katodstrålerör*. Multi Purpose mönsterritare Micronics produktserie mp består av ett antal kostnadseffektiva laserritare som kan användas för ett antal olika tillämpningar. Flexibilitet kombinerat med kvalitet och hög rithastighet gör systemen konkurrenskraftiga. Det finns tre olika laseralternativ som ger kunden möjlighet att välja det ideala systemet för sin produktmix. MP80+ Systemet ritar fotomasker upp till 800x800 millimeter. De kan utrustas med automatiskt utbytbar optik, vilket ger möjlighet att enkelt optimera balansen mellan rithastighet och upplösning. MP170+ Systemet kan rita de extremt stora fotomasker som krävs för pdp*- tillämpningar upp till 1 100x1 700 millimeter. Systemet klarar även samma tillämpningar som mp80+. Halvledarprodukter System Tillämpning Tekniknod Sigma7100 Halvledare 130 100 nm Omega6600 Halvledare 180 130 nm Omega6060 Halvledare 500 250 nm Bildskärmsprodukter System Tillämpning Fotomask storlek LRS11000- Avancerade Stor TFT2 TFT-LCD, färgfilter LRS11000- TFT-LCD, Stor TFT MB3 färgfilter LRS11000-30S CRT* Stor Multi Purpose produkter System Tillämpning Fotomask storlek MP80+ Multi Purpose Medium MP170+ PDP, Multi Purpose Mycket stor Teknik och produkter 26 *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk. 27

Forskning och utveckling: Förstärkt patentarbete Forskning och utveckling 28 Att förena olika kompetenser Grunden till Micronics framgång är ett djupt tekniskt kunnande. Under en lång rad av år har Micronic satsat minst 20 procent av omsättningen på forskning och utveckling. Under 2001 var över hälften av medarbetarna engagerade i forsknings- och utvecklingsprojekt och FoU-andelen uppgick till 31 procent av omsättningen. På marknader med så hög utvecklingstakt, som de Micronic är verksamma på, är en hög FoU-andel en förutsättning för att kunna vidmakthålla och utveckla sina marknadspositioner. Den avgörande framgångsfaktorn är att kunna kombinera olika kompetensområden inom allt från optik, finmekanik och kemi till laserteknik, databehandling och bildbearbetning. Micronic strävar därför efter en öppen och prestigelös atmosfär där gränsöverskridande arbete är ett krav men också befrämjar personlig utveckling och ökar Micronics attraktion som arbetsgivare. Om engagemang är nyckelordet på hur Micronics medarbetare ska ta sig an en uppgift, så är precision det överskuggande kriteriet för att mäta resultatet. Företaget strävar efter att alla medarbetare ska vara engagerade i hela processen från utveckling till leverans. Installation och applikationsutveckling bedrivs ofta i samarbete mellan Micronics medarbetare och kunden. *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk. Under året fick Micronic ett påtagligt bevis för den roll bolaget och dess medarbetare spelat i den tekniska utvecklingen inom sitt område. semi, Semiconductor Equipment and Materials International, en sammanslutning av över 2 400 företag inom marknaden för halvledare och platta bildskärmar, delar varje år ut ett prestigefyllt pris. Under 2001 gick priset till Anders Thurén, Hans Buhre, Torbjörn Sandström samt framlidne Gerhard Westerberg. Utmärkelserna motiverades av de banbrytande insatser som dessa personer bidragit till när det gäller att utveckla laserritartekniken. Micronic är det första europeiska företag som hedrats av nordamerikanska semi och utmärkelsen delades med Etec. Patentarbete för långsiktig konkurrenskraft För att skydda företagets innovationer och för att säkerställa dess långsiktiga konkurrensförmåga har Micronic etablerat ett aktivt patentprogram. Micronic har under senare år intensifierat arbetet när det gäller immateriella rättigheter och uppmuntrar och stimulerar arbete som kan leda till patent. Utvecklandet av patent sker såväl internt som tillsammans med kunder och samarbetspartners. För närvarande har Micronic 39 patentfamiljer där 10 av dessa är beviljade i minst ett land. Under året gjordes 14 nya patentansökningar, vilka ingår i patentportföljen. Patenten täcker såväl centrala tekniska lösningar som unika konstruktioner och tillämpningar. Det är också viktigt för ett företag som Micronic, med en stor bredd på aktuella kompetensområden, att bevaka att bolaget inte av underlåtenhet gör intrång på någon annans immateriella rättigheter. För att öka innovationskraften sker även gemensamma projekt med innehavare av andra patent. Det bästa exemplet är samarbetet med Fraunhofer ims, som tillsammans med Micronic utvecklat det chip som ligger till grund för slm*-tekniken. Samarbetet med Fraunhofer har gett Micronic tillgång till kunnande och resurser som ett företag av Micronics storlek aldrig skulle kunna åstadkomma på egen hand. Samtidigt är Micronic en av Fraunhofers viktigaste kanaler för att kommersialisera uppfinningar och patent inom slm-teknologin. Micronic söker konsekvent tillämpningspatent kring den del av utvecklingen som bolaget ansvarar för. Under året har de immateriella rättigheterna kompletterats med ytterligare avtal med Fraunhofer, främst exklusiva rättigheter att använda slm-chippet för direktritningstillämpningar samt rätten att utveckla tillämpningar kring tekniken som bygger på inspektion och mätning av halvledarkomponenter. Avtalet är treårigt och omfattar flera generationer av slm-komponenter som ska ligga till grund för kommande tekniknoder. Micronic har global ensamrätt till denna form av användning av slmchippet och har inlett ett samarbete med världens ledande steppertillverkare, holländska asml, för att utveckla tillämpningar inom direktritning. Med fokus på SLM Micronics viktigaste utvecklingsprojekt är att utarbeta nya generationer av mönsterritare baserade på slmtekniken. Denna nya teknik revolutionerar mönsterritningen för halvledarindustrin, dels för att det inom överskådlig tid saknas begränsningar i hur hög upplösningen kan bli, dels genom att tekniken ger möjligheter till kraftigt ökad produktionseffektivitet. Effektiviteten sammanhänger med att slm-chippet innehåller en miljon individuellt styrbara speglar som parallellt kan belysa fotomasken vid traditionell produktion och halvledarkomponenten i framtidens direktritningstillämpningar. Direktritning En naturlig utveckling av slm-tekniken, med ett chip som kan beskrivas som en programmerbar fotomask, är det som Micronic kallar för direktritning eller maskless lithography. Mönstret ritas i denna teknik direkt på kiselskivan och på detta sätt undviks såväl fotomask som stepper. Direktritning innebär att det inte finns någon master som kan mångfaldigas, utan varje komponent måste ritas för sig. Av detta följer att det inledningsvis är prototyptillverkning och små serier som direktritning kan användas för. På sikt är detta en marknad med en mycket stor potential. Som illustration kan nämnas att steppermarknaden är cirka 10 gånger större än marknaden för mönsterritare för halvledarindustrin. Inom Micronics värld är inget givet, ny mark bryts ständigt. Många attraheras av de utmaningar det innebär att arbeta i den tekniska frontlinjen. Forskning och utveckling 29

Micronics medarbetare Micronic har medarbetare i Sverige, usa, Japan och Taiwan. Vid utgången av år 2001 hade koncernen 327 anställda, vilket betyder att antalet anställda under året ökat med 23 personer. Ökningen under året har framför allt skett i de utländska bolagen, inom kundsupport. Under 2001 har 47 personer nyanställts medan 24 personer slutat sin anställning. Medelantalet anställda för år 2001 uppgår till 284. Personalomsättningen uppgick under 2001 till cirka 8 procent. Av de anställda i Sverige arbetar 256 personer på huvudkontoret i Täby och 7 personer på lokalkontoret i Göteborg. Rekrytering All forskning och utveckling sker i Sverige, liksom all produktion. Verksamheterna på de utländska dotterbolagen är framför allt inriktade mot kundsupport och marknadsföring. För att attrahera kompetenta medarbetare sker rekrytering såväl i Sverige som utomlands. Micronics medarbetare uppmuntras också att under en kortare eller längre tid byta arbetsplats från Sverige till utlandet eller vice versa. Vid årets slut fanns det inom den svenska verksamheten medarbetare med 16 olika nationaliteter. Micronic är i hög grad beroende av högutbildade medarbetare och erfordrar kompetens från alla fakulteter inom en teknisk högskola för vidareutvecklingen av bolagets produkter och system. Micronic har därför ett nära samarbete med framför allt kth och Chalmers men även universiteten. Micronic deltar vid arbetsmarknadsdagar och medverkar gärna till examensarbeten när så är möjligt. Hög utbildningsnivå Micronics kännemärke är mycket kompetenta och motiverade medarbetare. En förutsättning för Micronics framgångar är att hela tiden ligga längst fram på teknikens område. Många attraheras av de utmaningar det innebär att arbeta i den tekniska frontlinjen. Inom Micronics värld är ingenting givet, ny mark bryts ständigt, vilket lämnar stor plats för experimentlusta och för att testa nya lösningar. Tempot på Micronic är högt och självständigt arbete uppmuntras och premieras. Av medarbetarna på Micronic i Sverige har 134 personer eller 51 procent en akademisk utbildning, varav 15 har doktorsgrad och 8 en licentiatexamen. Medarbetarnas välbefinnande Att skapa en företagskultur som både attraherar och hjälper till att behålla duktiga medarbetare är av största betydelse. Den tid Micronics medarbetare finns på företaget, ska förutom att vara utmanande ur ett professionellt perspektiv, också uppfattas som stimulerande socialt. Micronic erbjuder medarbetarna sociala aktiviteter av skiftande karaktär och möjligheter till fysiska aktiviteter. Inom personalföreningen, som är mycket aktiv, har medarbetarna möjlighet att själva föreslå och genomföra aktiviteter som företaget subventionerar. Micronic betalar hälsoundersökningar för samtliga anställda och genomför specifika undersökningar när arbetet så kräver. Sjukfrånvaron på Micronic är låg och uppgick under 2001 till 2 procent, varav korttidsfrånvaro 1,2 procent. Belöningssystem Micronic måste, för att vara en intressant arbetsgivare, också ha en konkurrenskraftig lönesättning och erbjuder individuell lönesättning kopplad till insats. Individuella initiativ uppmuntras och belönas, exempelvis premieras medarbetare för erhållna patent. Micronic garanterar medarbetarna minst 80 procent av lönen i ersättning under föräldraledighet, genom att kompensera dem som har en lön överstigande 7,5 basbelopp. Då en stor andel av Micronics medarbetare är män skapar detta större förutsättningar för att under en tid vara hemma med barnen. Sedan 1997 finns ett resultatbaserat bonussystem, vilket fallit ut under flera år. Från 2001 omfattar bonussystemet alla anställda i koncernen, det vill säga även anställda i de utländska dotterbolagen. Sedan ett första optionsprogram, riktat till de anställda, introducerades 1997 har ytterligare fyra optionsprogram genomförts. Det senaste, som introducerades under 2001, vänder sig till alla anställda inklusive anställda i de utländska dotterbolagen. Genom optionsprogrammen har en majoritet av Micronics medarbetare en ägarandel i bolaget. Vid börsintroduktionen av Micronic i mars 2000 valde 52 procent av de anställda att bli aktieägare. Optionsprogrammen presenteras i detalj under avsnittet Micronic-aktien. Åldersfördelning 80 Micronics medarbetare 30 Medarbetarna i Micronic är sysselsatta inom följande områden: Strategisk utveckling 7 Bassystemutveckling 53 System- och applikationsutveckling 68 Produktion och installation 76 Kundsupport 63 Marknadsföring 6 Försäljning 14 Företagsledning och administration 40 Totalt 327 Anställda per 31 december 2001: Micronic Laser Micronic Laser Micronic Micronic Systems AB Systems Inc. Japan K.K. Taiwan Kvinnor 59 3 4 0 Män 204 17 35 5 Totalt 263 20 39 5 Utbildningsnivå Akademisk utbildning 42% Licenciatexamen 3% PhD 6% Övrig utbildning 49% *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk. 70 60 50 40 30 20 10 0 <25 25-29 30-34 35-39 40-44 45-49 >49 Genomsnittsåldern på Micronic är 38 år. Micronics medarbetare 31

Finansiella nyckeltal Finansiella nyckeltal MSEK 1995 1996 1997 1998 1999 2000 2001 Nettoomsättning 80,9 145,1 258,9 268,4 213,4 704,3 699,3 Marginaler Bruttomarginal, % 26,8 33,9 23,0 18,8-30,2 14,1 5,3 Rörelsemarginal, % 18,8 30,6 21,5 16,3-34,4 11,8 2,4 Vinstmarginal, % 16,2 31,0 21,5 15,9-34,1 12,8 1,4 Avkastning på kapital Avkastning på operativt kapital, % 84 209 138 57-67 30 5 Avkastning på sysselsatt kapital, % 58 87 62 25-31 19 4 Avkastning på eget kapital, % 97 106 59 22-32 17 1 Kapitalstruktur Operativt kapital 22,5 20,5 61,3 92,8 128,5 423,0 263,5 Sysselsatt kapital 31,9 74,9 113,6 242,4 211,6 741,6 816,0 Eget kapital 14,6 47,4 88,8 193,4 141,4 679,5 697,2 Räntebärande nettoskuld 7,9-26,9-27,5-100,7-26,7-257,3-434,9 Kapitalomsättning, gånger 4,5 6,8 6,4 3,5 1,9 2,6 2,0 Soliditet, % 29,7 39,6 49,3 65,6 45,7 71,9 52,3 Kassaflöde och likviditet 1) Kassaflöde från den löpande verksamheten 3,1 53,9 17,7 17,1-59,0-171,3 7,0 Kassaflöde från investeringsverksamheten 2,7 31,4 23,0 16,2-12,3-64,7-152,2 Kassaflöde efter investeringar, före finansiering 0,4 22,5-5,3 0,9-71,3-235,9-145,2 Likvida medel vid årets slut 9,4 54,4 50,0 149,6 83,0 318,7 552,4 FoU 2) FoU-kostnader 25,3 42,1 68,6 190,6 214,7 FoU-kostnader/omsättning, % 9,6 15,6 31,9 27,1 30,7 Personal Genomsnittligt antal anställda 30 51 103 140 166 240 284 Omsättning per genomsnittligt anställd 2,7 2,9 2,6 1,9 1,3 2,9 2,5 Förädlingsvärde per genomsnittligt anställd 1,4 1,6 1,2 1,0 0,3 1,2 1,0 Data per aktie Före utspädning Antal aktier vid årets slut, miljoner 12,0 12,0 12,0 14,0 14,0 19,1 19,2 Genomsnittligt antal aktier, miljoner 12,0 12,0 12,0 13,8 14,0 18,1 19,1 Årets resultat, kronor 0,79 2,74 3,34 2,27-3,81 3,93 0,37 Eget kapital, kronor 1,22 3,95 7,40 13,81 10,10 37,54 36,50 Utdelning, kronor MARGINALER Bruttomarginal Resultat före avskrivningar i procent av nettoomsättning samt övriga rörelseintäkter. Rörelsemarginal Rörelseresultat i procent av nettoomsättning samt övriga rörelseintäkter. Vinstmarginal Resultat efter finansiella poster i procent av nettoomsättning samt övriga rörelseintäkter. AVKASTNING Avkastning på operativt kapital Rörelseresultat i procent av genomsnittligt operativt kapital. Avkastning på sysselsatt kapital Resultat efter finansiella poster plus finansiella kostnader i procent av genomsnittligt sysselsatt kapital. Avkastning på eget kapital Resultat efter full skatt (aktuell skatt plus 28 procent av förändring obeskattade reserver) i procent av genomsnittligt eget kapital. KAPITALSTRUKTUR Operativt kapital Totala tillgångar minskade med icke räntebärande skulder inklusive latent skatt i obeskattade reserver och likvida medel. Sysselsatt kapital Totala tillgångar reducerade med icke räntebärande skulder inklusive latent skatt i obeskattade reserver. Eget kapital Eget kapital plus 72 procent av obeskattade reserver. Räntebärande nettoskuld Räntebärande skulder minskat med likvida medel i enlighet med definition. Kapitalomsättning Nettoomsättning dividerat med genomsnittligt operativt kapital. Soliditet Eget kapital i enlighet med definition i procent av totala tillgångar. KASSAFLÖDE OCH LIKVIDITET Kassaflöde från den löpande verksamheten Resultat efter finansiella poster justerat för poster som ej ingår i kassaflödet, betald inkomstskatt och förändringar av rörelsekapital. Kassaflöde från investeringsverksamheten Nettoinvesteringar i byggnader, maskiner, inventarier och finansiella anläggningstillgångar. Kassaflöde efter investeringar före finansiering Kassaflöde från den löpande verksamheten inklusive förändring av rörelsekapital minskat med investeringar. FoU FoU-kostnader Kostnader hänförliga till FoU aktiviteter inklusive kostnader för personal sysselsatta med forskning och utveckling. FoU-kostnader/omsättning Kostnader hänförliga till forskning och utveckling som en procentsats av nettoomsättningen inklusive övriga rörelseintäkter. PERSONAL Antal anställda Genomsnittligt antal heltidsanställda. Omsättning per anställd Nettoomsättning dividerat med genomsnittligt antal anställda Förädlingsvärde per anställd Resultat före avskrivningar och personalkostnader dividerat med genomsnittligt antal anställda. DATA PER AKTIE Årets resultat per aktie Resultat efter full skatt dividerat med genomsnittligt antal aktier. Eget kapital per aktie Eget kapital i enlighet med definition dividerat med genomsnittligt antal aktier. Finansiella nyckeltal 32 1) Kassaflödesanalyserna för 1995, 1996 och 1997 avser moderbolaget Micronic Laser Systems AB. 2) Eftersom redovisningssystemet under 1995 och 1996 inte stödde särredovisning av FoU-kostnader, finns ingen information om de exakta beloppen utan dessa kostnader ingår i Övriga rörelsekostnader. Likvida medel Kassa, bankmedel och kortfristiga placeringar. Finansiella nyckeltal 33

Förvaltningsberättelse Förvaltningsberättelse Styrelsen och verkställande direktören för Micronic Laser Systems ab (publ.) org nr 556351-2374 får härmed avge årsredovisning för räkenskapsåret 2001-01-01 2001-12-31. Verksamheten Micronic Laser Systems är ett högteknologiskt företag som utvecklar, tillverkar och marknadsför en serie extremt noggranna laserritare för framställning av fotomasker. Teknologin kallas mikrolitografi. Micronics system används av världens ledande elektronikföretag vid tillverkning av bildskärmar för tv-apparater och datorer samt halvledarkomponenter. Viktiga händelser under 2001 Micronic har stärkt sina positioner som leverantör av avancerade laserritare för halvledarmarknaden med leveranser av system för produktion av fotomasker för tekniknoden 130 nanometer. Micronic har lanserat en ny generation laserritare för tft-lcd bildskärmsmarknaden. Denna lrs- 11000-tft2 ger en mycket hög upplösning samtidigt som rithastigheten bibehålls på en nivå som möjliggör en kostnadseffektiv produktion av fotomasker. Micronic har stärkt sina positioner som leverantör av Multi Purposesystem, för elektronisk kapsling, passiva bildskärmar och specialtillämpningar. Micronic Laser Systems ab och asml Holding nv träffade en överenskommelse om att ingå en strategisk allians i avsikt att befästa företagets position som ledande leverantör av litografiutrustning till bildskärmsoch halvledarindustrin genom ett gemensamt direktritningssamarbete. Som del av avtalet ingår ett räntefritt konvertibelt förlagslån om 320 msek från asml till Micronic. Lånet löper på tre år och kan, under lånets löptid fram till 31 juli 2004, på begäran av asml omvandlas till en miljon aktier i Micronic Laser Systems ab. Om fullt utbyte sker erhåller asml en ägar- och röstandel om 4,9 procent. Micronic erhöll likviden den 31 juli 2001. Micronic har under året utökat sitt partnerskap med Fraunhofer ims genom att ytterligare stärka samarbetet. Avtalet är en treårig förlängning av det tidigare utvecklingssamarbetet och utökar Micronics nuvarande exklusiva licensrättigheter för slm-teknik (Spatial Light Modulator) avseende direktritning och fotomaskritning till att omfatta även inspektion och mätning. Samarbetet omfattar flera generationer av slmkomponenter som skall ligga till grund för kommande teknologinoder. Fyra av Micronics forskare har erhållit det prestigefyllda semi-priset (Semiconductor Equipment and Materials International), för sina banbrytande insatser inom lasertekniken. Micronic är det första europeiska företag som uppmärksammats med det nordamerikanska semipriset för sina framsteg inom halvledartekniken. Priset delades med forskare från Etec. Försäljningen uppgick till 699 (704) msek, med leverans av 15 system. De levererade systemen omfattar 4 halvledarsystem, 4 bildskärmssystem, 5 Multi Purpose-system samt 2 uppgraderingar. Orderingången uppgår till 633 (759) msek och orderstocken per 31 december var 279 (307) msek. Nya produktionslokaler, totalt 7 400 kvadratmeter, inkluderande ett välutrustat processlab, togs i bruk under juni månad. Under senare delen av hösten har även de nya kontorsutrymmen som färdigställts kunnat nyttjas. Investeringen i dessa nya utrymmen har följt uppsatta planer. Under fjärde kvartalet har Micronic beslutat om och genomfört en bankfinansiering av fastighetsinnehavet. I anslutning till bolagsstämman som hölls den 13 mars 2001 utsåg Micronics styrelse Sven Löfquist till vd för Micronic Laser Systems ab, med verkan från 13 mars 2001. Styrelsen beslutade vidare att utse Bert Jeppsson, dåvarande vd, till arbetande styrelseordförande. Micronic Laser Systems, Inc. och Micronic Laser Systems ab har tillsammans med Etec Systems, Inc. nått en uppgörelse i rättstvisten mellan företagen i distriktsdomstolen i norra Kalifornien. Uppgörelsen uppnåddes utan några inskränkningar i Micronics patenträtter. Villkoren för överenskommelsen är konfidentiella. 31 december 2001 Rörelsen omfattar moderbolaget Micronic Laser Systems ab samt de helägda dotterbolagen Micronic Japan k.k., Micronic Treasury ab samt Micronic Laser Systems, Inc., usa. Micronic Japan k.k. är ett kundsupportbolag med lokala servicekontor nära företagets kunder i Japan. Micronic Treasury ab har fungerat som förmedlare vid spridning av de optionsprogram som riktats till företagets anställda samt partners. Micronic Laser Systems, Inc. erbjuder kundsupport till kunder i usa, samt förstärker den globala marknadsföringen genom en ökad närvaro på den amerikanska marknaden. Micronics verksamhet i Taiwan planeras att bolagiseras under första halvåret 2002. Orderingång Orderingången minskade med 17 (+160) procent till 633 (759) msek, inkluderande 70 (53) msek från den globala serviceverksamheten. Under 2001 erhölls order om totalt 10 (18) system. Orderstocken vid årets utgång var 279 (307) msek, vilken beräknas levereras under år 2002. Fakturering Nettoomsättningen uppgick under året till 699 (704) msek, inkluderande 70 (53) msek från den globala serviceverksamheten. Under 2001 levererades 15 (17) system, varav 2 (2) uppgraderingar. Värdering av orderingång, fakturering och orderstock kommenteras under valutaexponering. Den globala serviceverksamheten har fortsatt att expandera i Japan, usa och Taiwan. Antalet anställda ökade i dessa länder från 39 till 64 personer. Av försäljningen 2001 stod service för 10 (8) procent eller 70 (53) msek. Micronic hade vid 2001 års utgång 42 (34) servicekontrakt med kunder runt om i världen. Rörelsens kostnader Rörelsens kostnader, inklusive lagerförändring, uppgick under året till 684 (621) msek, en ökning om 10 procent. 215 (191) msek relateras till FoUverksamheten, som under året fokuserats på ny teknik inom halvledarområdet. Resultat Resultat efter finansiella poster för 2001 blev 9 (90) msek, en minskning med 81 msek. Anledningen till den försämrade resultatutvecklingen är bland annat relaterad till minskade marginaler i rådande marknadssituation och den ökade satsningen inom FoU-området. Lager Lagret uppgick vid årets slut till 279 (164) msek, inklusive varor under tillverkning 158 (67) msek samt förnödenheter 121 (97) msek. Varor under tillverkning omfattar de system som löpande produceras för leverans till kund, testsystem, utvecklingssystem, utbildningssystem samt system för kunddemonstrationer. Varor under tillverkning belastas löpande med nedlagda kostnader för material och arbete för att färdigställa planerade system. För nyutvecklade system kan initialt en lägre bruttomarginal förutses jämfört med system som produceras i ett mer jämnt produktionsflöde. Kundfordringar Kundfordringar uppgick vid årets slut till 213 (308) msek av vilka 129 msek, eller 61 procent, kommer att förfalla till betalning inom två månader. Förvaltningsberättelse 34 *En kort förklaring finns i ordlistan på sidan 58 för ord märkta med en asterisk. 35

Förvaltningsberättelse 36 Investeringar Investeringen i produktions- och kontorsytor om totalt 7400 kvadratmeter, som slutförts under 2001 uppgick till 72 msek, varav 45 msek investerats under 2001. Vidare har investeringar i maskiner och produktionsutrustning gjorts om 32 msek. Under 2001 har en ombyggnad av den befintliga fastigheten om 3 (7) msek gjorts. Investeringar i inventarier, datorer och övrig utrustning uppgår till 34 (25) msek samt leasade utrustningar om 0 (5) msek. Investeringar om 17 msek har gjorts i immateriella tillgångar relaterade till slm-tekniken. Vidare har 5 msek investerats i ett nytt företagsgemensamt informationssystem, vilket har hanterats som en immateriell tillgång. Detta ger totala investeringar om 136 (64) msek. Likviditet och finansiell ställning har en fortsatt stark finansiell ställning. Likvida medel uppgick vid årets slut till 552 (319) msek, exkluderande outnyttjad checkräkningskredit. Under året har likviditeten förstärkts med ett räntefritt konvertibelt förlagslån om 320 msek samt genom bankfinansiering av nybyggnationen med ett likviditetstillskott om 57 msek. Soliditeten var 52 (72) procent vid årets utgång. Kassaflödesanalys Under året har likvida medel ökat med 234 (236) msek till 552 (319) msek. Den löpande verksamheten har genererat 7 (-171) msek. Nettoinvesteringar i anläggningstillgångar uppgår till 152 (65) msek, varav 136 (64) msek, avser materiella och immateriella anläggningstillgångar. Externt tillförda medel uppgår till 379 (472) msek och består av dels det konvertibla förlagslånet om 320 msek, dels den bankfinansiering som gjorts avseende den nybyggda fastigheten om 57 msek. Valutaexponering Försäljningen sker nästan uteslutande i usd och av moderbolagets verksamhetskostnader uppkommer 25 (25) procent i usd. Företaget strävar efter att begränsa effekterna av valutaförändringar genom att löpande, enligt företagets policy, kurssäkra flöden i utländsk valuta. Valutaeffekter som avser värderingar av orderingång, fakturering och orderstock hanteras enligt följande principer. Orderingång och fakturering anges enligt respektive avistakurser. Utgående balans för orderstocken beräknas till periodens balansdagskurs och med hänsyn tagen till gjorda terminssäkringar. Valutadifferenser av rörelsekaraktär, ett positivt netto om 0,5 msek, har inkluderats i rörelsens kostnader och intäkter medan valutadifferenser av finansiell karaktär om -14 msek har belastat finansiella kostnader och intäkter. Forskning och utveckling FoU-kostnaderna uppgår för 2001 till 215 (191) msek, vilket är en ökning med 24 msek. Ställda i relation till företagets omsättning utgör FoU-kostnaderna 31 (27) procent. Verksamheten har under året fokuserats på utvecklingen av slmtekniken inom halvledarsegmentet. Ökningen jämfört med föregående år härrör till stor del från utökade samarbetsavtal samt konsultinsatser. Organisation Organisationen är baserad på en linje/projektorganisation, med ansvarsområden för marknadsföring, försäljning, strategisk utveckling, basutveckling, systemapplikation, produktion & installation, kundsupport samt finans & administration. Organisationen har under året förstärkts med 23 (98) personer till 327 (304), en ökning med 8 (48) procent. Personalökningen har främst skett inom dotterbolagen för att ytterligare förstärka och etablera en mera kundnära kundsupportorganisation. Optioner Under 2001 genomfördes ett optionsprogram om totalt 600 000 teckningsoptioner, riktade till koncernens anställda. Samtliga utestående optionsprogram beskrivs under avsnittet Micronic-aktien. Styrelsearbetet Styrelsen har hållit 14 (13) möten under 2001, varav ett antal extra styrelsemöten främst fokuserade på företagets strategiska utveckling och rådande marknadssituation. Ordinarie bolagsstämma avseende verksamhetsåret 2000 hölls den 13 mars 2001. Vidare hölls en extra bolagsstämma den 13 juli, relaterat till det konvertibla förlagslån som tecknats av asml. Resterande styrelsemöten har behandlat bolagets utvecklingsplaner, planering samt ordinarie styrelsearbete. Några kommittéer till styrelsen har inte tillsats under året. Framtidsutsikter Marknaden för halvledarutrustning minskade under 2001 med närmare 40 procent. För mönsterritare, vilka inte är direkt kopplade till volymproduktion av halvledarkomponenter, minskade marknaden enligt preliminära bedömningar från Dataquest med cirka 15 procent. Samma bedömare prognostiserar en fortsatt minskning för utrustningsindustrin som helhet men med en återhämtning under året för mönsterritare. Efterfrågan kommer främst att utgöras av teknologiinvesteringar för 130 nanometer och utvärdering av 100 nanometer. Micronic har med produkterna Omega6600 och Sigma7100 goda möjligheter att fortsätta öka marknadsandelarna i denna expanderande marknad. Bildskärmsindustrin fortsätter att utvecklas starkt med ökande produktionskapacitet för tillverkning av tft-lcd skärmar. Marknaden för fotomaskritare är svagt kopplad till volymökningen, vilket innebär att vår prognos för året inom bildskärmssegmentet pekar mot en stabil försäljning. Slutligen ser vi ett fortsatt starkt intresse för vår produktlinje Multi Täby den 12 februari 2002 Purpose, som främst drivs av en ökad efterfrågan på lösningar för avancerad kapsling. Utvecklingen inom denna produktlinje är delvis avhängig utvecklingen inom halvledarområdet, vilket gör prognoserna osäkra. Micronics aggressiva satsningar på utveckling av avancerade mönsterritare gör bolaget väl positionerat i en teknologidriven industri och vi ser goda möjligheter att bli den ledande leverantören inom alla våra produktsegment. Förslag till vinstdisposition s fria egna kapital enligt koncernbalansräkningen uppgår till 104 808 (99 657) tkr. s fria kapital föreslås disponeras enligt nedan. 2001 Från föregående år balanserad vinst 99 477 828 Årets vinst 0 Vinstmedel till förfogande 99 477 828 Förslag till vinstdisposition Balanseras i ny räkning 99 477 828 Summa 99 477 828 Bert Jeppsson Millert Carlsson Sven Löfquist Ordförande Verkställande direktör Hans Fletcher Magnus Ryde Christer Zetterberg Lars Öjefors Vår revisionsberättelse har avgivits den 12 februari 2002 Anders Östberg Auktoriserad revisor Lindebergs Grant Thornton AB Per Fridolin Auktoriserad revisor Lindebergs Grant Thornton AB Förvaltningsberättelse 37

Resultaträkningar Kassaflödesanalyser Noter TSEK 2001 2000 2001 2000 Nettoomsättning 1 699 348 704 342 651 898 665 247 Förändring av lager av produkter i arbete 91 452 14 791 91 452 14 791 Aktiverat arbete för egen räkning 1 038 1 038 Övriga rörelseintäkter 1 614 2 639 793 452 719 133 747 027 680 038 Rörelsens kostnader Råvaror och förnödenheter -287 237-172 987-261 468-164 840 Övriga externa kostnader 2-230 830-256 795-267 756-250 343 Personalkostnader 3-238 166-178 184-191 759-155 611 Avskrivningar av materiella anläggningstillgångar -19 832-15 903-16 884-14 012 Övriga rörelsekostnader -322-11 897-176 -11 880-776 387-635 766-738 043-596 686 Rörelseresultat 17 065 83 367 8 984 83 352 Resultat från finansiella investeringar Resultat från andelar i koncernföretag 4 800 Resultat från långfristiga fordringar hos koncernföretag 2 050 2 050 Ränteintäkter och liknande poster 5 11 204 11 207 11 323 11 310 11 204 13 257 11 323 14 160 Räntekostnader och liknande poster -18 801-6 580-18 161-6 193-18 801-6 580-18 161-6 193 Resultat efter finansiella poster 9 468 90 044 2 146 91 319 Bokslutsdispositioner Förändring av periodiseringsfonder 3 287 Skillnad mellan bokförd avskrivning och avskrivning enligt plan -5 451 578-2 164 578 Resultat före skatt 9 468 90 044-18 91 897 Skatt på årets resultat 6-2 411-18 990 18-16 619 Årets resultat 7 057 71 054 0 75 278 Noter TSEK 31 dec 2001 31 dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Den löpande verksamheten Resultat efter finansiella poster 9 468 90 043 2 146 91 319 Justering för poster som inte ingår i kassaflödet mm: Utrangeringar 181 35 176 35 Vissa avsättningar och upplupna kostnader 3 092 18 667 3 092 18 667 Förändring omräkningsdifferens eget kapital 1) 590-1 258 Avskrivningar 19 832 15 903 16 884 14 012 33 163 123 390 22 298 124 033 Betald inkomstskatt 2) -2 991-2 183 Kassaflöde från den löpande verksamheten före förändringar av rörelsekapital 30 172 121 207 22 298 124 033 Förändringar av rörelsekapital Ökning( )/Minskning(+) av varulager -115 669-73 031-109 990-74 318 Ökning( )/Minskning(+) av kortfristiga fordringar 93 269-294 871 86 093-295 168 Ökning(+)/Minskning( ) av leverantörsskulder -1 263 34 741-2 062 34 462 Ökning(+)/Minskning( ) av övriga kortfristiga skulder 476 40 686 4 306 33 298 Kassaflöde från den löpande verksamheten 6 985-171 268 645-177 693 Investeringsverksamheten Förvärv av immateriella anläggningstillgångar 7,8-21 656-21 656 Förvärv av materiella anläggningstillgångar 9,10,11,12-114 046-63 840-111 256-56 811 Förvärv av finansiella anläggningstillgångar 13-6 751 Försäljning av inventarier 100-35 100-35 Ökning ( )/Minskning (+) av långfristiga fordringar netto -16 618-784 -15 478 2 897 Kassaflöde från investeringsverksamheten -152 220-64 659-148 290-60 700 Finansieringsverksamheten Nyemission börsintroduktion 472 500 472 500 Emissionskostnad -35 531-35 531 Nyemission teckningsoptioner 5 610 31 200 5 610 31 200 Teckningspremie utfärdade teckningsoptioner 4 368 6 916 Ackumulerad effekt tidigare års uppskjutna skatter 196 Ökning(+)/Minskning( ) av övriga avsättningar 737-50 Ökning(+)/Minskning( ) av långfristiga skulder 368 305 3 216 369 530 972 Kassaflöde från finansieringsverksamheten 379 020 471 531 382 056 469 141 Ökning/Minskning av likvida medel 233 786 235 604 234 412 230 748 Resultaträkningar 38 Likvida medel vid årets början 318 656 83 052 310 061 79 313 Likvida medel vid årets slut 552 441 318 656 544 473 310 061 1) Förändring av omräkningsdifferens eget kapital har i likhet med tidigare år justerat kassaflödet från den löpande verksamheten. 2) Betald inkomstskatt hänför sig i likhet med tidigare år till årets aktuella skatt på skattemässiga överskott. Kassaflödesanalyser 39

Balansräkningar Noter TSEK 31 dec 2001 31 dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 TILLGÅNGAR Anläggningstillgångar Immateriella anläggningstillgångar Balanserade utgifter för affärssystem 7 4 572 4 572 Licensrättighet 8 17 084 17 084 21 656 21 656 Materiella anläggningstillgångar Byggnader och mark 9 121 265 50 572 121 265 50 572 Maskiner 10 109 161 109 161 Inventarier 11 79 791 32 781 71 417 24 243 Pågående nyanläggningar 12 3 041 26 759 3 041 26 759 204 206 110 273 195 832 101 735 Finansiella anläggningstillgångar Andelar i koncernföretag 13 7 514 7 514 Fordringar hos koncernföretag 14 3 215 3 215 Andra långfristiga fordringar 15 18 668 2 050 15 558 80 18 668 2 050 26 287 10 809 Summa anläggningstillgångar 244 530 112 323 243 775 112 544 Omsättningstillgångar Varulager 16 Råvaror och förnödenheter 121 120 96 903 110 835 92 298 Varor under tillverkning 158 419 66 967 158 420 66 967 279 539 163 870 269 255 159 265 Kortfristiga fordringar Kundfordringar 213 360 308 646 200 945 300 335 Fordringar hos koncernföretag 14 214 2 030 Övriga fordringar 17 24 469 29 320 23 395 29 003 Förutbetalda kostnader och upplupna intäkter 18 19 129 12 242 18 096 11 358 256 958 350 208 256 650 342 726 Kassa och bank 19 552 441 318 656 544 473 310 061 Summa omsättningstillgångar 1 088 938 832 735 1 070 378 812 052 SUMMA TILLGÅNGAR 1 333 468 945 057 1 314 153 924 596 Noter TSEK 31 dec 2001 31 dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 EGET KAPITAL OCH SKULDER Eget kapital 20 Bundet eget kapital Aktiekapital 19 203 19 101 19 203 19 101 Överkursfond 543 348 533 472 549 493 537 069 Bundna reserver/reservfond 29 794 27 297 2 400 2 400 592 345 579 870 571 096 558 570 Fritt eget kapital Fria reserver/balanserad vinst 97 751 28 603 99 477 24 199 Årets resultat 7 057 71 054 0 75 278 104 808 99 657 99 477 99 477 Summa eget kapital 697 153 679 527 670 573 658 047 Obeskattade reserver 21 35 791 33 627 Avsättningar 22 10 292 10 116 Långfristiga skulder 23 Konvertibelt förlagslån 320 000 320 000 Skulder till kreditinstitut 102 586 49 778 99 718 45 187 Övriga skulder 496 5 000 5 000 Summa långfristiga skulder 423 082 54 778 419 718 50 187 Kortfristiga skulder Skulder till kreditinstitut 14 962 11 592 2 137 1 244 Förskott från kunder 21 335 16 790 21 335 16 790 Leverantörsskulder 56 301 57 564 53 196 55 258 Skulder koncernföretag 6 724 1 780 Skatteskulder 44 1 970 Övriga skulder 10 606 6 030 8 602 3 856 Upplupna kostnader och förutbetalda intäkter 24 99 693 106 690 96 077 103 807 Summa kortfristiga skulder 202 941 200 636 188 071 182 735 SUMMA EGET KAPITAL OCH SKULDER 1 333 468 945 057 1 314 153 924 596 Poster inom linjen Ställda säkerheter 25 167 511 81 415 163 000 75 000 Ansvarsförbindelser 26 6 454 4 371 Inga Inga Balansräkningar Balansräkningar 40 41

Redovisningsprinciper Redovisningsprinciper Årsredovisningen är upprättad i enlighet med Redovisningsrådets rekommendationer. Någon förändring av redovisningsprinciper har ej skett jämfört med föregående år. Koncernredovisningsprinciper Koncernredovisningen har upprättats med tillämpning av förvärvsmetoden. I koncernredovisningen ingår samtliga dotterbolag. Omräkning av bokslut för utländska dotterbolag Utländska dotterbolag betraktas som självständiga utlandsverksamheter och omräknas enligt dagskursmetoden. Tillgångar och skulder omräknas till balansdagskurs, medan intäkter och kostnader omräknas till approximativ transaktionsdagskurs. Omräkningsdifferenser som därvid uppstår redovisas direkt mot koncernens egna kapital. s långfristiga fordringar på utländska dotterbolag värderas till kursen vid fordringarnas uppkomst. Omräkningsdifferensen för dessa fordringar redovisas direkt mot koncernens bundna egna kapital. Ackumulerade kursdifferenser som redovisats direkt mot eget kapital uppgick vid räkenskapsårets början till 630 tsek och vid dess slut till 1220 tsek. Ökningen är huvudsakligen hänförlig till valutakursutvecklingen på moderbolagets långfristiga fordringar på dotterbolag. Immateriella och materiella anläggningstillgångar Balanserade utgifter för affärssystem, licensrättighet, byggnader, maskiner och inventarier redovisas till anskaffningsvärden efter avdrag för ackumulerade avskrivningar. Anläggningstillgångarna skrivs av linjärt enligt plan baserat på tillgångarnas uppskattade nyttjandeperioder från och med färdigställande- eller anskaffningsmånad. Följande avskrivningsplaner används: Byggnader Renrumsutrymmen Markanläggningar Licensrättighet Maskiner och inventarier Balanserade utgifter för affärssystem Datorinventarier 33 år 20 år 20 år 5 år 5 år 3 år 3 år Avskrivning av licensrättigheten kommer att påbörjas när applikationen börjar generera intäkter, vilket förväntas ske tidigast under 2003. Licensrättigheten kommer att skrivas av på ett sätt som anses återspegla hur tillgångarnas värde för företaget successivt förbrukas, dock som längst över en period om 5 år. Leasing Leasade tillgångar är att hänföra till dels finansiell leasing, dels operationell leasing. Förstnämnda tillgångar redovisas i koncernredovisningen som anläggningstillgångar och skrivs av i enlighet med principer för materiella anläggningstillgångar i övrigt. Framtida leasingavgifter avseende dessa tillgångar redovisas som skuld. Löpande leasingavgifter reducerar, efter avdrag för ränta, den redovisade skulden. Hantering av utländsk valuta s valutaexponering hanteras genom flödessäkringar i form av terminskontrakt i relevant valuta. Fastställd terminssäkringspolicy innebär bland annat att nettoflödet i utländsk valuta samt erhållna order skall delvis terminssäkras löpande. De balansposter som omfattas av valutasäkringar är Kundfordringar, Kassa och bank och Leverantörsskulder. Per balansdagen har nettoflödet av dessa poster säkrats enligt ovanstående policy genom terminskontrakt med kvarvarande löptider på upptill fem månader. Fordringar och skulder i utländsk valuta är värderade till balansdagskurs och/eller terminskurs med undantag för moderbolagets långfristiga fordringar på utländska dotterbolag, som värderas till kursen vid fordringarnas uppkomst. Skillnaden mellan terminskurs och dagskurs i samband med förlängning av terminskontrakt periodiseras över terminskontraktens löptid. Nettot av periodiserade så kallade terminspremier redovisas antingen bland Ränteintäkter och liknande poster eller Räntekostnader och liknande poster. Kursdifferenser på fordringar och skulder av rörelsekaraktär ingår i rörelseresultatet där nettot redovisas bland antingen Övriga rörelseintäkter eller Övriga rörelsekostnader. Kursdifferenser på under året reglerade långfristiga fordringar av finansiell karaktär, ingår i resultatet efter finansiella poster där nettot redovisas bland Resultat från långfristiga fordringar hos koncernföretag. Valutakursdifferenser har påverkat räkenskapsårets resultat efter finansiella poster med -13355 (-13 608) tsek. Årets differenser är så gott som uteslutande hänförliga till förlängning av terminskontrakt, medan föregående års differenser huvudsakligen var av rörelsekaraktär. Latenta kursförluster uppgår per balansdagen till 530 (3 946) tsek, vilka kommer att realiseras under första kvartalet 2002. Varulager Varulager värderas till det lägsta av anskaffningsvärde och verkligt värde. Tillverkade hel- och halvfabrikat har värderats till varornas tillverkningskostnad inklusive skälig andel av indirekta kostnader med hänsyn till företagets förändrade produktlinjer. Fordringar Fordringar har efter individuell värdering upptagits till det belopp varmed de beräknas inflyta. Redovisning av skatt Aktuell skatt avser den skatt som beräknas på det skattemässiga överskottet för året. Uppskjuten skatt avser den skatt som beräknas dels på så kallade temporära skillnader, dels på skattemässiga underskott. Aktuell skatt medför en omedelbar betalningskonsekvens till skillnad från uppskjuten skatt. : Uppskjuten skatteskuld/skattefordran beräknas på dels obeskattade reserver, dels internvinst i varulager, dels valutakursvinst på långfristiga fordringar på utländska dotterbolag och redovisas under Avsättningar i balansräkningen. Uppskjuten skattekostnad/- skatteintäkt beräknas på förändring av dels obeskattade reserver, dels internvinst i varulager och redovisas som Skatt på årets resultat i resultaträkningen. : Uppskjuten skatteskuld redovisas som en del av obeskattade reserver, det vill säga endast i not till balansposten. Uppskjuten skattekostnad beräknas på förändring av obeskattade reserver och redovisas endast i not till resultaträkningen som en del av noten till Skatt på årets resultat. Uppskjuten skattefordran respektive Uppskjuten skatteintäkt beräknas på den del av årets skattemässiga underskott som förväntas kunna nyttjas mot kommande års skattemässiga överskott. Fordran betraktas antingen som långfristig och/eller kortfristig beroende på när i framtiden underskottet förväntas kunna nyttjas, det vill säga redovisas under antingen Andra långfristiga fordringar eller Övriga fordringar i balansräkningen. Skatteintäkten redovisas som Skatt på årets resultat i resultaträkningen. Forskning och utveckling Kostnader för produktutveckling kostnadsförs löpande. Pensionsåtaganden Pensionsåtaganden fullgörs normalt genom betalning av försäkringspremier. I utländska dotterbolag sker dock dessutom avsättning för framtida pensionsåtaganden för bolagens anställda. Resultatavräkning Resultatavräkning av levererade system sker i samband med leverans. Hänsyn tas till vid leveranstidpunkten beräknade återstående kostnader. Ersättning för serviceavtal faktureras i förskott och periodiseras över avtalens löptid. Redovisningsprinciper 42 43

Noter Samtliga belopp i nedanstående noter är angivna i tusentals kronor om inte annat särskilt anges. Not 1 Nettoomsättning 2001 2000 2001 2000 Europa 1 675 1 706 1 675 1 513 USA 114 388 159 543 108 936 151 883 Asien 583 285 543 093 541 287 511 851 Totalt 699 348 704 342 651 898 665 247 Koncerninterna köp och försäljningar: Av årets inköp har 8 (2) procent skett från Micronic Japan k.k. och Micronic Laser Systems, Inc. Av årets försäljning har 2 (1) procent skett till Micronic Japan k.k. och Micronic Laser Systems, Inc. Not 2 Övriga externa kostnader 2001 2000 2001 2000 Arvoden och kostnadsersättning, revision m m Revisionsuppdrag 899 517 597 434 Andra uppdrag 996 1 347 717 1 237 Med revisionsuppdrag avses granskning av årsredovisningen, bokföringen samt styrelsens och verkställande direktörens förvaltning och övriga arbetsuppgifter som det ankommer på bolagets revisor att utföra samt rådgivning eller annat biträdande som föranleds av iakttagelser vid sådan granskning eller genomförandet av sådana övriga arbetsuppgifter. Allt annat är andra uppdrag. I andra uppdrag ingick föregående år granskning m m i samband med börsintroduktion. Forts. Not 3 Personalkostnader 2001 2000 2001 2000 Övriga anställda 159 668 112 597 120 313 98 172 varav Japan (17 011) (13 795) ( ) ( ) varav Taiwan (5 365) ( ) (5 365) ( ) varav USA (22 343) (628) ( ) ( ) 167 231 125 644 124 418 108 444 1)varav tantiem och bonus 6 360 5 770 Sociala kostnader Pensionskostnader för styrelse och verkställande direktör 1 354 445 1 106 416 varav Japan ( ) ( ) ( ) ( ) varav Taiwan ( ) ( ) ( ) ( ) varav USA (248) (29) ( ) ( ) Pensionskostnader övriga anställda 14 200 6 217 12 111 5 731 varav Japan (597) (398) ( ) ( ) varav Taiwan (155) ( ) (155) ( ) varav USA (1 647) (88) ( ) ( ) Övriga sociala kostnader 45 181 32 703 43 490 31 635 varav Japan (1 692) (1 068) ( ) ( ) varav Taiwan ( ) ( ) ( ) ( ) varav USA ( ) ( ) ( ) ( ) 60 735 39 364 56 707 37 782 Noter 44 Not 3 Personalkostnader 2001 2000 2001 2000 Medelantalet anställda Kvinnor 47 45 41 41 varav Japan (4) (2) ( ) ( ) varav Taiwan ( ) ( ) ( ) ( ) varav USA (2) (2) ( ) ( ) Män 237 195 189 167 varav Japan (26) (19) ( ) ( ) varav Taiwan (5) ( ) (5) ( ) varav USA (17) (9) ( ) ( ) Totalt för bolaget 284 240 230 208 Löner och ersättningar Styrelse och verkställande direktör 1) 7 563 13 047 4 105 10 272 varav Japan (447) ( ) ( ) ( ) varav Taiwan ( ) ( ) ( ) ( ) varav USA (3 012) (2 775) ( ) ( ) Styrelsen: För 2001 uppgår beslutade arvoden till 875 tsek. Arvoden för dotterbolagens styrelser utgår ej. Verkställande direktör: Bert Jeppsson lämnade sin befattning som vd avtalsenligt i samband med ordinarie bolagsstämma i mars 2001. Bert Jeppsson gottskrevs i samband med företagets börsintroduktion under 2000 en bonus om 4 725 tsek. Detta belopp samt tillkommande sociala kostnader betraktades som emissionskostnader och fördes direkt mot eget kapital i föregående bokslut. Sedan mars 2001 fungerar Bert Jeppsson som arbetande styrelseordförande och uppbär en månatlig ersättning såsom lön om 90 tsek. Sven Löfquist tillträdde sin befattning som vd i mars 2001. Anställningsavtalet löper med sex månaders ömsesidig uppsägningstid. Under vissa omständigheter är Löfquist berättigad till 24 månaders avgångsvederlag. Löfquist är berättigad till en månatlig ersättning uppgående till 188 tsek. Ersättningsbeloppet äger Löfquist fritt disponera såsom löneuttag och tjänstepensionspremier till försäkringsbolag. Pensionsförpliktelser avseende styrelse och vd finns ej. Övrig ledningspersonal: För företagets cfo gäller ett avgångsvederlag relaterat till anställningstid, dock maximalt 18 månadslöner. Under vissa omständigheter är cfo, cto och vp Marketing berättigade till ett avgångsvederlag om 18 månader vid egen uppsägning. Noter 45

Not 4 Resultat från andelar i koncernföretag 2001 2000 2001 2000 Utdelning från koncernföretag 800 Not 5 Ränteintäkter och liknande poster 2001 2000 2001 2000 Ränteintäkter 11 204 11 207 11 092 11 068 Ränteintäkter koncernföretag 231 242 11 204 11 207 11 323 11 310 Not 6 Skatt på årets resultat 2001 2000 2001 2000 Aktuell skattekostnad resultat före skatt 5 306 27 912 601 25 731 Aktuell skatteintäkt ej avdragsgilla/ej skattepliktiga poster mm -2 315-25 895-601 -25 731 Uppskjuten skattekostnad föregående års underskott 3 623 20 242 3 623 20 242 Uppskjuten skatteintäkt årets skattemässiga underskott -3 788-3 623-3 641-3 623 Uppskjuten skatteintäkt förändring obeskattade reserver 606-162 Uppskjuten skatteintäkt förändring internvist i lager -911-252 Uppskjuten skattekostnad temporära skillnader mm -110 768 2 411 18 990-18 16 619 Uppskjuten skatteintäkt förändring obeskattade reserver -162 Not 7 Balanserade utgifter för affärssystem 31dec 2001 31dec 2000 31dec 2001 31dec 2000 Ingående anskaffningsvärde Inköp 4 572 4 572 Utgående ackumulerade anskaffningsvärden 4 572 4 572 Ingående avskrivningar Årets avskrivningar Utgående ackumulerade avskrivningar Utgående planenligt restvärde 4 572 4 572 Investeringen avser nedlagda kostnader för anpassning och implementering av ett helintegrerat affärsinformationssystem. Avskrivningar kommer att påbörjas när systemet är driftsatt, vilket förväntas ske under kvartal 2, 2002. Not 8 Licensrättighet 31dec 2001 31dec 2000 31dec 2001 31dec 2000 Ingående anskaffningsvärde Inköp 17 084 17 084 Utgående ackumulerade anskaffningsvärden 17 084 17 084 Ingående avskrivningar Årets avskrivningar Utgående ackumulerade avskrivningar Utgående planenligt restvärde 17 084 17 084 Investeringen avser rätten att nyttja den know-how avseende applikationsområdet Direktritning som är kopplade till patenträttigheter i enlighet med avtalet med Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems (ims). Avskrivningar kommer att påbörjas när applikationen börjar generera intäkter, vilket förväntas ske tidigast under 2003. Licensrättigheten kommer att skrivas av på ett sätt som anses återspegla hur tillgångens värde för företaget successivt förbrukas, dock som längst över en period om 5 år. Dessutom kommer betalning av licensavgifter att ske från och med 2003. Not 9 Byggnader och mark 31dec 2001 31dec 2000 31dec 2001 31dec 2000 Byggnader Ingående anskaffningsvärde 45 873 38 873 45 873 38 873 Inköp 45 494 7 000 45 494 7 000 Omklassificering från pågående nyanläggningar 26 759 26 759 Utgående ackumulerade anskaffningsvärden 118 126 45 873 118 126 45 873 Ingående avskrivningar -4 082-2 840-4 082-2 840 Årets avskrivningar -1 560-1 242-1 560-1 242 Utgående ackumulerade avskrivningar -5 642-4 082-5 642-4 082 Utgående planenligt restvärde 112 484 41 791 112 484 41 791 Mark Ingående anskaffningsvärde 8 781 8 781 8 781 8 781 Inköp Utgående bokfört värde 8 781 8 781 8 781 8 781 Ingående avskrivningar Årets avskrivningar Utgående ackumulerade avskrivningar Utgående planenligt restvärde 8 781 8 781 8 781 8 781 Utgående planenligt restvärde 121 265 50 572 121 265 50 572 Noter 46 Taxeringsvärde Byggnader 29 800 20 800 29 800 20 800 Mark 4 949 4 949 4 949 4 949 34 749 25 749 34 749 25 749 Noter 47

Not 10 Maskiner 31 dec 2001 31 dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Ingående anskaffningsvärde 684 684 684 684 Inköp 48 48 Utgående ackumulerade anskaffningsvärden 732 684 732 684 Ingående avskrivningar -523-427 -523-427 Årets avskrivningar -100-96 -100-96 Utgående ackumulerade avskrivningar -623-523 -623-523 Utgående planenligt restvärde 109 161 109 161 Not 11 Inventarier 31 dec 2001 31 dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Ingående anskaffningsvärde 65 728 35 700 54 945 31 943 Inköp 65 465 30 155 62 674 23 129 Anskaffningsvärde sålda/utrangerade inventarier -767-127 -701-127 Utgående ackumulerade anskaffningsvärden 130 426 65 728 116 918 54 945 Ingående avskrivningar -32 947-18 435-30 701-18 078 Avskrivningar sålda/utrangerade inventarier 484 51 424 50 Årets avskrivningar -18 172-14 563-15 224-12 674 Utgående ackumulerade avskrivningar -50 635-32 947-45 501-30 702 Utgående planenligt restvärde 79 791 32 781 71 417 24 243 Leasingavtal och liknande Inventarier nyttjade via finansiell leasing Ingående anskaffningsvärde 8 023 3 312 Årets inköp enligt ovan 65 465 30 155 Avgår: köpta inventarier -65 465-25 444 Anskaffningsvärden finansiellt leasade inventarier 8 023 8 023 Ingående avskrivningar -1 608-276 Årets avskrivningar -18 172-14 563 Avgår: avskrivningar köpta inventarier 16 268 13 231 Ack avskrivningar finansiellt leasade inventarier -3 512-1 608 Utgående planenligt restvärde 4 511 6 415 Årets hyreskostnader finansiell leasing 2 034 1 855 Inventarier m m nyttjade via operationell leasing: Anskaffningsvärden 7 296 4 795 6 675 4 374 Varav under året nytecknande kontrakt netto 2 501 3 217 2 301 2 796 Årets hyreskostnader operationell leasing inkl lokalhyror 8 849 5 606 3 261 1 744 Framtida betalningsåtaganden avseende finansiell och operationell leasing samt övriga hyresavtal: 1) Inom ett år 6 366 3 417 2 913 2 888 Mellan ett och fem år 5 163 2 769 6 960 5 959 Senare än fem år Not 12 Pågående nyanläggningar 31 dec 2001 31 dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Ingående anskaffningsvärde 26 759 26 759 Inköp 3 041 26 759 3 041 26 759 Omklassificering till byggnader och mark -26 759-26 759 Utgående bokfört värde 3 041 26 759 3 041 26 759 Not 13 Andelar i koncernföretag 31 dec 2001 31 dec 2000 Ingående anskaffningsvärde 7 514 762 Nyemission 2 362 Nybildning 4 390 Utgående bokfört värde 7 514 7 514 Atal Kapital- Bokfört Org.nr. Säte aktier andel, % värde Micronic Treasury AB 556501-0989 Täby 1 000 100 100 Micronic Japan K.K. Tokyo 200 100 3 024 Micronic Laser Systems, Inc. Wilmington 500 100 4 390 7 514 Noter 48 Not 14 Fordringar hos koncernföretag 31 dec 2001 31 dec 2000 Ingående bokfört värde 3 215 6 192 Utlåning under året 0 3 215 Amortering under året 0-6 192 Utgående bokfört värde 3 215 3 215 Not 15 Andra långfristiga fordringar 31 dec 2001 31 dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Ingående bokfört värde 2 050 20 508 80 20 242 Tillkommande 16 618 1 784 15 478 80 Avgående 0-20 242 0-20 242 Utgående bokfört värde 18 668 2 050 15 558 80 Kundfordringar som förfaller under 2003 ingår med 14 422 14 422 Uppskjuten skattefordran ingår med 366 204 och är beräknad på ej avdragsgilla/ej skattepliktiga poster m m -896-486 Kundfordringar har upptagits till nominella värden med hänvisning till att förfallotidpunkterna infaller under de första månaderna av 2003. Noter 49 1) För koncernen har åtagande avseende finansiell leasing ej medräknats då dessa finns skuldförda.

Not 16 Varulager 31 dec 2001 31 dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Komponentlager 96 297 86 885 96 297 86 885 Reservdelslager 24 822 10 018 14 538 5 413 Produkter i arbete 158 420 66 967 158 420 66 967 Totalt 279 539 163 870 269 255 159 265 Not 17 Övriga fordringar 31 dec 2001 31 dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Aktuell skattefordran ingår med 2 991 2 021 2 350 2 021 Uppskjuten skattefordran ingår med 3 641 3 778 3 641 3 623 Forts. Not 20 Eget kapital Aktie- Överkurs- Bundna Fritt eget kapital fond reserver kapital Summa Belopp vid årets ingång 19 101 533 472 27 297 99 657 679 527 Nyemission teckningsoptioner 102 5 508 5 610 Teckningspremie utfärdade teckningsoptioner 6 916 6 916 Kvarvarande teckningsoptioner koncernföretag -2 548-2 548 Förskjutning mellan bundna och fria reserver på grund av ändringar av obeskattade reserver 1 558-1 558 0 Förändring ackumulerade valutakursdifferenser 939-348 591 Årets resultat 7 057 7 057 Belopp vid årets utgång 19 203 543 348 29 794 104 808 697 153 Uppskjuten skattefordran är beräknad dels på årets resultat före skatt, moderbolag -18 91 897-18 91 897 dels på föregående års underskott, moderbolag -12 940-72 293-12 940-72 293 dels på ej avdragsgilla/ej skattepliktiga poster m m, koncern/moderbolag 317-32 911 317-32 544 Not 21 Obeskattade reserver 31 dec 2001 31 dec 2000 Periodiseringsfonder Taxeringsår 1996 0 3 287 1997 11 430 11 430 1998 10 890 10 890 1999 8 020 8 020 Summa avsatt till periodiseringsfonder 30 340 33 627 Avskrivning utöver plan Maskiner 8 Inventarier 5 443 Summa avskrivning utöver plan 5 451 Summa totala obeskattade reserver 35 791 33 627 Uppskjuten skatteskuld på obeskattade reserver 10 022 9 416 Noter 50 Not 18 Förutbetalda kostnader och upplupna intäkter 31 dec 2001 31 dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Faktureringsintäkter 6 318 6 318 Varu- och servicekostnader 4 544 835 4 544 835 Kommissionskostnader 4 018 2 810 4 018 2 810 Valutakursförluster terminskontrakt 659 3 946 659 3 946 Övrigt 3 590 4 651 2 557 3 767 19 129 12 242 18 096 11 358 Not 19 Kassa och bank 31 dec 2001 31 dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Beviljad outnyttjad checkräkningskredit m m 27 834 10 000 22 500 10 000 Not 20 Eget kapital Aktiekapitalet består av 19 202583 (19 100583) aktier, à nominellt 1 krona. Aktierna ges ut i en serie och varje aktie berättigar till en röst.. Aktie- Överkurs- Reserv- Fritt eget kapital fond fond kapital Summa Belopp vid årets ingång 19 101 537 069 2 400 99 477 658 047 Nyemission teckningsoptioner 102 5 508 5 610 Teckningspremie utfärdade teckningsoptioner 6 916 6 916 Årets resultat 0 0 Belopp vid årets utgång 19 203 549 493 2 400 99 477 670 573 Not 22 Avsättningar 31 dec 2001 31 dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Avsättningar pensioner Pensionsåtagande koncernföretag 1 279 725 Summa avsättningar pensioner 1 279 725 Avsättningar skatt Uppskjuten skatteskuld på obeskattade reserver 10 022 9 416 Uppskjuten skattefordran på internvinst i lager -1 698-788 Uppskjuten skatteskuld på valutakursvinst 169-6 Uppskjuten skatteskuld på temporära differenser m m 520 769 Summa avsättningar skatt 9 013 9 391 Summa totala avsättningar 10 292 10 116 Noter 51

Revisionsberättelse Not 23 Långfristiga skulder 31dec 2001 31dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Saldo per balansdagen 430 219 66 370 426 854 51 431 Varav redovisas som kortfristig skuld -7 137-11 592-7 137-1 244 Förfaller mellan ett och fem år (414 583) (10 900) (411 219) (6 309) Förfaller senare än fem år (8 499) (43 878) (8 499) (43 878) Summa långfristiga skulder 423 082 54 778 419 718 50 187 Under året har moderbolaget utfärdat ett konvertibelt förlagslån om 320 000 tsek. Lånet löper över tiden 1 augusti 2001 till och med 31 juli 2004 och är räntefritt under denna period. Lånet ger vid konvertering rätt till nyteckning av 1 000000 aktier. Föregående år redovisades ett villkorligt lån från nutek om 5000 tsek bland Långfristiga skulder. Återbetalning skall ske när produkter från projektet, vartill lånet lämnades, genererar intäkter, vilket beräknas ske under kvartal 2, 2002. Lånet löper med ränta från och med 1 juli 2001 och förväntas återbetalas i sin helhet under 2002, varför det i årets bokslut redovisas under kortfristiga skulder bland Övriga skulder. Not 24 Upplupna kostnader och förutbetalda intäkter 31dec 2001 31dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Installations- och garantikostnader 33 898 39 337 33 898 39 337 Löne- och lönebikostnader 32 610 41 504 30 776 40 406 Kommissionskostnader 22 558 9 754 22 558 9 754 Legala kostnader 0 4 274 0 4 274 Övrigt 10 627 11 821 8 845 10 036 99 693 106 690 96 077 103 807 Till bolagsstämman i Micronic Laser Systems ab (publ.) Org nr 556351-2374. Vi har granskat årsredovisningen, koncernredovisningen och bokföringen samt styrelsens och verkställande direktörens förvaltning i Micronic Laser Systems ab (publ.) för år 2001. Det är styrelsen och verkställande direktören som har ansvaret för räkenskapshandlingarna och förvaltningen. Vårt ansvar är att uttala oss om årsredovisningen, koncernredovisningen och förvaltningen på grundval av vår revision. Revisionen har utförts i enlighet med god revisionssed i Sverige. Det innebär att vi planerat och genomfört revisionen för att i rimlig grad försäkra oss om att årsredovisningen och koncernredovisningen inte innehåller väsentliga fel. En revision innefattar att granska ett urval av underlagen för belopp och annan information i räkenskapshandlingarna. I en revision ingår också att pröva redovisningsprinciperna och styrelsens och verkställande direktörens tillämpning av dem samt att bedöma den samlade informationen i årsredovisningen och koncernredovisningen. Som underlag för vårt uttalande om ansvarsfrihet har vi granskat väsentliga beslut, åtgärder och förhållanden i bolaget för att kunna bedöma om någon styrelseledamot eller verkställande direktören är ersättningsskyldig mot bolaget. Vi har även granskat om någon styrelseledamot eller verkställande direktören på annat sätt har handlat i strid med aktiebolagslagen, årsredovisningslagen eller bolagsordningen. Vi anser att vår revision ger oss rimlig grund för våra uttalanden nedan. Årsredovisningen och koncernredovisningen har upprättats i enlighet med årsredovisningslagen och ger därmed en rättvisande bild av bolagets och koncernens resultat och ställning i enlighet med god redovisningssed i Sverige. Vi tillstyrker att bolagsstämman fastställer resultaträkningen och balansräkningen för moderbolaget och för koncernen, disponerar vinsten i moderbolaget enligt förslaget i förvaltningsberättelsen och beviljar styrelsens ledamöter och verkställande direktören ansvarsfrihet för räkenskapsåret. Stockholm den 12 februari 2002. Not 25 Ställda säkerheter 31dec 2001 31dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Nedan anges säkerheter för angivna skuldposter i balansräkningen Skulder till kreditinstitut Fastighetsinteckningar 102 000 46 000 102 000 46 000 Äganderättsförbehåll avseende finansiellt leasade inventarier 4 511 6 415 Beviljad outnyttjad limit checkräkningskredit Företagsinteckningar 61 000 29 000 61 000 29 000 167 511 81 415 163 000 75 000 Anders Östberg Auktoriserad revisor Lindebergs Grant Thornton AB Per Fridolin Auktoriserad revisor Lindebergs Grant Thornton AB Noter 52 Not 26 Ansvarsförbindelser 31dec 2001 31dec 2000 31 dec 2001 31 dec 2000 Återköpsåtagande sålda kundfakturor koncernföretag 6 454 4 371 Revisionsberättelse 53

Ledningsgrupp Hans Buhre Född 1944. Teknisk direktör. Anställd sedan 1986. Fil mag i fysik. Aktieinnehav i Micronic: 50 050. Jorge Freyer Född 1950. vd för Micronic Laser Systems, Inc., usa samt Marknadschef. Anställd sedan 1999. Civilingenjör. Aktieinnehav i Micronic: 25 000. Innehav av teckningsoptioner: 38 000. Sven Löfquist Född 1956. Verkställande direktör. Anställd sedan 1985. Civilingenjör i elektronik. Aktieinnehav i Micronic (inklusive familj): 132 500. Innehav av teckningsoptioner: 4 400. Charlott Samuelsson Född 1963. Chef för System- och Applikationsutveckling. Anställd sedan 1996. Licentiat i teknisk elektronfysik. Aktieinnehav i Micronic: 3 000. Innehav av teckningsoptioner: 4 000. Ulf Sundström Född 1958. Chef för Försäljning och Kundsupport. Anställd sedan 1996. Civilingenjör i teknisk fysik. Aktieinnehav i Micronic: 13 333. Innehav av teckningsoptioner: 14 400. Johan Åman Född 1968. Chef för Strategiska Utvecklingsprogram. Anställd sedan 1996. Licentiat i teknisk fysik. Aktieinnehav i Micronic: 1 083. Innehav av teckningsoptioner: 14 400. Ledningsgrupp 54 Stående från vänster; Charlott Samuelsson, Ulf Sundström och Sven Löfquist. Sittande från vänster; Hans Buhre, Johan Åman och Jorge Freyer.

Styrelse och revisorer Bert Jeppsson Magnus Ryde Född 1956. Styrelseledamot sedan 1999. Styrelseordförande i FlexICs Inc och Effnet Group ab. Styrelseledamot i Equipment Ltd., Innolite ab och Strand Interconnect ab. Aktieinnehav i Micronic: 22 500. Innehav av köpoptioner: 12 500. Lars Öjefors Född 1941. Teknologie doktor och docent från Kungliga Tekniska Högskolan. Verkställande direktör i Industrifonden. Styrelseledamot sedan 2001. Styrelseledamot i Thermia ab, Malmöhus Invest ab, Aldano ab, Swedfund ab och Arbustum ab. Medlem i iva (Kungliga Ingenjörsvetenskapsakademin). Aktieinnehav i Micronic: 0. Född 1939. Ordförande sedan 2001. Styrelseledamot sedan 1998. Teknologie doktor från Kungliga Tekniska Högskolan, genomgått Executive Development Program vid imede. Tidigare anställningar: Forskare vid Cornell University och Microwave Institute. Senior vp för Ericsson och vd för Ericsson Components. Aktieinnehav i Micronic: 11 205. Innehav av köpoptioner: 206 250. Innehav av teckningsoptioner: 4 400. Millert Carlsson Född 1945. Advokat på Lindh Stabell Horten kb. Styrelseledamot sedan 1989. Styrelseledamot bland annat i Olmed Ortopediska ab, Spectrogon ab och Secus ab. Aktieinnehav i Micronic (inklusive familj): 122 500. Hans Fletcher Född 1937. Styrelseledamot sedan 1996. Styrelseledamot i Elektronikgruppen bk ab och i ett flertal mindre bolag. Aktieinnehav i Micronic: 7 500. Innehav av köpoptioner: 6 250. Christer Zetterberg Född 1941. Styrelseledamot. Ordförande 1998 2001. Styrelseordförande i D Carnegie ab och Connect Sverige. Styrelseledamot i l e Lundbergföretagen ab och Holmen. Vice preses i iva (Kungliga Ingenjörsvetenskapsakademin). Aktieinnehav i Micronic: 10 000. Innehav av köpoptioner: 12 500. REVISORER Anders Östberg Född 1943. Revisor i Micronic sedan 1989. Auktoriserad revisor, Lindebergs Grant Thornton ab. Per Fridolin Född 1964. Revisor i Micronic sedan 2001. Auktoriserad revisor, Lindebergs Grant Thornton ab. Sven Löfquist Magnus Ryde Christer Zetterberg Lars Öjefors Sven Löfquist Styrelse och revisorer Född 1956. Styrelsesuppleant sedan 1998. Verkställande direktör och styrelseledamot sedan 2001. Styrelseledamot i M2 Engineering. Aktieinnehav i Micronic (inklusive familj): 132500. Innehav av teckningsoptioner: 4400. Styrelse och revisorer 56 Bert Jeppsson Millert Carlsson Hans Fletcher 57

Ordlista Ordlista 58 Akusto-optik En metod att ändra riktningen på ljus genom en kristall med hjälp av högfrekvent ljud. AOD,Akusto-optisk deflektor Den komponent i Micronics laserritare som avlänkar laserstrålen under exponering. AOM,Akusto-optisk modulator Den komponent i Micronics laserritare som styr intensiteten på laserstrålen utifrån det mönster som ska exponeras. Avkodare Linjära eller cirkulära skalor som avläses optiskt och används för lägesbestämning. CAD-data CAD (Computer Aided Design) data som beskriver mönstret som ska ritas i Micronics system. Data skapas med hjälp av ritprogram för kretskonstruktion.vanliga dataformat som skapas av CAD-program är DXF, Gerber, GDS II. Chip Se halvledarkrets. DUV DUV (Deep Ultra Violet). Ljus av mycket kort våglängd som används för mikrolitografi, inom halvledarindustrin. De vanligaste våglängderna är 248 nm och 193 nm eftersom det finns bra lasrar för dessa våglängder. Kort våglängd ger bättre upplösning. Elektronisk kapsling Tillverkningssteget som kapslar in ett halvledarchip så att det skyddas och kan anslutas till andra elektronikkomponenter i elektronisk utrustning. Fotomask Kan beskrivas som ett fotonegativ. Bilden på negativet ritas med Micronics system och överförs genom en litografisk process till kundens slutprodukt. Mikrolitografiska fotomasker är av två slag, emulsion på glas eller krom på glas eller kvarts. Emulsion (fotoemulsion) är ett ljuskänsligt material som ändrar färg vid belysning. Det fotokänsliga materialet på krommasker är ett lager av fotoresist över kromskiktet. Fotoresist är ett ljuskänsligt material som har den egenskapen att materialet kan framkallas och tvättas bort sedan det belysts. Färgfilter En komponent i LCD-bildskärmar som ger färgerna i en färgskärm. En LCD-skärm styr bara hur mycket ljus som släpps fram genom varje pixel. För att få en färgskärm används ett färgfilter. Det består av ett rött, ett grönt och ett blått fält för varje pixel i skärmen. Halvledarchip/halvledarkomponent Se halvledarkrets. Halvledarkrets En elektronikkomponent som innehåller mer än ett kretselement på en kiselbricka, till exempel minneskretsar, processorer, förstärkare. Interferometer En interferometer använder våglängden i laserljuset som en mätsticka med extremt hög upplösning. Katodstrålerör (CRT) Den traditionella bildrörstekniken som används i TV och datamonitorer. LCD LCD (Liquid Crystal Display), den vanligaste tekniken för platta bildskärmar. LCD-bildskärmar baseras på flytande kristallteknik, en elektriskt aktiv vätska som används i den vanligaste typen av platta skärmar. Det finns två huvudteknologier: passiva och aktiva (TFT-LCD). Plasmabildskärm (PDP) En typ av platta bildskärmar som kan göras mycket stora (40 70 tum diagonalt) och relativt tunna (ca 100 mm). Skuggmask Central komponent i alla färg-tv-apparater och datamonitorer. En tunn metallplåt med ett stort antal mycket små hål som sitter på insidan av bildskärmen. Utan skuggmasken är det inte möjligt att projicera en färgbild på skärmen. SLM SLM (Spatial Light Modualtor) är en teknik som bygger på ett mikrochip med ett antal mikroskopiska speglar som kan styras individuellt. En liten del av ett mönster som ska exponeras på en fotomask programmeras in i chippet och överförs till fotomasken med en ljusblixt från en laser. Tekniken använder speglar, vilket gör att den kan användas vid kortare våglängder. Detta krävs för högre upplösning. Speglar reflekterar ljus av kort våglängd medan linser och akusto-optik absorberar eller dämpar ljus. En annan fördel är att man exponerar en större del av mönstret en miljon pixlar på en gång, vilket ökar skrivhastigheten. TFT-LCD TFT-LCD, en aktiv LCD-bildskärm som ger bättre bildkvalitet och snabbare respons än en passiv LCD-skärm. De aktiva LCD-bildskärmarna har en tunnfilmstransistor (TFT, Thin Film Transistor) i varje pixel. Produktion: Ehrenstråhle&Co Illustratör: Inger Flygare Fotograf: Stefan Berg, sid 7, 55, 56 och 57, Paul Allan, sid 15, Östen Mattsson, sid 27, Victor Brott, sid 29, Semiconductor Equipment Consortium for Advanced Packaging. (Secap.), sid 13 och 17 Repro: Forprint Tryck: A.T.T. Grafiska

Pushing the limits Micronic Laser Systems AB (publ.) Nytorpsvägen 9 Box 3141, 183 03 Täby, Sverige Tel: 08 638 52 00 Fax: 08 638 52 90 E-mail: info@micronic.se www.micronic.se Micronic Strategic Development Mölndalsvägen 91 412 63 Göteborg, Sverige Tel: 031 703 06 80 Fax: 031 703 06 90 Micronic Laser Systems Inc. 1804 N. Shoreline Blvd. Suite# 210 Mountain View, CA 94043, USA Tel: +1 650 962 8400 Fax: +1 650 962 9400 Micronic Japan K.K. Masumoto Building 3F 7-4-3, Nishishinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 160-0023, Japan Tel: +81 3 3227 8218 Fax: +81 3 3227 8217 Micronic Taiwan 9th Floor, #18 Pu-Ding Road Der-An Building Hsinchu,Taiwan, 300 Tel: +886 3 564 6656 Fax: +886 3 564 6664