Copyright imec. OBS. Teckna gärna direkt på Xzeros hemsida. Malmö Lokal meddelas till dem som anmäler sig 31 maj 2018, kl

XZERO everything to zero INBJUDAN TILL TECKNING AV AKTIER i XZERO AB (publ) 23 maj 11 juni 2018 EU har valt Xzero AB i mycket hård konkurrens från innovationsföretag i hela Europa till ett av Europas ledande innovationsföretag. Xzero AB har fått cirka 13 miljoner i stöd för att marknadslansera sin produkt LastRinse och utlovats ytterligare stöd efter lanseringen. Xzero har utvecklat en teknik som gör renare vatten än någon annan existerande metod. En modern nanoelektronikfabrik använder flera miljoner sådant vatten per dygn. Copyright imec OBS. Teckna gärna direkt på Xzeros hemsida INFORMATIONSMÖTEN Malmö Lokal meddelas till dem som anmäler sig 31 maj 2018, kl. 18.00-21.00 Stockholm Lokal meddelas till dem som anmäler sig 4 juni 2018, kl. 18.00-21.00 Göteborg Lokal meddelas till dem som anmäler sig 5 juni 2018, kl. 18.00-21.00 Anmälan på www.xzero.se eller via info@xzero.se, eller tel: 08-660 39 64

INNEHÅLL Villkor och anvisningar 1 VD har ordet 2 Affärsplan 2 SAMMANFATTNING 3 Affärsidé 4 Nanoelektronik 6 Pressmeddelande från EU 7 Xzeros utrustning utvecklas i samarbete med imec 7 Strategier och mål 8 Resurser 9 TEKNIK 11 Teknik 12 Teknikutveckling 14 KTH projects and reports 15 Forskning 16 Tillverkning av nanochip 18 Utvecklingen av linjebredd 20 Begrepp 22 BOLAGET 25 Bolaget 26 Värdet av vattnets renhet 27 Aktiefördelning 29 Finsansiell översikt 30 Riskfaktorer 34 Bolagsordning 35 BILAGA 1 37 Sammanfattning av Xzeros affärsplan 38 BILAGA 2 45 Xzeros presentation för EU:s expertpanel 46

VILLKOR OCH ANVISNINGAR Erbjudandet i sammandrag Teckningstid 23 maj 11 juni 2018 Aktiepris Teckning i poster på 60 SEK 100 aktier à 6 000 SEK Likviddag 25 juni 2018 Antal nyemitterade aktier Emissionsbelopp 200 000 st 12 000 000 SEK Teckning Teckning kan ske i formulär på Bolagets hemsida www.xzero.se eller genom att skicka in anmälningssedeln. Anmälningssedel Anmälningssedel går att ladda ner från Bolagets hemsida www.xzero.se. Den går även att rekvirera kostnadsfritt från Bolaget. Rätt att teckna Aktierna kan tecknas av allmänheten. Användning av likvid Likviden ska användas för att marknadslansera Xzeros LastRinse till nanoelektronikindustrin. Emissionskurs De nya aktierna emitteras till en kurs på 60 kronor per aktie. Det tillkommer inget courtage eller skatter på beloppet. Emissionskursen är fastställd av styrelsen som gjort en bedömning utifrån Bolagets affärsmässiga potential och framtidsutsikter. Antal aktier i erbjudandet Erbjudandet omfattar 200 000 aktier, samtliga med samma rösträtt, en (1) röst per aktie och samma rätt till Bolagets vinst. Vid fullteckning kommer antalet B-aktier i Bolaget att öka med 200 000 aktier, från nuvarande 9 598 200 till 9 798 200 aktier. Köp och sälj aktier i Xzero på vår peer-to-peer anslagstavla! www.xzero.se Teckningstid Teckning av nya aktier ska ske under perioden 23 maj 11 juni 2018. Betalning och leverans av aktier Betalning skall ske enligt instruktion från Bolaget och efter besked om tilldelning. Efter genomförd emission kommer aktierna att registreras hos Bolagsverket, vilket beräknas ske i augusti 2018. Därefter kommer en registrering av aktierna att ske snarast hos Euroclear Sweden AB. Teckningspost Aktierna tecknas i poster på 100 aktier per post. Handel i aktien Aktien är onoterad. En inofficiell handel sker via företagets hemsida (www.xzero.se). Notering Xzeros bolagsstämma har beslutat att notera bolaget när det finns ett stabilt kassaflöde. Vi har räknat med detta till slutet av år 2018. Med den uppmärksamhet som bolaget fått undersöker vi för närvarande dessutom möjligheten att sälja hela eller delar av företaget till en större industriell eller finansiell aktör. Tilldelning Det finns ingen övre gräns för hur många aktier en enskild tecknare kan anmäla sig för, inom gränsen för nyemissionen. Vid eventuell överteckning fördelas aktierna enligt styrelsens beslut. Förtur ges till existerande aktieägare i proportion till tidigare innehav. Styrelsen beslutar om tilldelning och förbehåller sig rätten att även tilldela övertilldelning. Besked om tilldelning sänds per post till den adress som angivits på anmälningssedeln. Emitterade aktiers rättigheter De nya aktierna berättigar till utdelning från och med år 2018. Förbehåll Erbjudandet riktar sig enbart till personer och företag som lyder under svensk lag. Skatterabatt En skatterabatt på 15 procent utgår enligt gällande regler vid köp av aktierna. Informationsmöten Xzero kommer att hålla informationsmöten i Malmö den 31 maj, i Stockholm den 4 juni och i Göteborg den 5 juni. Finansiella mål Styrelsens mål är att sälja Xzero, hela eller en del, när bolaget har ett positivt kassaflöde, till ett internationellt storbolag. Vi har för närvarande tekniskt samarbete med flera tänkbara köpare. Ett andrahandsalternativ är att notera Xzero på en större svensk eller internationell börs. VILLKOR OCH ANVISNINGAR 1

VD HAR ORDET Xzero har utvecklat ett system som gör världens absolut renaste vatten. Målgruppen är nanoelektronikindustrin. I takt med att all elektronisk utrustning miniatyriseras krävs det allt renare vatten i tillverkningsprocessen. En normalstor tillverkningsanläggning gör av med flera miljoner liter ultrarent vatten (UPW) om dagen. En sådan vattenreningsanläggning kan kosta en halv miljard SEK eller mer. Vi har genom tester med labutrustning och prototyper visat att vi kan göra renare vatten än vad andra typer av teknik kan men att sälja in ny teknik till så stora belopp kräver tålmodigt arbete. Vinay Chand, VD Vinay Chand presenterar Xzeros teknik på konferens om vatten för halvledarindustrin i Phoenix, Arizona; USA. AFFÄRSPLAN Xzero har ett försprång i teknik och har därmed en unik möjlighet att komma in på marknaden. Typiska kunder kommer att bli Intel, Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC), IBM, Globalfoundries och Samsung. Xzero kommer att koncentrera sig på modul och systemutveckling. Företaget kommer att sälja utrustning och tjänster till system integratörer som Veolia, GE, Entegris och Ovivo. Xzeros marknadsföring kommer att koncentreras på att övertala slutanvändarna (d.v.s. halvledartillverkarna) att specificera Xzero som underleverantör till deras nya fabriker. Huvudentreprenören kommer då att i sin tur att specificera Xzeros utrustning i sin order till systemleverantören integratören. Xzero kommer att utnyttja sitt nuvarande försprång i teknikutveckling och sitt under ett långt utvecklingsarbete förvärvade kunnande för att erövra en stor marknadsandel. För att minska den framtida konkurrensen kommer Xzero att vara villig att leverera sina komponenter till samtliga systemleverantörer i syfte att maximera sitt marknadsförsprång och stabilisera en ledande ställning på marknaden. Baserat på erfarenheterna på marknaden kommer Xzero att förbättra tekniken för att även upprätthålla ett tekniskt försprång. Exempel på aktörer inom nanoelektronikindustrin Intel (USA) Applied Materials (USA, Tyskland) TSMC (Taiwan) Siemens (USA, Tyskland) Samsung (Sydkorea) ASML (Nederländerna) Globalfoundries (USA) DNS Wet-process (USA) HP Hewlett Packard (USA) AG Semiconductor Service (USA) AMD (USA) MW Group (Tyskland) Toshiba (Japan) GE Infrastructure (USA) Hitachi (Japan) Veolia Water (Frankrike) Micron Technology (USA) Ovivo (Christ Water Technology, Kanada) IBM (USA) VD HAR ORDET 2

SAMMANFATTNING Xzero har utvecklat ett system som gör världens absolut renaste vatten.

AFFÄRSIDÉ Xzero har utvecklat ett system som gör världens absolut renaste vatten. Målgruppen är nanoelektronikindustrin. Där krävs det allt renare vatten vid tillverkning av de kretsar som är grundkomponenten i all elektronik. En normalstor tillverkningsanläggning för nanoelektronik gör av med flera miljoner liter ultrarent vatten (UPW) om dagen. En sådan vattenreningsanläggning kan kosta en halv miljard kronor eller mer. Bevisad effektivitet Xzero har utvecklat en patentsökt teknik som tar bort alla partiklar inklusive de minsta nanopartiklarna. Effektiviteten har bevisats genom många tester av oberoende institut och företag som IVL, KTH, ALS Global, Manta Instruments, Clarkson University och Anton Paar. I vår forskning för Xzero har vi samarbetat med Intel och andra ledande företag i branschen. Under de senaste åren har fokus varit på avlägsnande av nanopartiklar och vi har fått mycket bra resultat. Professor Andrew Martin, Chef, Avdelning, Värme- och energiteknik, Kungliga Tekniska Högskolan, Stockholm, Sverige. Ökande intresse Efter två års prototyputveckling och tester har imec som är Europas främsta institut för nanoelektronik beställt tre olika enheter för tre olika processteg. Dessa ska först testas i imecs renrum och därefter demonstreras i imecs produktionsfabrik. MyFab på KTH som har Sveriges mest avancerade renrum har också beställt en provanläggning som ska förbättra kvalitén på det ultrarena vatten som de idag använder. När det finns resultat från dessa tester kommer ytterligare en demo att byggas för något av de företag som Xzero har skrivit sekretessavtal med Intel och Globalfoundries, eventuellt en för vardera. Marknadsacceptans Den största utmaningen för nanoelektronikindustrin har varit och är att konstruktionerna minimeras allt mer. Detta ökar riskerna för förorening. Den fortsatta utvecklingen i nanoelektronikindustrin mot mindre, snabbare och billigare integrerade kretsar har drivit industrin till konstruktioner kring 10 nanometer. Avgörande för avkastningen i dessa nya tekniker är att kunna minska defekterna. Xzero har visat i laboratorieskala att deras utrustning kan uppfylla de tekniska kraven, därför kommer imec att stödja den fortsatta industrialiseringen av Xzeros teknik. Dr Ir. Frank Holsteyns, Gruppchef yta och gränssnitt, imec, Leuven, Belgien Växande marknad Jag utvecklar en metod för avlägsnande av sub-20 nanopartiklar i en slutlig sköljning av nanowafers och har funnit att Xzero-utrustning kan utvecklas till ett verktyg för detta. Harald Näslund, tidigare labchef på Ericsson submyfab, Stockholm, Sverige, numera egen företagare. Den totala marknaden för vattenreningsutrustning till nanoelektronikindustrin är cirka 6 miljarder euro och förväntas öka till 10 miljarder Euro år 2028. Bättre än de bästa Idag finns ingen kommersiell vattenreningsteknik som avlägsnar partiklar som är mindre än 10 nanometer. Xzeros utrustning kan göra detta. Er vattenkvalitet är utmärkt. I själva verket bytte jag helt från vår Millipore Simplicity-maskin och vi rekommenderar Xzero-vatten till våra kunder som behöver vatten med mycket låga partikelantal för sina applikationer. Leveranser under 2018 Kuba Tatarkiewicz PhD, vice VD för Engineering, MANTA Instruments, Inc., San Diego CA, USA Xzero har beställning på tre anläggningar för olika processer från imec och en beställning från Myfab. Dessa är för närvarande under tillverkning och kommer att levereras under 2018. Imec är Europas och kanske världens ledande nanoelektronikforskningsinstitut i Leuven utanför Bryssel. Myfab ligger i Kista utanför Stockholm och har Sveriges mest avancerade renrum. Ökad vinst Eftersom kostnaden för vattenrening är liten jämfört med de totala driftskostnaderna för en hel fabrik ger en investering bra avkastning. Minskat antal defekter på grund av att föroreningarna minskar kommer att öka antalet säljbara produkter. För bara 0,1 % ökning av säljbara produkter kan ett stort nanoelektronikföretag öka sin vinst med 10 miljoner euro per år. Hög lönsamhet för kunden medför möjligheter till bra lönsamhet för Xzero. AFFÄRSIDÉ 4

Intyg från EU Detta är ett certifikat från den institution som hanterar Horizon 2020, EU:s ramprogram för forskning och innovation 2014 2020 för att förbättra småföretagens potential inom områdena klimatåtgärder, miljö, resurseffektivitet och råvaror. Efter utvärdering av en internationell expertpanel av oberoende experter har Xzeros projekt Hållbar Vattenteknik för Ultrarent Vatten blivit bedömd som ett högkvalitativt projektförslag i ett mycket konkurrensutsatt utvärderingsförfarande. Detta innebär att det uppfyller alla de stränga bedömningskriterierna för excellens, angelägenhet och genomförbarhet som krävs för att få finansiering från EU: s budget Horizon 2020. Projektförslaget från Xzero AB tar den globala nanoelektronikindustrin till en ny nivå av miljö och ekonomisk hållbarhet. Vi rekommenderar detta förslag till finansiering även från andra källor. Första finansiering Efter ytterligare en bedömningsomgång efter detta intyg har Xzeros projekt presenterats muntligt inför en internationell expertpanel i Bryssel och därefter tilldelats drygt 12 miljoner SEK för ett tvåårsprogram (steg 2) som kan följas av ytterligare finansiering i steg 3. Utsikterna för att Xzero kommer att lyckas genomföra projektet som är definierat som marknadslansering av Xzeros första produkt Last Rinse är goda och Xzero genomför därför en nyemission på 12 miljoner SEK dels för att delfinansiera projektet (EU:s krav är 30 % självfinansiering vilket innebär 6 MSEK) och dels för att stärka projektet rent allmänt för att garantera framgång. Budget för lansering av LastRinse augusti 2018 juli 2020 MSEK EU Xzero Totalt Marknadslansering LAST RINSE 13 5 18 Löpande utgifter 5 5 Övrig teknikutveckling 2 2 Totalt 13 12 25 Under 2020 räknar Xzero med intäkter från den lanserade produkten och kan även räkna med ytterligare finansiering från EU under Horizons Steg 3 program. Finansiell trygghet Xzero har tidigare fått 500 000 kronor i stöd från Horizon 2020 SME Phaze 1 för att genomföra en marknadsanalys. Därefter 1.3 miljoner Euro i Horizon Phaze 2 för ett tvåårsprogram för att lansera sin första produkt Last- Rinse. När programmet är avslutat kommer Xzero att få ytterligare stöd från programmets Phaze 3 för att slutföra marknadslanseringen. AFFÄRSIDÉ 5

NANOELEKTRONIK 30 cm Plattan på bilden är tillverkad av kisel (Silicon) som är grundmaterialet för alla nanoelektronikprodukter. Diametern på plattan har ökat allteftersom och idag används plattor med 200 och 300 mm diameter (men även mindre för speciella ändamål) och siktet är inställt på plattor med 450 mm diameter. På plattorna läggs lager efter lager av transistorer genom att etsa ut spår och lägga in olika metaller i spåren. När man lagt önskat antal lager skär man upp plattan i flera hundra komponenter som efter ytterligare bearbetning blir processorer och minnen. Under tillverkningsprocessen sköljs plattan ett hundratal gånger för att få bort rester av överflödigt tillverkningsmaterial och sköljvattnet (som kallas UPW Ultrapure Water) måste vara så rent som möjligt för att undvika att föroreningar skapar framtida kortslutningar. Idag finns inte vattenreningsteknik som säkert kan avlägsna partiklar som är under 20 nanometer. Eftersom Xzeros är en helt ny teknik som avlägsnar föroreningarna oavsett storlek finns en stor marknad för Xzeros produkter. Detta är en platta som efter tillverkning skärs upp i komponenter. De små rutorna är processorer. Nanoelektronikens grundläggande komponenter är små strömbrytare (transistorer) där kontakterna är 32 nanometer 0,000032 mm från varandra. Även den minsta förorening orsakar därför lätt en kortslutning. Nu förbereder industrin för tillverkning vid 16 nanometer och utvecklar 8 och 5 nanometer i sina laboratorier. På denna komponent kan tusen långfilmer lagras. Under tillverkningsprocessen sköljs komponenten upp till hundra gånger med vatten som måste vara absolut rent. Kostnaden för en framtida nanoelektronikfabrik beräknas vara 15 miljarder dollar. Vattenreningssystemet till en sådan fabrik beräknas kosta 60 miljoner dollar. Xzero har sekretessavtal med de ledande nanoelektroniktillverkarna Intel, Hitachi och Globalfoundries och med flera andra aktörer i industrin. NANOELEKTRONIK 6

PRESSMEDDELANDE FRÅN EU 57 högklassiga innovatörer utvalda för finansiering inom EIC SME Instrument Totalt 57 små och medelstora företag från 17 länder har blivit utvalda för finansiering under senaste rundan av SME-instrumentet. Detta är den första omgången av småföretag som valts under det nyligen lanserade europeiska innovationsrådet (EIC). Företagen, utvalda efter granskning av professionella bedömare och personliga intervjuer av en jury av innovatörer, entreprenörer och riskkapitalister, kommer att få sammanlagt 94,25 miljoner euro att dela mellan sina projekt för att skala upp och internationalisera. Carlos Moedas, EU-kommissionär för forskning, vetenskap och innovation, säger: Pilotprojektet från europeiska innovationsrådet har etablerats för att stödja entreprenöriella företag med banbrytande teknik och en tydlig förmåga att skapa nya marknader. Denna första grupp av innovatörer har verkligen den potentialen.... Utdrag 13/03/2018 från: https://ec.europa.eu/easme/en/ news/57-top-class-innovators-selected-funding-under-eic-sme-instrument XZEROS UTRUSTNING UTVECKLAS I SAMARBETE MED IMEC imec Xzero har ett pågående utvecklingsarbete hos imec som är EU:s nanoteknikcentrum. Genom arbetet på imec kommer vi i kontakt med ledande nanoteknikföretag i hela världen. Detta utgör grunden för vår marknadsföring. Så här skriver imec om sig själva Imec bedriver världsledande forskning och utveckling inom nanoelektronik och digital teknik. (www.imec-int.com) Utrustningen byggs i Xzeros laboratorium i Bromma. Här är Jan Coenen från imec och Henrik Dolfe från Xzero. En lysande idé behöver de bästa kollegor, den bästa arbetsmiljön och ett renrum som är otroligt rent. Vår forskning leder till nanoteknik för att upptäcka cancerceller, programvara för självkörande bilar, böjbara displayer och förnybara energikällor. Vi har den mest avancerade utrustningen och vi har samlat 3 500 forskare från hela världen i en kreativ och stimulerande miljö för att påskynda utvecklingen mot en uppkopplad hållbar framtid. Xzero har utökat samarbetet med imec med ett doktorandarbete på KTH med titeln Rening av avloppsvatten i halvledarindustrin genom membrandestillering av Imtisal-e-Noor. Handledare är Andrew Martin, Institutionen för energiteknik, KTH och Olli Dahl, Institutionen för Bioprodukter och Biosystem, Aalto-universitetet, Espoo, Finland. Imec har tillverkning enligt senaste kriterier (Copyright imec). PRESSMEDDELANDE FRÅN EU 7

STRATEGIER OCH MÅL Xzeros övergripande mål är att få fram utrustning som gör absolut rent vatten för nanoelektronikindustrin. Vår ambition är dessutom att åstadkomma detta utan utsläpp av några av de ofta mycket giftiga ämnen som används i tillverkningsprocesserna i miljön. Det kan exempelvis vara kadmium, arsenik eller kvicksilver. Uppnått 2017 Xzero har skrivit samarbetsavtal med imec och utvecklat sin teknik efter gemensamt utformade specifikationer. En helt ny modul har utvecklats och ett gemensamt forskningsprojekt mellan KTH och imec har påbörjats. Mål för 2020 De första kommersiella produkterna säljs. Marknadsföringsprogram utarbetas i samarbete med EU Horizon. Xzeros framtid säkras genom finansiering från någon partner eller kund eller genom en börsnotering. Typiska kunder Slutanvändare: Intel, TSMC, Globalfoundries och Samsung Direkta kunder: Entegris, MW Group, Veolia och Ovivo. Uppnått 2018 En första produkt har definierats i samarbete med imec och Xzeros egna experter. Tre provanläggningar har beställts av imec. Xzeros utvecklingsplan har utvärderats av EU i programmet Horizon 2020 SME och fått finansiellt stöd för marknadslanseringen och löfte om utökat stöd i marknadsföringen. Mål för 2018 Tre provanläggningar levereras och testas på imec och en till MyFab i Kista. Mål för 2019 En större anläggning levereras och testas på imec. Därefter levereras provanläggningar till Intel och/eller GlobalFoundries. Prototyp av den nya reningsmodulen Lägsta prognos i ansökan till Horizon 2020 År 2019 2020 2021 2022 2023 2024 PROGNOS M * Kompletterande 0,7 3,6 7,2 14,4 28,8 57,6 Nyinstallerade 0,7 3,6 7,2 14,4 28,8 Bruttomarginal 0,7 4,3 10,8 21,6 43,2 86,4 Administrationskostnader 0,7-2,3 2,4 2,7 2,8 3,0 Resultat före skatt och dispositioner 2,0 8,4 18,9 40,4 83,4 *I prognosen tar vi endast upp intäkter från LastRinse vars finansiering nu är säkrad. Redan nu har Xzero löpande intäkter som naturligtvis kommer att öka under åren men är svåra att beräkna. Presentation av Xzeros teknik på den årliga konferensen för ultrarent vatten. Denna gång i Austin, Texas, USA 30 maj 1 juni 2018. Huvudsponsorerna detta år är Intel och Samsung två av våra viktigaste framtida kunder. (ultrapuremicro2018.com) STRATEGIER OCH MÅL 8

RESURSER Styrelse Rådgivare Patent Ledning Aapo Sääsk, ordförande, är grundaren till Xzero AB. Han är utbildad civilekonom och har lång erfarenhet av arbete med innovativa miljöprojekt inom energi och vattenrening. Håkan Klingén, styrelseledamot, företrädare för minoritetsägarna. Henrik Unné, styrelseledamot, företrädare för minoritetsägarna. Vinay Chand, VD, är en senior marknadskonsult med omfattande erfarenheter genom uppdrag i Europa, Nordamerika och Asien från såväl internationella organ som EU och Världsbanken som från privata företag. Miriam Åslin, Projektledare, magisterexamen i biologi, Stockholms Universitet. Administrativ chef. Harald Näslund. tidigare labchef på Ericsson submyfab, Stockholm, Sverige, numera egen företagare. Bo Bängtsson, har arbetat i chefspositioner hos Ericsson, ABB och Svenska Renrum, och deltagit i bygget av närmare 100 renrum. Som rådgivare beträffande offentlig finansiering anlitas GAEU Consulting www. gaeu.se/ För övriga finansieringsfrågor anlitas Swedbank AB www.swedbank.se Revisor Juridik Revisor är Johan Isbrand på GO Revision & Consulting. Rådgivare i juridiska frågor är advokat Tom Thorelli på Thorelli & Associates (thorelli.com). Tom är specialiserad på kommersiella avtal och immaterialrätt och har verksamhet i Chicago och Paris. Konsulter Rådgivare i patentfrågor är Bertil Örtenblad på Noréns patentbyrå (norens.se). Bertil är teknologie doktor från KTH i Stockholm. Han är styrelseordförande på Noréns. Bolaget har anlitat en stor mängd olika ingenjörskonsulter för att utveckla tekniken. För närvarande samarbetar vi närmast med HotSwap (hotswap.se) och Reijlers (reijlers.se) för att slutföra industrialiseringen av produkten LastRinse. Forskning Bolaget har sedan början av 2000-talet ett grundmurat samarbete med KTH. Samarbetet med KTH samordnas av professor Andrew Martin. Imtisal-e-Noor, doktorand i ett samarbetsprojekt mellan KTH och imec. Nanopartiklar är ett inte helt utforskat hot mot såväl människor som industri. Tillgången på rent vatten är ett av dagens stora världsproblem. World Economic Forum i Davos 2018 RESURSER 9

TEKNIK Xzero har utvecklat ett system som gör världens absolut renaste vatten.

TEKNIK Nanoelektronikindustrin tillverkar nanoprocessorer och massminnen grunden för all modern elektronik, data och kommunikationsutrustning. För att öka snabbhet och lagringsförmåga i datorer, mobiler och liknande utrustning utvecklas allt mer kompakta elektronikkomponenter. Grunden för komponenterna är halvledare som kan ge signalerna noll och ett som är grunden för datatekniken. Desto mindre avstånd det är mellan de ledande detaljerna som slås av och på, desto snabbare arbetar processorn och desto mer data kan lagras på minnet. Avståndet är idag mindre än en tiotusendel av ett mänskligt hårstrå. Nanoelektronikens grundläggande komponenter är små strömbrytare (transistorer) där kontakterna är några tiotals nanometer* från varandra. Även en liten förorening orsakar därför lätt en kortslutning. Nu förbereder industrin för 22 nanometer och därefter 16 och har även långsiktiga planer för 8 och 5 nanometer. * En nanometer är en miljarddels meter, vilket är lika med en miljondels millimeter. Föroreningar i nanokomponenterna kan orsaka kortslutning. Alla föroreningar som bildas vid tillverkningen måste sköljas bort med absolut rent vatten. Annars bäddas de in i komponenten och gör att den måste kasseras vid slutkontrollen. Därför har nanoelektronikindustrin idag högre krav på vattenkvalitet än någon annan industri. Inom branschen finns numera ett medvetande att existerande teknik för vattenrening inte kan förfinas för att klara dessa nya toleranser. Scarab Development AB förutsåg denna utveckling redan på slutet av 1980-talet och är det enda bolag som har arbetat med att utveckla en helt ny teknik som kan klara de nya kraven. Xzero bildades år 1997 för att slutföra denna utveckling. Experterna är för första gången oroliga att de inte har vattenreningsteknik som kan klara av renhetskraven. Efter många års utvecklingsarbete har Xzero fått fram en utrustning som gör renare vatten än existerande system. Dessutom till lägre kostnad. Den första testutrustningen skickades i början av 2015 för utvärdering till Clarkson University som är experter på tillverkningsteknik för nanoelektronikprodukter och Xzero förbereder nu kommersiell tillverkning. En vattenreningsanläggning till en normalstor fabrik beräknas kosta uppemot en miljard kronor varav leveranser från Xzero kan utgöra halva kostnaden. Test av silvernanopartiklar på KTH Koncentration i mikrogram per liter. Matarvatten Resultat Test 1 3100 <2 Test 2 3100 <2 Test 3 3100 <2 Inga uppmätta spår av nanopatiklarna Projektledare Miriam Åslin, professor Christopher Bellona och professor S.V. Babu går igenom testutrustningen på labbet i USA. Intresset för Xzeros teknik har väckts sedan vi genomförde tester som tog bort nanopartiklar till under detektionsnivå. TEKNIK 12

KÄRNKOMPONENTEN Kärnkomponenten i Xzeros teknik är en kassett med hydrofobiska (d.v.s. vattenavstötande) membran. Membranen släpper igenom enskilda vattenmolekyler i ångfas men inte i vätskefas. Inga icke-flyktiga föroreningar kan passera membranet. De flyktiga avlägsnas genom avgasning antingen före eller efter membranprocessen. PROCESSEN Xzeros process består av tre grundläggande steg: Avgasning De flyktiga ämnen som eventuellt finns i matarvattnet drivs ut med värme eller på annat sätt. Detta kan ske före eller efter membranprocessen. Separering Matarvattnet pumpas in i en kassett där vattenmolekyler i ångform får passera ett membran som släpper igenom enstaka vattenmolekyler men inte vattenmolekyler i kluster det vill säga flytande vatten. Vattenmolekylerna i ångform kondenserar därefter på en kall yta. Koncentrering Det vatten som blir över från reningen koncentreras så att värdefulla metaller kan återvinnas. Vid koncentrationen utvinns också vatten som kan återföras som matarvatten i processen. Efter att ha genomgått konventionell förbehandling förs matar vattnet till avgasaren. I avgasningssteget optimeras ytan av det föruppvärmda matarvattnet och vattnet värms upp varvid de flyktiga ämnena evaporerar/avdunstar. Det uppvärmda vattnet i en temperatur under kokpunkten leds sedan förbi ett vattenavstötande membran. På den andra sidan av membranet finns en kyld yta. Temperaturskillnaden mellan det varma vattnet och den kalla ytan skapar en skillnad i tryck som gör att enskilda vattenmolekyler kan lämna vattenytan, gå genom membranet och därefter kondensera på den kalla ytan. Eftersom bara vattenmolekyler kan lämna vattenytan blir kondensatet helt rent. MEMBRANET Membranen har fler än en miljon porer per kvadratcentimeter. Porerna är 20 000 gånger mindre än en vattendroppe, men de är samtidigt 700 gånger större än en enskild vattenmolekyl. En vattendroppe och allt vad den innehåller kan inte gå igenom membranet medan en enskild vattenmolekyl går igenom med lätthet. KASSETTER, MODULER OCH SYSTEM Xzeros moderbolag Scarab Development AB har utvecklat vattenreningsteknik sedan 1972. Det första patentet på den speciella membranteknik som Xzero använder togs 1979. Därefter har flera varianter utvecklats och patenterats. Xzero bildades år 1997 för att utveckla utrustning speciellt för tillverkning av ultrarent vatten. Flera laboratorieutrustningar och piloter har byggs och utvärderats. Under 2014 har designarbete påbörjats för att använda samtliga erfarenheter inför serietillverkning. Målet är att uppnå absolut renhet till lägsta tillverkningskostnad. Serietillverkning planeras till 2018. Xzero har designat kassetter som ska ge stort genomflöde med lågt tryck där samtliga material motsvarar nanoelektronikens krav på renhet. Det räcker inte med att tillverka absolut rent vatten. Det gäller också att hålla det rent ända fram till användning. Kassetterna byggs ihop till moduler som ger cirka 20 liter per timme. Dessa byggs ihop till ett system. Ett helt system till en halvledarfabrik består då av tusentals moduler. Systemet består förutom modulerna av rörsystem, pumpar, tankar, ventiler och instrumentering samt avgasare, koncentrator och energiåtervinning. TEKNIKENS HISTORIA Xzero förutsåg tidigt att det fanns en gräns för hur långt man kunde förbättra kvaliteten på vattnet i nanoelektronikindustrin genom att lägga till allt fler nya tekniker i steg efter steg. Vi har sedan dess arbetat för att utveckla en teknik som i grunden bara behöver två komponenter. En som tar bort de flyktiga ämnena ur vattnet och en annan som tar bort de icke-flyktiga. Logiken i våra teoretiska resonemang har accepterats av branschföreträdare ända sedan vi började arbetet och våra testresultat har undan för undan bekräftat teorin. Därför har vi arbetat vidare för att förbereda tekniken för kommersialisering. Samtidigt har vi genomfört allt mer avancerade tester. Det är emellertid först nu som branschen börjar bli allvarligt oroad över vattenkvaliteten. Det beror på att de produkter som man nu utvecklar kommer att bli känsliga för partiklar i nanostorlek. Sedan något år är detta så pass uppmärksammat att man kallar de partiklar som man förmodar ska kunna förstöra en produkt för mördarpartiklar. Ingen av de nu använda teknikerna kan garanterat avlägsna nanopartiklar medan Xzero har gjort tester som visar att vi kan det. Nanodefekter är ett nytt ord i nanoelektronikbranschen. Eftersom linjebredderna nu är nere i området kring 10 nanometer tiotusentals gånger tunnare än diametern på ett hårstrå så kan även det minsta fel få skadliga konsekvenser för elektronikens funktion. Det märks inte för oss användare eftersom funktionen i alla produkter kontrolleras minutiöst innan de används i datorer, mobiler, bilar, flygplan etc. För tillverkaren är det emellertid ett stort problem. Alla defekta produkter måste kasseras. Ett företag med stor procent kassationer förlorar i konkurrensen med företag med färre kassationer. En viktig anledning till defekter är att partiklar från luften i renrummen eller från det vatten som man sköljer komponenterna med kan orsaka kortslutning. En sådan kortslutning märks inte förrän den färdiga produkten testas. Även om materialkostnaden i produkten inte är hög, har man då lagt ner flera månaders arbete på produkten och varje kasserad produkt slår direkt på vinsten för företaget. TEKNIK 13

TEKNIKUTVECKLING SYSTEMETS PRESTANDA Effektivare separering Hög reningsgrad Hög tillförlitlighet Återvinning av vatten Återvinning av överskottsmaterial från tillverkningen Lägre elförbrukning Lägre kapitalkostnader Den första prototypen för att rena vatten för nanoelektronikindustrin byggdes för och testades av Sandia National Laboratories i Albuquerque, New Mexico, USA. KONKURRENS Den teknik som Xzero har utvecklat och erbjuder är helt unik. Självklart kommer Xzero att utsättas för konkurrens i framtiden. Det kan vara från företag som kopierar Xzeros teknik eller från företag som uppfinner ny teknik. Idag är Xzero ensamma om att kunna avlägsna nanopartiklar totalt. Xzero har tidigare skyddats av moderbolaget Scarab Development AB:s många patent men dessa har nyligen utgått eller övergivits. Ett nytt patent har godkänts i april 2015. Fler kommer att registreras. Xzero satsar dessutom mycket på samarbete med olika forskningspartner för att behålla ledningen i teknikutvecklingen. I ett steg producerade prototypen ultrarent vatten av samma kvalitet som existerande komplicerade flerstegsanläggningar. Sedan dess har vi arbetat för att kommersialisera tekniken. Under tiden har vi deltagit i flera projekt för att verifiera att vi verkligen tar bort alla typer av ämnen. Vi har arbetat med rening av vatten från läkemedelsrester med Svenska miljöinstitutet och KTH i ett projekt som bekostades av Naturvårdsverket. Vi har koncentrerat koncentrat från avsaltningsverk i Qatar och Saudi-Arabien. Allt med lyckat resultat. För närvarande fokuserar vi på att bygga små testutrustningar för att övertyga kunderna och att förbereda massproduktion. På senare tid har vi testat att få bort olika typer av nanopartiklar från vatten med lyckat resultat. Detta är nanoelektronikindustrins stora intresse idag. Prototyp hos Sandia National Laboratories TEKNIKUTVECKLING 14

KTH PROJECTS AND REPORTS KTH has initiated the following projects involving membrane distillation equipment from Xzero during 2016 A. Membrane Distillation and Applications for Renewables-driven Water Purification: a PhD student research project funded by SELECT+, and Erasmus Mundus Joint Doctoral program. This project will focus on innovative water treatment and recovery, including ultrapure water provision, in semiconductor manufacturing and in the pulp and paper industry. B. Flue Gas Condensate Treatment in MSW Incineration via Membrane Distillation: a proposal submitted to the Swedish Energy Agency for investigating novel solutions to flue gas condensate treatment in municipal solid waste incineration. C. Removal of arsenic, fluoride and uranium from groundwater by using air gap membrane distillation (AGMD) in inland area: a PhD student research project at the University of Southern Queensland, led by Prof. Jochen Bundschuh. Prof. Andrew Martin co-supervises the student. D. Zero liquid discharge in semiconductor manufacturing: a proposal submitted by University of Technology Sydney (Prof. Ali Altaee) to the Global Connections Fund of Australia. KTH and Xzero participate as international partners. E. Space Water: a MSc student project examining options for membrane distillation-based water recovery future space missions to Mars. KTH has recently published the following research reports involving membrane distillation equipment from Xzero A. Daniel Woldemariam, Alaa Kullab, Uwe Fortkamp, Jörgen Magner, Hugo Royen, Andrew Martin, Membrane distillation pilot plant trials with pharmaceutical residues and energy demand analysis, Chemical Engineering Journal, v. 306, pp. 471 483 (2016). B. G. Mohan, N. T. U. Kumar, M. K. Pokhrel, and A. Martin, Experimental investigation of a novel solar thermal polygeneration plant in United Arab Emirates, Renewable Energy, 91, 361-373 (2016). C. M. Asim, N. T. Uday Kumar, and A. R. Martin, Feasibility analysis of solar combi-system for simultaneous production of pure drinking water via membrane distillation and domestic hot water for single-family villa: pilot plant setup in Dubai, Desalination and Water Treatment, 1-11 (2015). D. E. U. Khan and A. R. Martin, Optimization of hybrid renewable energy polygeneration system with membrane distillation for rural households in Bangladesh, Energy 93, 1116-1127 (2015). E. G. Mohan, U. Kumar, M. K. Pokhrel, and A. Martin, A ovel solar thermal polygeneration system for sustainable production of cooling, clean water and domestic hot water in United Arab Emirates: Dynamic simulation and economic evaluation, Applied Energy, 2 (2015). EU:s ambitioner för sina utvalda innovationsföretag. Efter att Xzero har genomfört det nuvarande programmet (Fas 2) kommer bolaget i Fas 3 att introduceras för andra relevanta EU-program som syftar till affärsmässiga kontakter för marknadsföringen. Syftet med Steg 3 är att bolaget ska växa och expandera snabbt när dess produkter väl är ute på marknaden Vi kommer också att söka utvecklingspengar i samarbete med imec för att med vår teknik kunna återvinna rara jordartsmetaller ur sköljvattnet i nanoelektronikindustrin. I branschen är man rädd för att det ska bli brist på dessa metaller och det väcker också oro att fyndigheterna för flera av dem huvudsakligen är koncentrerade till Afrika och Kina. KTH PROJECTS AND REPORTS 15

FORSKNING Pilotförsök Ursprungliga labförsök Försök med ultraren utrustning Förutom att vara mer effektivt kommer vårt system att minska felmöjligheterna genom att systemet består av färre komponenter. Under 2017 har två nya testprogram påbörjats vid Tekniska Universitetet i Dresden och vid Nokia. Här en bild från Nokia. FORSKNING 16

VARFÖR DET KRÄVS NY TEKNIK Trots att mättekniken (metrologi) ännu inte är tillräckligt utvecklad för att kunna identifiera samtliga möjliga svårigheter med säkerhet, visar praktisk erfarenhet att dagens mest avancerade reningsteknik inte klarar alla föroreningar på ett säkert sätt. Efter förbehandling till kranvattenkvalitet, består tekniken idag av följande komponenter: aktiverad kol, mikro-filtrering, ultra-filtrering, anjonbyte, katjonbyte, mixed bed jonbytare, ozon, avgasning, UV (ultraviolett ljus), RO (omvänd osmos) och EDI (elektroavjonisering). Man har konstaterat att det trots alla avancerade steg är svårt att avlägsna föroreningar som är icke-flyktiga är svåra att oxidera är motståndskraftiga mot ozon har en molekylär vikt mindre än 100 Dalton och inte är joner Dessa typer av föroreningar och då särskilt icke-polära nanopartiklar, kan komma att utgöra ett hot mot produktionssäkerheten i framtida halvledartillverkning. Detta är Xzeros huvudsakliga affärsmöjlighet. Det är också allmänt känt att utökning av tekniken med evaporatorer eller destillering inte hjälper p.g.a. att föroreningar följer med droppar i vattenångan. I Xzeros teknik föreligger inte den risken. Nuvarande system för tillverkning av Ultrarent vatten - Ovivo Single wafer hot water rinse Make-up Water Used Water MD W/N2 Membrane Degassifier MD W/N2 Rinse UF Heat Ex UV 185 nm UP Tank W/N2 Vår teknik blir enklare med färre felkällor Scarab FORSKNING 17

TILLVERKNING AV NANOCHIP 4. Det får inte komma föroreningar någonstans på produkten. 1. Man börjar med en kiselplatta. 5. På kiselplattan sitter nu omkring hundra mikrochip. 2. Allt arbete sker i renrum. 6. Kiselplattan sågas itu till enstaka mikrochip. Ett mikrochip kan idag innehålla miljarder transistorer (elektriska kretsar som fungerar som små strömbrytare). 3. Man lägger på lager på lager av komplicerade strukturer genom att bygga på olika lager med ledande eller halvledande ämnen, 7. Det finns många olika sorters mikrochip för olika ändamål. TILLVERKNING AV NANOCHIP 18

UTAN MIKROCHIP Inga datorer Inget Internet Inga rymdfärder Inget Microsoft Ingen iphone 8. Vanligtvis förpackas chipet i en plastkapsel med anslutningsledningar till själva kretsen. Här syns processorn för en MacBookPro. Så här har kiselplattorna utvecklats under åren. 9. Mikrochipet monteras. 10. Processorn som här syns monterad på ett moderkort är ett mikrochip som bearbetar all information. Här syns utvecklingen under den senaste tiden. 200 mm var gårdagens teknik. 300 är dagens och 450 är morgondagens. ALLT RENARE ULTRARENT VATTEN har varit förutsättningen för : 11. Ett annat mikrochip är minneschipet som lagrar all data. Smarta mobiler Ipads Google Spotify YouTube UTAN RENARE VATTEN blir det svårare att tillverka mer avancerade mikrochip. TILLVERKNING AV NANOCHIP 19

UTVECKLINGEN AV LINJEBREDD I den här illustrationen ser man hur linjebredden har utvecklats från 1970 talet (Intels berömda processor 8008) till idag. 10 nanometer (nm) är tusen gånger mindre än 10 mikrometer (µm). För Xzeros del betyder det att allt större krav ställs på renheten i tillverkningen. Människan är redan på nanonivå Om man jämför med den mänskliga kroppen är avståndet mellan cellmembranen i människans nervsystem mellan 30 50 nm långt. Detta avstånd kallas för synaps och där förmedlas alla signaler i kroppen. Avstånden i nanoelektroniken är alltså redan mindre än i människokroppen. Skillnaden idag är att i kroppen är det i vissa fall elektriska signaler och i andra kemiska. I nanoelektroniken (hittills) endast elektriska. UTVECKLINGEN AV LINJEBREDD Fördelar med allt kompaktare nanokretsar Ju kortare avstånd det är i kretsarna, desto snabbare går beräkningarna mer data kan lagras mindre el går åt mindre kylning behövs mindre material behöver användas (och återvinnas) lägre blir kapitalkostnaden för tillverkning av varje komponent Det är föga förvånande att nanoelektronikföretagen investerar hundratals miljarder för att utveckla tekniken mot allt kompaktare nanokretsar. 20

BEGREPP Namnet Xzero betyder allt till noll. Mikroelektronik 1 nanometer = 0.001 mikrometer = 0.000001 millimeter = 1 miljondel av en millimeter Nanoelektronik håller på att ersätta begreppet mikroelektronik som benämning på de halvledare/integrerade kretsar som elektronikens minnen och processorer består av. En halvledare är en substans, vanligtvis ett fast kemiskt grundämne eller förening, som leder elektricitet under vissa villkor men inte under andra. Denna egenskap hos halvledare gör dem lämpade för ändamålet att styra en elektrisk ström. En halvledares konduktans varierar beroende på strömmen eller spänningen som en kontrollelektrod utsätts för, eller alternativt av intensiteten hos strålningen som kontrollelektroden utsätts för strålningen skulle kunna vara antingen infrarött (IR) ljus, synligt ljus, ultraviolett (UV) ljus eller röntgen-strålning. En integrerad krets, ofta kallad chip eller IC, är en elektronisk krets där komponenterna tillverkas tillsammans, till skillnad från en traditionell krets, där komponenterna är tillverkade var för sig och sedan ansluts till varandra. Den integrerade kretsen består vanligtvis av en tunn platta av kisel, på vilken man fäster tunna trådar av halvledarmaterial. Med denna metod kan man få plats med miljontals elektroniska komponenter, exempelvis kondensatorer och transistorer på en kvadratcentimeter stor yta. En IC kan fungera som förstärkare, tidur, räknare, datorminne eller mikroprocessor. En viss specifik IC kan vara antingen linjär (dvs. analog) eller digital, beroende på applikation. Mikrochip används oftast utbytbart med IC och särskilt när man avser användning som programlogik (d.v.s. logik- eller mikroprocessor-chips) eller för datorminne (minnes- eller RAMchips). Mikrochips tillverkas också för speciella ändamål som t.ex. analog-till-digital omvandling, portar, oscillatorer mm. De mest välkända mikrochip som har funnits är Pentium från Intel. Ett annan välkänd mikrochip är den som kallas för PowerPC och som utvecklades av Apple, Motorola och IBM bl.a. för Macintosh persondatorer samt för vissa arbetsstationer. Minne Det mikrochip som lagrar all data i ett elektroniskt system. Fab Enhet vid halvledartillverkning (kallas i branschen för Fab som är en förkortning av det engelska ordet fabrication ). Ofta byggs en helt ny Fab för varje ny generation av halvledare medan de tidigare fabrikerna fortsätter produktionen av tidigare generationer tills dessa fasats ut. Tillverkning Mycket förenklat kan tillverkningen beskrivas på följande sätt. Den stora företagshemligheten är designen på produkten architecture som visar de elektriska flödena i en processor eller ett minne. Dessa flöden bestämmer funktionen på produkten. Designen förs över från ritningen genom att man bygger flera lager på en tunn väl polerad och rengjord kiselplatta. Därefter läggs en glasskiva bestruken med fotokänsligt material på plattan fotomask. Det skapas en bild på plattan som visar var man ska etsa urgröpningar och var man ska lägga i material. När man etsat och lagt i material polerar planarization - man plattan med ett särskilt instrument och särskilda vätskor varefter man tvättar bort överblivet material med ultrarent vatten. Sedan upprepar man denna process ett stort antal gånger i storleksordningen 100 - fram till dess att man har en uppsättning produkter, ofta flera hundra på varje platta microchips - som har byggts på plattan. Sen skär man ut varje enskild produkt, sätter på kontakter interconnect och kapslar in den packaging. Utbyte Andel godkända produkter i slutgranskningen yield rate är ett viktigt mått i förbättringsaktiviteten. Vanligtvis menar man andelen produkter som godkänns vid slutbesiktning. Kassation Andelen inte godkända produkter. Dessa kasserade produkter har då bearbetats i flera månader i utrustning som kan kosta flera miljarder per lina och varje kasserad produkt utgör ett stort värde. Förlusten blir en direkt minskning av vinsten och företag med hög kassation - lågt utbyte - dukar under i konkurrensen. Mördarpartiklar killer particles. Partiklar som är så små att de skulle kunna orsaka en signifikant negativ inverkan på avkastningen vid tillverkningen av halvledare. En kiselplatta eller våffla utgör grundmaterialet som man tillverkar integrerade kretsar av. Man kan också säga att kretsarna tillverkas på kiselplattan. Mikroprocessorer och digitala minneschip är exempel på integrerade kretsar som tillverkas på kiselplattor. Den färdiga plattan innehåller således ett stort antal halvledar-komponenter, till största delen transistorer och ledningar mellan dem. I slutfasen av tillverkningen skär man upp kiselplattan i bitar som var och en förses med kontakter, kapslas in och därigenom blir en mikrokrets en processor eller ett minne som därefter byggs in i en elektronikprodukt, dator, mobil, eller liknande. Processor Det mikrochip som utför arbetet i ett elektroniskt system. BEGREPP 21

Vattenteknik UPW (Ultra Pure Water ultrarent vatten) Det finns olika grader av renhet. Halvledarindustrin har de högsta kraven. Den enklaste definitionen är vatten som har en resistans på 18,3 Mega Ohm eller en resistans på 0,054 Mikro Siemens. Ju färre joner och partiklar, desto högre motstånd och desto lägre ledningsförmåga. För att tillverka ett minne eller en processor krävs några hundra liter vatten. MD membrandestillation Xzeros grundkomponent i systemet har specifika egenskaper som gör att den kan utvecklas till att avlägsna alla typer av föroreningar. En speciell variant av MD utvecklades från 1973 och patentsöktes 1981 av Scarab Development AB. Grundtekniken har sedan dess anpassats till olika användningar. Den har sedan 1997 utvecklats av Xzero för att passa industriell användning inom mikroelektronikindustrin och är nu huvudkomponent i Xzeros teknik. EDI (Electrodeionization) EDI är det senaste tekniska tillskottet till vattenreningsteknikerna som för närvarande är i bruk vid halvledartillverkning. Den fångar upp joner genom ett membran. RO (Reverse Osmosis omvänd osmos) Denna vattenreningsteknik är grundtekniken i State-of-the-Art UPW-teknik. Den används i samtliga UPW system idag. Den avskiljer även mycket små partiklar. IE (Ion Exchange - jonbytare) Denna vattenreningsteknik var tidigare den dominerande tekniken inom UPW. Den ingår fortfarande som delprocess i samtliga av dagens UPW system. Den avlägsnar utvalda joner. State-of-the-art UPW system Dagens system för halvledarindustrin uppnår de specifikationer som för närvarande finns. Den består av två stegs RO, IE, EDI, ett flertal olika steg med mikrofilter, ultrafilter, aktivt kolfilter, UV-filter allt i en följd av minst tjugo steg. POU (Point of Use) Dagens UPW-system består av stora centralt belägna reningsenheter där vatten renas upp till en ytterst hög renhetsgrad. Detta renade vatten cirkulerar därefter kontinuerligt tills det är dags att använda vattnet i renrum. Vattnet poleras kontinuerligt vid cirkulationen för att behålla/få den slutliga renhetsgraden. I ett POU-system skulle vattnet i stället kunna renas upp till UPW-kvalitet i själva renrummet. Xzeros teknik lämpar sig för detta eftersom den huvudsakligen består av två steg medan den konventionella tekniken använder sig av cirka tjugo steg, vilket helt enkelt inte skulle få plats i ett renrum utan måste härbärgeras separat i ett centralt reningsverk. Se också figuren på sidan 15. Affärsutveckling Integrerare Stora företag som bygger hela fabriker, eller delar av fabriker, på grundval av ett kontrakt med ägaren. Xzero avser att samarbeta med en eller flera integrerare. ITRS (The International Technology Roadmap for Semiconductors www.itrs2.net) är arbetsgrupper för ledande experter från halvledarindustrin. Dessa arbetsgruppers syfte är att utvärdera gemensamma konkurrensneutrala behov av ny teknik, identifiera forskningsbehov och utarbeta specifikationer. G450C står för Global 450 Consortium www.sunycnse.com/ LeadingEdgeResearchandDevelopment/ResearchCentersPrograms/Global450Consortium.aspx och är ett internationellt samarbete för att genomföra nästa stora tekniksprång inom nanoelektroniken. Deltagarna är Intel, IBM, GlobalFoundries, Samsung och Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC). Konsortiet har en budget på närmare 200 miljarder kronor för att utveckla nästa generation av nanoelektroniken. Xzero påbörjade under mars 2015 tester i det programmet för att analysera avskiljning av nanopartiklar. Sematech (Semiconductor Manufacturing Technology) www. sematech.org internationell forskningsorganisation för halvledarindustrin med ursprung i USA. Imec (Interuniversity Microelectronics Centre - www.imec-int. com) är Europas mest betydelsefulla institut för nanoelektronik. Xzero påbörjade samarbete med dem år 2015. SEMI www.semi.org är ett samarbetsorgan för företag tillverkare och underleverantörer inom halvledarbranschen och närliggande industri. KTH (Kungliga Tekniska Högskolan) Royal Institute for Technology (Stockholm, Sweden) är Xzeros huvudpartner för forskning. KTH är det största, äldsta och mest internationella tekniska universitetet i Sverige. Inte mindre än en tredjedel av Sveriges tekniska forskning och ingenjörsutbildning på högskolenivå anordnas av KTH. (www.kth.se) ZLD (Zero Liquid Discharge) Inget avfallsvatten lämnar fabriken vid bruk av ZLD teknik. Allt vatten återanvänds. Endast en fast restmassa lämnar fabriken. Även denna fasta restmassa skulle kunna återanvändas. Xzero arbetar med att utforma ett koncept för detta. BEGREPP 22

BOLAGET EU har utnämnt Xzero AB till ett av Europas ledande innovationsföretag.

BOLAGET Affärsidé Nanoelektroniken är den mest progressiva industrigrenen idag. Den utvecklas i en rasande fart. Tillverkningen ställer allt högre krav på rent vatten, ren luft och rena material. Xzero har en nu erkänt världs ledande teknik inom vattenrening för nanoelektroniken. Xzeros affärsidé är att i sam arbete med etablerade leverantörer sälja utrustning till nanoelektronikindustrin för tillverkning av ultrarent vatten. Unikt säljargument Nanopartiklar i processvattnet be faras kunna ge produktionsbortfall på flera hundra miljoner kronor per år i framtidens fabriker för nanoelektronik. Xzero tar bort nanopartiklarna. Detta innebär en direkt påtaglig och betydande ökning av vinsten för kunden. Teknik Kärnkomponenten i Xzeros produktlösning är kassetter som släpper igenom enskilda vattenmolekyler i ångfas men inte vatten och inte heller de föroreningar som finns i vattnet. Det vatten som ska renas värms upp och cirkulerar förbi ett membran. På andra sidan av membranet finns en kall yta. Skillnaden i ångtryck mellan den varma och kalla sidan tvingar ångmolekylerna genom membranet medan vatten som inte är i ångfas stoppas av membranet. Alla icke-flyktiga föroreningar hålls tillbaka av vattnets ytspänning. Samtliga flyktiga föroreningar avlägsnas genom avgasning. Ångmolekylerna kondenserar på den kalla sidan och bildar vatten som är helt fritt från föroreningar. Processen sker vid normalt tryck och vid temperaturer under 100 C. Xzeros system kan leverera vatten av högre reningsgrad återvinna mer än 90 % av processvattnet reducera den totala energiförbrukningen reducera kapitalkostnaderna Lönsamhet Kostnaden för processvattnet inom nanoelektronikindustrin ökar stadigt allteftersom att renhetskraven höjs. För tjugo år sedan 10 kronor per kubikmeter, för tio år sedan 20 kronor per kubikmeter, idag mer än 50 kronor per kubikmeter vilket är flera gånger mer än något annat industrivatten. Inför nästa generation produkter kan man förutspå ytterligare en fördubbling. Detta ger ett bra utrymme för marginaler för Xzero. Marknad En genomsnittlig framtida fabrik kommer att behöva minst 7 miljoner liter ultrarent vatten per dygn. Allteftersom de existerande tillverkningsenheterna byts ut mot nya fabriker kommer hundratals fabriker att byggas. Varje fabrik kommer att behöva ett vattenreningssystem som kommer att kosta uppskattningsvis en halv miljard kronor. Leveranser från Xzero kan komma att utgöra hälften, det vill säga uppskattningsvis en kvarts miljard kronor. Även om konjunkturnedgångar drabbar nanoelektronikindustrin i lika hög grad som andra industrier är den långsiktiga trenden stabil eftersom nanoelektronik är grunden för all modern industri och dessutom återfinns i många produkter. Samarbetspartners Eftersom tekniken är komplicerad, insatserna stora och kostnaderna för investeringar stora kommer Xzero att samarbeta med etablerade aktörer inom nanoelektroniken. Vi har därför etablerat goda kontakter med såväl ledande tillverkare av nanoelektronik som ledande leverantörer av tillverkningsutrustning för nanoelektronikindustrin. Konkurrens Xzeros affärsstrategi är att ersätta etablerad teknik allteftersom denna visar sig inte klara av nya krav på renhet. Vi förutser därför ingen konkurrens från existerande teknik. Däremot kommer gamla eller nya aktörer att försöka konkurrera med snarlik teknik så snart Xzero kommer ut på marknaden. Xzeros strategi är att skydda sin ledande marknadsposition genom att upprätthålla försprånget i teknikutvecklingen och att skydda sin teknik med patent. Länk till en beskrivning av en halvledarfabrik finns på Xzeros hemsida. Uppskattad vattenanvändning i en typisk nanoelektronikfabrik Total vattenanvändning: 1 500 000 liter per timme Användning per tillverkad kiselplatta: 8 800 liter Vid varje sköljning används: cirka 50 liter För tillverkning av en processor eller ett minne går det alltså åt några hundra liter vatten Källa: Imec Miriam Åslin från Xzero och Jan Coenen från imec testar fullskaleutrustning hos Imec BOLAGET 24

VÄRDET AV VATTNETS RENHET SAMMANFATTNING Halvledare består av integrerade krestas och utgör intelligensen och minnet hos nästan samtliga dagens produkter konsumentprodukter såväl som industriprodukter. Stora mängder vatten förbrukas vid tillverkningen av halvledare. Detta vatten måste vara ytterst rent. Nästa generation av halvledare kommer att kräva ännu renare vatten. De faktorer som är drivande krafter inom denna utveckling är marknaderna för konsumentelektronik, kommunikationsteknik och stordata. Vinsterna för tillverkare kommer att vara ökningen av andelen godkända produkter. Detta kommer alla fabriker att behöva göra för att behålla sin lönsamhet. Varje procents ökning av godkända produkter kommer att öka en fabriks lönsamhet med cirka en procent. Det kan innebära motsvarande 4 miljarder SEK för en enda fabrik. NANOELEKTRONIKINDUSTRIN Halvledarindustrin producerar integrerade kretsar. En integrerad krets består av en stor mängd transistorer. En transistor kan liknas vid en mycket liten strömbrytare vars enda funktion är att vara av eller på. Därmed ger den en signal noll eller ett. Hela elektronikens språk består av nollor och ettor. De integrerade kretsarna byggs ihop till olika komponenter i elektronikindustrin varav de viktigaste kategorierna är processorer och minnen. Varje integrerad krets kan bestå av miljarder transistorer. Trots sin komplicerade konstruktion och funktion kan en integrerad krets vara mindre än en tumnagel. Dessa små komponenter är vad som möjliggör och definierar dagens samhälle industrier, krigföring och underhållning. Nanoelektronikindustrin kan uppskattas ha årliga försäljningsintäkter på över 4000 miljarder SEK. Intäkterna har vuxit med drygt 13 procent per år under de senaste tjugo åren. I enlighet med Moores Lag, har antalet transistorer som får plats på en krets fördubblats vartannat år. Det är denna exponentiella utveckling som förklarar de mirakulösa möjligheterna i t.ex. en modern smart mobil. Varje steg i nanoelektronikens tekniska utveckling har möjliggjort stora innovationer. Vad vi märker till vardags är ett ökat utbud av konsumentprodukter, i varje bil, i varje flygplan i all produktionsutrustning finns de nya kretsarna. Varje steg i utvecklingen ställde också industrin inför stora tekniska utmaningar. Existerande tekniker förbättrades, nya tekniker utprovades och vissa utvecklades. Kretstillverkare som Intel och Samsung har egna fabriker samtidigt som de också använder sig av kontrakttillverkning hos andra fabriker. Det finns också företag som koncentrerar sig på att utveckla nya processorer och minnen och lägger ut tillverkningen på kontraktstillverkare. Två av de stora kontraktstillverkarna är TSMC (Taiwan Semiconductor Manufacturing Company) och Globalfoundries. VÄRDET AV VATTNETS RENHET Intel är den klart ledande halvledartillverkaren i världen, men Samsung ligger inte långt efter. Xzero har redan etablerat kontakter med två av de ledande tillverkarna i industrin samt också med de två viktigaste gemensamma forskningsorganisationerna: Sematech och imec. MARKNADEN FÖR NANOELEKTRONIK Moores lag innebär att beräkningskraften fördubblas ungefär var 18:e månad samtidigt som priserna minskas till hälften under samma period. Denna lag har hållit i nästan 50 år. Tänk smart mobil istället för datorsal, plattskärm istället för bildrör, ladda ner istället för postpaket och drone istället för hangarfartyg. Grunden för dessa framsteg är miniatyriseringen av de integrerade kretsarna. Kommer detta att fortsätta? Miniatyriseringen närmar sig fundamentala atomiska gränser. Avståndet mellan de elektriskt ledande spåren i kretsarna den så kallade linjebredden ligger nu på cirka 30 nanometer och rör sig mot 10 nanometer. Det betyder en linjebredd som är 20 000 gånger mindre än diametern på ett genomsnittligt mänskligt hårstrå. Snart kommer linjebredden att motsvara en 25 000-del av ett hårstrå. Sedan kommer den att mätas i antal atombredder. Det här går att tillverka, men inte begripa... lika litet som att människokroppen innehåller flera hundra miljoner miljarder bakterier. Vi är i samma nanovärld. Vi kan hantera nanokretsar och bakterier, men inte begripa dem. Förutom att utvecklingen rör sig mot mindre och mindre linjebredder, kommer nästa generation av halvledare att också göras mer komplexa. Tredimensionella kretsar designas för att utföra simultana uppgifter i syfte att ytterligare utöka beräkningshastighet och minneskapacitet. Redan nu testas nya generationer av designarkitektur, litografi och processutrustningar i de mest avancerade laboratorierna hos de ledande tillverkarna och i forskningsinstituten. Klarar man riskerna i de nya teknikerna kommer det att skapa stora vinster för deltagande företag. Xzero har positionerat sig för att vara en del av detta skifte genom att företaget har utvecklat utrustning som kan avlägsna även minsta förorening från det processvatten som används vid tillverkning av integrerade kretsar. Denna utrustning kommer att visa sig vara alldeles oundgänglig för nästa steg i miniatyriseringsprocessen när det gäller att förebygga kortslutningar i den nya generationen kretsar nanokretsar. De civila landvinningarna inom nanoelektroniken finansierades ursprungligen av de stora militära budgetarna under det kalla kriget. Det mest sannolika är att även den nanoelektroniska forskningen huvudsakligen kommer att finansieras av militära bidrag till sådana områden som kommunikationer, övervakning, satelliter, laser, GPS, drönare och antidrönartekniker. Tidigare har USA varit den ledande finansiären, men man kan förutspå att Ryssland och Kina och kanske en del andra ambitiösa ekonomier, som Indien, Iran, Israel, Emiraten och varför inte 25

även Saudiarabien, Sydafrika, Indonesien och Brasilien kommer att satsa stort framöver. Det är inte bara frågan om militära produkter. Precis som tidigare kommer de militära tillämpningarna att följas av lönsamma användningar inom administrativa och tillverkningsindustriella processer och civila användningsområden som underhållning, sjukvård, transporter och kultur. RENHETSKRAV Många industrier använder ultrarent vatten. Matarvattnet till kraftverk måste vara mycket rent. Vattnet som används vid läkemedelstillverkning och för att tillverka injektionslösningar måste vara ännu renare. De allra högsta kraven ställs emellertid på det vatten som används vid tillverkning av nanoelektronik. De kretsar som bygger upp processorer och minnen framställs genom att lager på lager av olika material byggs upp på en kiselplatta. Överflödigt material måste sköljas bort mellan vart och ett av de många stegen i tillverkningen. Sköljvattnet måste vara ytterst rent, så att inga partiklar blir kvar på ytan för att sedan när man lägger nästa lager bli inbäddad i komponenten där den skulle kunna orsaka kortslutning eller något annat funktionsfel. En enda förorening vars storlek överstiger den aktuella linjebredden skulle kunna orsaka en kortslutning. Flera mindre partiklar skulle tillsammans kunna vara lika skadliga. Xzeros teknik avlägsnar samtliga dessa storlekar. Vattenreningssystemen svarar för mindre än 5 % av den totala kapitalkostnaden för en halvledarfabrik. Renare vatten minskar kassationsfrekvensen. Minskad kassation kan betyda miljardbelopp för ett företag. Den extra kostnaden för att förbättra vattenreningen för att minska kassationen kostar tiotals miljoner. Därför har man genomfört ständiga förbättringar. Xzeros system kommer att vara nästa förbättring. Den kommer dessutom att vara en besparing. Man kan minska kassationen och rädda miljardbelopp samtidigt som man installerar ett system som kostar mindre än de tidigare. Investeringen blir inte bara nödvändig utan även lönsam. En framtida fabrik kommer att förbruka cirka 60 miljoner liter ultrarent vatten om året. Kostnaderna för vattenreningsutrustning förväntas också att öka dramatiskt i framtida fabriker från dagens ungefär 130 miljoner SEK för en fabrik av normal storlek till ungefär 1 miljard SEK för större fabriker. Nanoelektronikföretagen samarbetar i olika organisationer för att förbättra gemensam teknik som renrumsutrustning, luftrening och vattenrening, exempelvis: Taiwan Semiconductor Industry Association (TSIA), www.tsia.org.tw Hur man ska öka utbytet generellt diskuteras ingående i dessa organisationer. Det exakta utbytet av godkända produkter i varje enskilt företag är emellertid väl skyddade hemligheter inom industrin. Offentliga siffror från utbytet i de enskilda företagen är ofta cirka tio år gamla men dessa pekar på att företag med dåligt utbyte har gått i konkurs eller blivit uppköpta. Defekter kan enligt historiska analyser bero på tre faktorer, 2 % från defekter i material, inklusive kiselplattan själv, 8 % från fel i processer och ritprogram, särskilt i litografiprocessen och då speciellt defekter i fotomasker. 90 % av defekterna beror på förorening från oönskade ämnen som byggs in i produkten under tillverkningen. Föroreningar kan komma ifrån partiklar i luften, från människans närvaro, från utrustning och från processens gång. För att undvika förorening används sköljvatten efter var och en av tillverkningsstegen för närvarande över 100 steg sammanlagt. Detta vatten får naturligtvis inte tillföra ämnen som kan orsaka defekter. Kraven på utbyte har ökat i takt med att produkterna har blivit allt mer avancerade och därmed komplicerade och dyra i tillverkning. Tidigare kunde 66 procent godkända produkter betraktas som ett godtagbart utbyte. Nu anses ett utbyte på mindre än 90 procent som helt oacceptabelt. FÖRBÄTTRAD AVKASTNING ÖKAR LÖNSAMHETEN Att förbättra avkastningens nivå avseende kiselplattor och halvledarenheter utgör det främsta målet hos samtliga chiptillverkare. Att förbättra avkastningens nivå kommer att öka effektiviteten i verksamheten och därmed lönsamheten. Christopher Eric Brannon, Texas Instruments, Inc., Dallas, TX (Ur Automatic wafer inspection systems replaces eyeballs with cameras, Solid State Technology, Volume 56, Issue 2, February, 2013.) VÄXANDE MARKNAD Halvledarindustrin hade den högsta tillväxten på 14 år under 2017. De globala intäkterna ökade med 21,7 procent och uppgick till 429,1 miljarder dollar, enligt to IHS Markit (Nasdaq: INFO) Sematech, public.sematech.org imec, www.imec-int.com The International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRI), www.itrs.net Semiconductor Industry Association (SIA), www. semiconductors.org Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), www.semi.org The European Semiconductor Industry Association (ESIA), www.eeca.eu Japan Electronics and Information Technology Industry Association (JEITA), www.jeita.or.jp Korea Semiconductor Industry Association (KSIA), www.ksia.or.kr VÄRDET AV VATTNETS RENHET 26

AKTIEFÖRDELNING Före emission Antal A-aktier Antal B-aktier Totalt antal aktier Antal röster Ägarandel, % Röstandel, % Aapo Sääsk 600 000 231 700 831 700 6 231 700 8,67% 41,72% Scarab 810 970 810 970 810 970 8,45% 5,43% Satel bv 1 500 000 1 500 000 1 500 000 15,63% 10,04% Vinay Chand 901 500 901 500 901 500 9,39% 6,03% Gunilla Beckman 1 000 000 1 000 000 1 000 000 10,42% 6,69% Rickard Andersson 825 815 825 815 825 815 8,60% 5,53% Louise Andersson 825 815 825 815 825 815 8,60% 5,53% Övriga 2 902 400 2 902 400 2 902 400 30,24% 19,43% Totalt 600 000 8 998 200 9 598 200 14 938 244 100,00% 100,40% Efter emission Antal A-aktier Antal B-aktier Totalt antal aktier Antal röster Ägarandel, % Röstandel, % Aapo Sääsk 600 000 231 700 831 700 6 231 700 8,88% 41,00% Scarab 810 970 810 970 810 970 8,66% 5,34% Satel bv 1 500 000 1 500 000 1 500 000 16,01% 9,87% Vinay Chand 901 500 901 500 901 500 9,62% 5,93% Gunilla Beckman 1 000 000 1 000 000 1 000 000 10,67% 6,58% Rickard Andersson 825 815 825 815 825 815 8,82% 5,43% Louise Andersson 825 815 825 815 825 815 8,82% 5,43% Övriga 3 102 400 2 671 980 3 102 400 28,52% 20,41% Totalt 600 000 9 198 200 9 367 780 15 198 200 100,00% 100,00% Bolaget Organisation och struktur Xzero drivs av den juridiska personen Xzero AB (publ) med organisationsnummer 556536-9419. Bolaget har sitt säte i Stockholm. Bolaget har för närvarande fyra anställda: VD, projektledare, administratör och tekniker. För forskning och utveckling finns ett avtal med Scarab Development AB och ett nära samarbete med KTH och det europeiska nanoelektronikinstitutet imec. Xzero har dessutom blivit utvalt som ledande innovationsföretag av EU Horizon 2020.. För tillverkning och konstruktion anlitar bolaget underleverantörer. Tvister och rättsliga processer Xzero är varken part i rättegång eller skiljeförfarande eller informerat om krav som kan antas få negativa ekonomiska konsekvenser för Xzero. Licensavtal Xzero har en licens från Scarab Development AB för tillverkning av utrustning för produktion av ultrarent vatten till nanoelektronikindustrin. Xzeros licens är exklusiv även mot licensgivaren. Bolaget är inte beroende av andra licenser och har inga begränsande samarbetsavtal. All ny teknik som utvecklas av Xzero ägs av Xzero. AKTIEFÖRDELNING 27

FINSANSIELL ÖVERSIKT ÅRSREDOVISNINGAR Förvaltningsberättelse Under perioden har Xzero arbetat att ta bolagets utrustning från lyckade lab- och prototypförsök till kommersiell utrustning. På våren 2018 valdes bolaget till ett av Europas ledande innovationsföretag och tilldelades ett bidrag på 1.2 M som är öronmärkta för att ta bolagets första produkt Last Rinse - genom industrialiseringsfasen, sättas i tillverkning och lanseras på marknaden under perioden 2018 2020. Bolaget har färdiga specifikationer för Last Rinse och kommer att leverera de första proverna till MyFab (KTH) i Kista och imec (Leuven, Belgien) under hösten 2018. Efter tester i samarbete med dessa externa parter skall tillverkning påbörjas Under perioden har även ritningar för tillverkning framställts och underleverantörer för tillverkning identifierats. Bolaget räknar med att göra sammansättning och produktkontroll egen regi. RESULTATRÄKNING Delårsrapport 2017-05-01 2017-12-31 Not (Gäller ej Delårsrapport) 2016-05-01 2017-04--30 2015-05-01 2016-04-30 2014-05-01 2015-04-30 Rörelsens intäkter m.m. Nettoomsättning 739821 2 405 900 685 460 327 695 Övriga rörelseintäkter 0 918 500 000 9 828 Rörelsens kostnader 739 821 406 818 1 185 460 337 523 Råvaror och förnödenheter -551 415-536 336-422 977-501 345 Övriga externa kostnader -4 068 485-3 279 336-5 526 094-3 585 898 Personalkostnader 976769 3-1 888 432-1 698 881-1 251 625 Av- och nedskrivningar av materiella och immateriella anläggningstillgångar 0-14 072-505 812-499 940-5 596 669-5 718 176-8 153 764-5 838 808 Rörelseresultat -4 856 848-5 311 358-6 968 304-5 501 285 Resultat från finansiella poster Övriga ränteintäkter och liknande resultatposter 55 521 49 913 82 286 1 426 Räntekostnader och liknande resultatposter -21 978-16 453-54 676-23 116 33 543 33 460 27 610-21 690 Resultat efter finansiella poster -4 823 305-5 277 898-6 940 694-5 522 975 Årets resultat -4 823 305-5 277 898-6 940 694-5 522 975 FINSANSIELL ÖVERSIKT 28

BALANSRÄKNING TILLGÅNGAR Anläggningstillgångar Immateriella anläggningstillgångar Delårsrapport 2017-05-01 2017-12-31 Not 2017-04-30 2016-04-30 2015-04-30 Balanserade utgifter för forskningsarbeten m.m. 4 0 0 464 560 Koncessioner, patent, licenser, varumärken samt liknande rättigheter 5 0 0 0 Materiella anläggningstillgångar 0 0 464 560 Maskiner och andra tekniska anläggningar 57916 6 18 216 24 288 27 580 Inventarier, verktyg och installationer 7800 7 7 800 15 800 23 400 65 716 26 016 40 088 50 980 Summa anläggningstillgångar 65 716 26 016 40 088 515 540 Omsättningstillgångar Kortfristiga fordringar Kundfordringar 770 645 50 291 435 888 67 500 Aktuell skattefordran 84 607 48 983 48 983 48 983 Övriga fordringar 1 806 960 178 804 1 841 337 319919 Förutbetalda kostnader och upplupna intäkter 133 309 25 959 405 532 11 693 2 795 521 304 037 2 731 740 448 095 Kassa och bank Kassa och bank 1 703 166 1 088 467 1 463 800 258 808 Summa kassa och bank 1 703 166 1 088 467 1 463 800 258 808 Summa omsättningstillgångar 4 498 687 1 392 504 4 195 540 706 903 SUMMA TILLGÅNGAR 4 564 403 1 418 520 4 235 628 1 222 443 EGET KAPITAL OCH SKULDER Eget kapital 9 Bundet eget kapital Aktiekapital (9 454 850 aktier) 959820 10 945 485 945 485 927 758 945 485 945 485 927 758 Fritt eget kapital Överkursfond 30 443 110 23 289 945 23 289 945 15 330 522 Balanserat resultat -33 355 468-28 077 570-21 136 876-15 613 901 Arets resultat -4 823 305-5 277 898-6 940 694-5 522 975-10 065 523-4 787 625-5 806 354 Summa eget kapital -6 775 843-9 120 038-3 842 140-4 878 596 Kortfristiga skulder Leverantörsskulder 6 378 677 5 999 702 6 102 960 4 664 845 Övriga skulder 4 704 355 4 144 108 1 702 956 1 174 319 Upplupna kostnader och förutbetalda intäkter 257 214 394 748 271 852 261 875 Summa kortfristiga skulder 11 340 246 10 538 558 8 077 768 6 101 039 SUMMA EGET KAPITAL OCH SKULDER 4 564 403 1 418 520 4 235 628 1 222 443 POSTER INOM LINJEN Ställda säkerheter Inga Inga Ansvarsförbindelser Inga Inga FINSANSIELL ÖVERSIKT 29

NOTER Not 1 Redovisningsprinciper Årsredovisningen är upprättad i enlighet med årsredovisningslagen och BFNAR 2012:1 Årsredovisning och koncernredovisning. Principerna är oförändrade jämfört med föregående år. Fordringar Fordringar har upptagits till de belopp varmed de beräknas inflyta. Övriga tillgångar, avsättningar och skulder Övriga tillgångar, avsättningar och skulder har värderats till anskaffningsvärden om inget annat anges nedan. Intäktsredovisning Inkomsten redovisas till det verkliga värdet av vad som erhållits eller kommer att erhållas. Företaget redovisar därför inkomsten till nominellt värde (fakturabelopp) om ersättningen erhålls i likvida medel direkt vid leverans. Avdrag görs för lämnade rabatter. Pågående tjänsteuppdrag Uppdrag på löpande räkning Tjänsteuppdrag på löpande räkning redovisas som intäkt i takt med att arbetet utförs och material levereras eller förbrukas. Materiella anläggningstillgångar Materiella anläggningstillgångar redovisas till anskaffningsvärde med avdrag för ackumulerade avskrivningar och eventuella nedskrivningar, Tillgångarna skrivs av linjärt över tillgångarnas bedömda nyttjandeperiod förutom mark som inte skrivs av, Nyttjandepcrioden omprövas per varje balansdag. Följande nyttjandeperioder tillämpas: Antal år Maskiner och andra tekniska anläggningar 5 Inventarier, verktyg och maskiner 5 Immateriella anläggningstillgångar Immateriella anläggningstillgångar redovisas till anskaffningsvärde med avdrag för ackumulerade avskrivningar och eventuella nedskrivningar. Tillgångarna skrivs av linjärt över tillgångarnas bedömda nyttjandeperiod. Nyttjandeperioden omprövas per varje balansdag. Pågående projekt skrivs inte av utan nedskrivningsprövas årligen. Följande nyttjandeperioder tillämpas: Antal år Balanserade utgifter för forsknings- och utvecklingsarbeten och liknande arbeten 5 Balanserade utvecklingsutgifter, utgifter för forskningsfaseni projektet att utveckla ett nytt vattenreningssystem för halvledarindustrii uppkomna efter räkenskapsåret 2011/2012 kostnadsförs i den period de uppkommer. Inkomstskatt Aktuell skatt är inkomstskatt för innevarande räkenskapsårs som aavser årets skattepliktiga resultat och den del av tidigare inkomstskatt som ännu inte har redovisats. Aktuell skatt värderas till det sannolika beloppet enligt de skattesatser och skatteregler som gäller på balansdagen. UPPLYSNINGAR TILL ENSKILDA POSTER Not 2 nköp och försäljning till närstående bolag 2016/2017 2015/2016 Andel av försäljningen som avsernärstående företag Andel av inköpen som avser koncernföretag 332 897 575 595 Spec andel försäljning till närstående företag: HVR WaterPurification 18.800 kronor (0 kronor) Scarab AB 314.097 kronor (576.595 kronor) 2 555 333 3 133 951 Spec andel av inköpen som avser närstående företag: HVR Water Purification 0 kronor (349.351 kronor) Scarab AB 2.400.000 kronor (2.400.000 kronor) Vinay Chand 155.333 kronor (384.600 kronor) Andel av inköpen som avser närstående företag HVR 349.351 kronor (0 kronor) Scarab AB 2.400.000 kronor (2.400.000 kronor) Vinay Chand 384.600 kronor (154.537 kronor) FINSANSIELL ÖVERSIKT 30

Not 3 Medeltal anställda 2016/2017 2015/2016 Medelantalet anställda bygger på av bolaget betalda närvarotimmar relaterade till en normal arbetstid. Medelantal anställda har varit 2,2 2,25 Not 4 Balanserade utgifter för utvecklingsarbeten och liknande arbeten. 2017-04-30 2016-04-30 Försäljningar/utrangeringar 2 322 800 2 322 800 Utgående ackumulerade anskaffningsvärden 2 322 800 2 322 800 Ingående avskrivningar -2 322 800-1 858 240 Årets avskrivningar 0-464 560 Utgående ackumulerade avskrivningar -2 322 800-2 322 800 Utgående redovisat värde 0 0 Not 5 Koncessioner, patent, licenser, varumärken m.m. 2017-04-30 2016-04-30 Ingående anskaffningsvärde 800 000 800 000 Utgående ackumulerade anskaffningsvärden 800 000 800 000 Ingående avskrivningar -800 000-800 000 Utgående ackumulerade avskrivningar -800 000-800 000 Utgående redovisat värde 0 0 Not 6 Maskiner och andra tekniska anläggningar 2017-04-30 2016-04-30 Ingående anskaffningsvärde 3 768 699 3 738 339 Inköp 0 30 360 Utgående ackumulerade anskaffningsvärden 3 768 699 3 768 699 Ingående avskrivningar -3 744 411-3 710 759 Arets avskrivningar -6 072-33 652 Utgående redovisat värde 18 216 24 288 Not 7 Inventarier, verktyg och installationer 2017-04-30 2015-04-30 Ingående anskaffningsvärde 39 000 39 000 Utgående ackumulerade anskaffningsvärden 39 000 39 000 Årets avskrivningar -8 000-7 800 Utgående ackumulerade avskrivningar -31200 15 finn Utgående redovisat värde 7 800 23 400 Not 8 Not 10 Upplysningar om aktiekapital Antal aktier under året 9.454.850 st med ett kvotvärde på 0,1 kr/aktie. Fördelat på 600.000 A-aktier och 8.854.850 B-aktier. Definition av nyckeltal Soliditet Justerat eget kapital i procent av balansomslutning Avkastning på eget kapital Resultat efter finansiella poster i procent av genomsnittligt justerat eget kapital Avkastning på totalt kapital Rörelseresultat med tillägg för finansiella intäkter, i procent av genomsnittlig balansomslutning Kassalikviditet Omsättningstillgångar exkl. varulager i procent av kortfristiga skulder Stockholm Aapo Sääsk Henrik Unné Håkan Klingén Vinay Chand Verkställande direktör FINSANSIELL ÖVERSIKT 31

RISKFAKTORER Marknadsrisker Konjunkturutveckling Försämrad tillväxt i den globala ekonomin och/eller på lokala marknader kan ha en negativ påverkan på nanoelektronikindustrin. Detta påverkar i sin tur Xzeros framtida försäljning, då denna är beroende av fortsatta investeringar inom nanoelektronikindustrin. Långsiktigt kommer dock utvecklingen av nanoelektronikindustrin att vara starkare än de flesta andra industrier. Konkurrens Nanoelektronikindustrin karaktäriseras av snabb teknisk utveckling, vilket innebär att konkurrerande aktörer, produktlösningar och priser på kort tid kan förändras. Utöver detta är existerande aktörers reaktion på Xzeros etablering svårbedömd. Av den anledningen är det av stor vikt att Xzero utvecklar goda kundrelationer och även i framtiden erbjuder en konkurrenskraftig produkt till nanoelektronikindustrin. Affärsrisker Beroende av nyckelpersonal Xzero är beroende av ett fåtal nyckelpersoner som styr strategiarbetet samt den övergripande utvecklingen av Bolaget och dess produkt. Xzero påverkas därför av Bolagets förmåga att behålla och motivera dessa personer. Skulle en eller flera nyckelpersoner lämna Bolaget kan det komma att få betydelse för Xzeros verksamhet, finansiella ställning och/eller resultat. I dagens läge är grundaren kvar i bolaget och dess nuvarande VD har varit med i Bolaget sedan det startades år 1997. I och med finansieringen från EU i Horizon 2020 Phaze 2 kommer Xzero att nyanställa personal och i Phaze 3 utveckla företagets administration och kontaktnät för att öka stabilitet och garantera långsiktighet. Avtalsrelationer Befintliga och eventuella avtal mellan Xzero och dess leverantörer och framtida kunder utarbetas av Bolagets advokat. Det finns dock risker i att avtalets innehåll ej efterföljs av motparten. Handläggningen av dessa ärenden kan vara kostsam och tidskrävande. Enskilda fall kommer att bedömas separat. Risker finns att kundförluster kan uppkomma på grund av att avtal ej efterföljs och att Bolaget inte har resurser att genomdriva andra parters avtalsförpliktelser. I Xzeros strategi ingår det att vara underleverantör till större vattenutrustningsleverantörer som kan beivra eventuella kontraktsbrott bättre än vad Xzero kan göra själva. Finansiella risker Valutarisk Då Xzero bearbetar kunder med global närvaro inom skilda valutaområden uppstår det valutarisker. Vid händelse av stora ordrar avser Bolaget att vidta åtgärder för att reducera risken för valutaförluster genom arbitrage och andra medel. Likviditetsrisk Med likviditetsrisk avses risken att Xzero på grund av brist på likvida medel inte kan fullfölja sina ekonomiska åtaganden eller har minskad förmåga att uppnå affärskritiska volymer. För att komplettera finansieringsresurser från existerande aktieägare kommer Xzero att upprätthålla kontakter med intresserade institutionella finansiärer. Och framförallt fördjupa samarbetet med finansiella institutioner inom EU inom ramen för samarbetsavtalen i Horizon 2020. Finansieringsrisk Finansieringsrisk definieras som risken för att finansieringen av verksamheten är kostsam och/eller svår att erhålla. Om Bolagets utveckling avviker från den planerade kan det inte uteslutas att det i framtiden uppstår en situation där Bolaget måste anskaffa nytt kapital. Sådan ytterligare extern finansiering kan komma att ske i en omfattning och till en värderingsnivå som inte är fördelaktig för befintliga aktieägare. I och med samarbetet inom Horizon 2020 har dock dessa risker minskat betydligt. Xzeros memorandum har inte granskats eller godkänts av Finansinspektionen eftersom det belopp som sammanlagt ska betalas av investerarna under en tid av tolv månader inte överstiger 2,5 miljoner euro. För memorandumet gäller svensk rätt och eventuell tvist ska avgöras av svensk domstol exklusivt. RISKFAKTORER 32

BOLAGSORDNING 6 Firma Bolagets firma är Xzero AB (publ). 7 Styrelsens säte Bolagets styrelse skall ha sitt säte i Stockholms kommun, Stockholms län. 8 Verksamhet Bolaget skall bedriva utvecklings-, tillverknings- och försäljningsarbete avseende vattenreningsutrustning samt därmed förenlig verksamhet. 9 Aktiekapital Bolagets aktiekapital skall utgöra lägst 500 000 kronor och högst 2 000 000 kronor. 10 Aktie och företrädesrätt Antal aktier skall utgöra lägst 5 000 000 st och högst 20 000 000 st. Aktie kan utges i två serier, serie A och serie B. Aktie av serie A ger tio röster och aktie i serie B en röst. Av serie A må högst 600 000 aktier finnas och av serie B må högst 19 400 000 st finnas. Beslutar bolaget att genom kontantemission eller kvittningsemission emittera aktier, teckningsoptioner eller konvertibler ska alla aktieägare ha företrädesrätt att teckna nya aktier, teckningsoptioner eller konvertibler i förhållande till den andel av aktiekapitalet som deras aktier utgör, oberoende av aktieslag (lika företrädesrätt). Vad som ovan sagts skall inte innebära någon inskränkning i möjligheten att fatta beslut om kontantemission med avvikelse från aktieägarnas företrädesrätt. Vid ökning av aktiekapital genom fondemission skall nya aktier emitteras av varje aktieslag i förhållande till det antal aktier av samma slag som finns sedan tidigare. Därvid skall gamla aktier i visst aktieslag medföra rätt till nya aktier av samma aktieslag. Vad nu sagts skall inte innebära någon inskränkning i möjligheten att genom fondemission, efter erforderlig ändring av bolagsordningen, ge ut aktier av nytt slag. 11 Styrelse Styrelsen skall bestå av lägst tre och högst sex ledamöter med högst tre suppleanter. Ledamöterna och suppleanterna väljs årligen på ordinarie årsstämma för tiden intill slutet av nästa ordinarie årsstämma. 12 Revisorer För granskning av bolagets årsredovisning jämte räkenskaperna samt styrelsens och verkställande direktörens förvaltning utses på årsstämman en revisor med eller utan suppleant. 13 Räkenskapsår Bolagets räkenskapsår skall vara 1/5 30/4. 14 Kallelse Kallelse till årsstämma skall ske genom kungörelse genom brev med post eller e-post till aktieägarna samt annonsering i Post- och Inrikes Tidningar. Kallelse till ordinarie årsstämma samt kallelse till extra årsstämma där fråga om ändring av bolagsordningen kommer att behandlas skall utfärdas tidigast sex veckor och senast fyra veckor före stämman. Kallelse till annan extra årsstämma skall utfärdas tidigast sex veckor och senast två veckor före stämman. För att få deltaga i årsstämman skall aktieägare anmäla sig hos bolaget senast kl. 16.00 den dag som anges i kallelsen till stämman. Denna dag får inte vara söndag, annan allmän helgdag, lördag, midsommarafton, julafton eller nyårsafton och infalla tidigare än femte dagen före årsstämman. 15 Årsstämma Ordinarie årsstämma hålles årligen inom sex månader efter räkenskapsårets utgång. På ordinarie årsstämma skall följande ärenden förekomma till behandling: 1. Val av ordförande vid stämman. 2. Framläggande och godkännande av dagordning som framgår av kallelsen. 3. Val av en eller två justeringsmän. 4. Upprättande och godkännande av röstlängd. 5. Prövning av om stämman blivit behörigen sammankallad. 6. Framläggande av årsredovisning och revisionsberättelse, i förekommande fall av koncernredovisning och koncernrevisionsberättelse. 7. Beslut a) om fastställelse av resultaträkning och balansräkning samt i förekommande fall av koncernresultaträkning och koncernbalansräkning, b) om dispositioner beträffande bolagets vinst eller förlust enligt den fastställda balansräkningen, c) om ansvarsfrihet åt styrelseledamöter och verkställande direktör. 8. Fastställande av arvoden åt styrelse och revisor. 9. Fastställande av antal styrelseledamöter och suppleanter samt val av styrelse och eventuella suppleanter samt i förekommande fall val av revisor och eventuell revisorssuppleant. 10. Annat ärende som ankommer på stämman enligt aktiebolagslagen (1975:1385) eller bolagsordningen. 16 Rösträtt Vid årsstämman får varje röstberättigad rösta för fulla antalet av honom ägda och företrädda aktier utan begränsning i röstetalet, dock med den begränsning som anges i 5. 17 Avstämningsbolag Den som på fastställd avstämningsdag är införd i aktieboken eller i förteckning enligt 3 kap 12 aktiebolagslagen (1975:1385) skall anses behörig att motta utdelning, och vid fondemission ny aktie, som tillkommer aktieägare, samt att man utöva aktieägarens företrädesrätt att deltaga i emission. 18 Meddelande Meddelande till aktieägarna skall ske genom brev eller e-post. 19 Tvist Skulle mellan bolaget och styrelsen, styrelseledamot, verkställande direktör, likvidator eller aktieägare uppkomma tvist, skall den hänskjutas till avgörande av skiljemän i enlighet med gällande lag om skiljemän. Denna bolagsordning har antagits på årsstämma med aktieägarna denna dag. 2008-11-12. BOLAGSORDNING 33

BILAGA 1 Detta är en sammanfattning på svenska av Xzeros affärsplan som valdes ut av EU:s granskningskommitté som en av de 100 mest lovande innovativa projekten i Europa.

NY PATENTSKYDDAD TEKNIK GER ÖKAD VINST TILL AVANCERADE PRODUCENTER AV NANOELEKTRONIK Problemformulering Den fortlöpande satsningen inom halvledarindustrin på mindre, snabbare och billigare integrerade kretsar har fört den här industrin till punkten 10 nanometer och bortom och fört fram en ny era av högpresterande tredimensionella transistorstrukturer. Följaktligen blir ytbehandlingen en större utmaning. Särskilt kommer partikelföroreningar att fortsätta vara en utmaning på alltmer krävande nivåer. Närvaron av oönskad nanopartikulär förorening medför defekta integrerade kretsar. Den kritiska partikeldiametern för en specifik teknologisk punkt kallad killer defect size gäller de minsta dimensionerna i kretsarna, som visas i figuren nedan och som närmar sig dimensionerna på under 10 nm för Kommande teknikivåern. Dessutom kan inte defekta komponenter arbetas om, utan de måste kasseras. En normal komponent har bearbetas i flera månader. Varje komponent som kasseras slår direkt mot vinsten i bolaget. Eftersom alla halvledartillverkare möter ökande krav på komponenternas yt-renhet, så är ett självklart nästa steg att förbättra reningen av de processvätskor som behövs för nästa generation komponenter. Dagens bästa utrustning för framställning av ultrarent processvatten (UPW) kan inte avskilja sådana partiklar. Det är ett problem som måste lösas. Världsledande nanoelektronikforskning Lösningen Xzero har utvecklat patenterad teknik som avskiljer alla partiklar inklusive de minsta. Effektiviteten hos avskiljningen har bekräftats av många test, utförda av tredje part (IVL Svenska miljöinstitutet, Kungliga tekniska högskolan KTH, ALS Global, Manta Instruments, Clarkson University och Anton Paar.) I januari 2018,efter två års prototyputveckling och test, har det europeiska nanoelektronikinstitutet, imec, beställt en utrustning som ska testas i deras renrumsmiljö, inte bara med fokus på förmågan att avskilja nanopartikulär förorening, utan även på avskiljning av alla metalliska och organiska föroreningar. Provflaskor med nanopartikelfritt referensvatten. Miriam Åslin i Xzeros laboratorium. SAMMANFATTNING AV XZEROS AFFÄRSPLAN 36

God vinst för kunderna Kostnaden för vattenbehandling är liten jämförd med de totala arbetskostnaderna för hela renrumsanläggningen. Men bra vattenbehandling kan ge viktiga bidrag till totalvinsten. Hög avkastningsgrad minskad kassation ökar antalet säljbara produkter. Med 0,1% ökning av säljbara produkter kan ett stort nanoelektronikföretag öka sin vinst med 10 miljarder euro årligen. Unikt försäljningsargument Produkter från Xzero avlägsnar de sista partiklarna från vattnet inklusive de minsta nanopartiklarna. Marknadslansering Xzero kommer att samarbeta med ledande leverantörer av vattenbehandlingsutrustning, såsom Kurita, Ovivo och MW Group, och har redan ingått sekretessavtal med tre stora kunder: Intel, Globalfoundries och Hitachi. KTH XZERO Clarkson Basic tests Dessa tre företag, liksom de flesta företagen inom nanoelektronik, samarbetar redan intimt med imec och kommer att erbjudas att utvärdera Xzeros utrustning on-line. Rening av vatten är inte konkurrenspräglad, d.v.s. företag som i övrigt är konkurrenter ser det som ett gemensamt branschintresse att utveckla industriell infrastruktur. Det möjliggör för Xzero att samarbeta med flera kunder som annars konkurrerar inbördes. Intel imec Kurita Pall Xzero imec imec Global Foundries Design Test of core component Fullscale tests and reiteration Demonstration Xzero Marknad Plan för marknadslansering av kommersialiserad utrustning Den globala elektronikindustrin omsätter två triljoner USD om året och förväntas att fördubblas över nästa femårsperiod till 4 triljoner USD. Enbart kretskortsindustrin växer för närvarande årligen med 21,5%. Under samma tid ökade under 2017 tillverkningen av nanoelektroniska produkter med 41%. En fabrik använder mer än en miljon liter ultrarent vatten (UPW) i timmen. Den nuvarande totala marknaden för vattenbehandlingsutrustning till halvledarindustrin uppgår enligt branschen till cirka 6 miljarder euro årligen och förväntas öka till tio miljarder euro till 2028. Operationsmodeller och viktiga aktörer inom halvledarindustrin * OEMs och ODMs köper halvledare att integreras i konsumentprodukter. God vinst för Xzero Den nya tekniken ger inte bara renare vatten. Den kostar också mindre, såväl i kapital- som i driftskostnad. Vi kommer därför att marknadsföra den inte bara till de mest avancerade, utan till alla tillverkare av nanoelektronik. Emellertid kommer andra att delta i konkurrensen med liknande eller hittills okända tekniker, och konservativt räknat förväntar vi oss att nå endast 5% av den totala projekterade marknaden på tio miljarder euro 2028. Med stark finansiell uppbackning är en större marknadsandel naturligtvis möjlig. SAMMANFATTNING AV XZEROS AFFÄRSPLAN 37

UTTALANDEN Den fortsatta framstöten inom halvledarindustrin mot mindre, snabbare och billigare integrerade kretsar har fört industrin fram till 10-nanometer-punkten och vidare. Avgörande för dessa teknologiers förbättring av utbytet är minskning av spill p.g.a. defekter. En nyckelaspekt kommer att bli reningen av ultrarent vatten och lösningsmedel som isopropylalkohol, för att ta bort metaller, organiska ämnen och nanopartikulära föroreningar. Xzero har i laboratorieskala visat att deras utrustningar kan motsvara de tekniska kraven. Därför kommer imec att stödja den fortsatta industrialiseringen av deras teknik. Dr. Ir. Frank Holsteyns, gruppchef för yt- och gränssnittsbehandling, imec, Leuven, Belgien. Jag arbetar med att utveckla en metod för att avskilja partiklar mindre än 20 nm i en slutsköljning av chips och har funnit att Xzeros utrustning kan utvecklas till ett redskap för detta. tillämpningar. Er vattenkvalitet är enastående. I själva verket så har jag slutat använda vår Millipore Simplicity-maskin, och vi rekommenderar Xzero-vatten till våra kunder som behöver vatten med mycket låg partikelmängd för sina Kuba Tatarkiewicz, PhD, VP of Engineering, Manta Instruments, Inc., San Diego CA, USA. Inom den här forskningen har vi samarbetat med Intel och andra ledare inom industrin. Under senare år har fokus legat på avskiljning av nanopartiklar, och vi har uppnått mycket goda resultat. Professor Andrew Martin, Chef för Heat and Power Technology Department, KTH, Stockholm, Sverige. Harald Näslund, tidigare chef för utbytesförbättring på Ericsson, Stockholm, Sverige. SAMMANFATTNING AV XZEROS AFFÄRSPLAN 38

TEKNIKEN Förbättring utöver dagens bästa teknik behövs Xzeros teknik avskiljer alla nanopartiklar ner till de allra minsta. Dagens vattensystem kan inte ta hand om partiklar som är mindre än 20 nm. UPW är renat vatten där de flesta kvalitetsparametrarna ligger under eller nära de gränser som de mest avancerade mätmetoderna kan upptäcka. Nuvarande nivå på UPW-teknologi kan i allmänhet uppnå effektiv kontroll av föroreningar. Men medan en del parametrar är relativt lätta att kontrollera, så kräver effekten av andra ytterligare gransking det är uppenbart att the killer size har närmat sig reningsförmågan hos de mest avancerade metoderna, och det finns testdata som antyder att partikelkoncentrationen i matarvätskan mot slutfiltren från UPW-systemkomponenter kan vara mycket hög. Nuvarande definition av the killer size hos partiklarna baseras på half-pitch DRAM och har redan kommit nära 10 nm-dimensionen. Emellertid så kan 3-D-strukturen hos de nya halvledarkomponenterna komma att fordra att man återigen måste tänka över definitionen av den kritiska partikelstorleken. Från Yield enhancement white paper, International roadmap for devices and systems, 2016 edition, IRDS. Ag+ nanopartiklar Vätska innehållande 3100 µg/l Ag+, 5 nm och större. Efter Xzerobehandling upptäcktes inget i tre på varandra följande tester. Analys med atomabsorptions-spektroskopi (AAS). Dektionsgränsen var < 2µg/l. Ag+ och Au+ nanopartiklar 1. Kranvatten spetsat med AG+ nanopartiklar 140 mg/liter med 80% 0,24 nm partiklar och 20% 124 nm partiklar. Resultat: < 0,1 µg/l. 2. Kranvatten spetsat med 100% 2 nm partiklar i en koncentration av 37 mg/l Au+ nanopartiklar. Resultat: < 0,1 µ/l. Test utförd av IVL Svenska miljöinstitutet i juni 2014 med HPLC. Resultaten vad gäller nanopartiklar har senare under året bekräftats av tester gjorda med utrustning med ännu striktare detektionsnivåer. Detta uttrycks också av en ledande leverantör: En viktig smärtpunkt hos den globala nanoelektronikindustrin är att partiklar (huvudsakligen nanopartiklar) utgör den största utmaningen, på grund av att halvledarstrukturerna blir mindre och mindre. Är det möjligt att nå ett lägsta partikelantal av i storleksordningen 10 nm? En stor utmaning! Från Ovivos hemsida. Xzeros viktigaste fördel är avskiljning av nanopartiklar I testerna som redovisas nedan har ingen extra reningsutrustning använts. Ingen avgasning, inga kemikalier, ingen förbehandling, bara en en-stegs Xzeromodul. Matarflödet tillfördes matartanken. Enheten startades och permeatet samlades upp. Alla tester utfördes av tredje part och analyserna gjordes var för sig av ackrediterade laboratorier. Test med Xzeros utrustning för avskiljning av partiklar mindre än 10 nm utförd av IVL Svenska miljöinstitutet. Grafen visar distributionen i storlek för de Ag-nanopartiklar som tagits bort. Som synes tas även partiklar mindre än killer particles bort. Sedan denna första test gjordes, har många tester gjorts i samarbete med KTH, ALS Global, Manta Instruments, Clarkson University och Anton Paar. Alla tester har bekräftat utmärkta resultat. Testerna har gjorts med nanopartiklar av silver och guld i avsikt att verifiera teknologin och förbättra den praktiska funktionen. SAMMANFATTNING AV XZEROS AFFÄRSPLAN 39

Vattenanvändning inom nanoelektronik Att tillverka en nanoelektronisk komponent kräver omkring fyra månader av fortlöpande processer. Våtreningssteget är det mest upprepade steget i tillverkningsprocessen för att avlägsna alla oönskade föroreningar från substratet. Därför måste kemikalierna och det ultrarena vattnet självt vara helt rena. Normal linjebredd hos nanoelektroniska komponenter är idag 7 10 nanometer, och det forskas på vägar ner emot 5 och t.o.m. 3 nanometer. Partiklar större än den aktuella linjebredden kallas killer particles, eftersom de orsakar kortslutningar som gör att hela komponenten måste kasseras. Water consumption for the manufacture of electronic devices Present 300 mm fab 1 500 000 liters per hour UPW use in future 450 mm fabs is estimated to be larger Per 300 mm wafer around 10 000 liters total water use Per 450 mm wafer around 20 000 is expected Per clean per wafer 44 liters of UPW water is used Continuous supply for one tool is estimated to approximately 2 000 liters per hour Vattenförbrukning i tillverkning av elektroniska komponenter. Distribuerad i stället för central rening Dagens system använder kemisk, elektrisk och filter-teknik. Xzeros teknik skiljer vatten från dess orenheter genom att transportera individuella molekyler genom en sil i form av ett membran). Den undviker alla föroreningar och ger lägre kostnader för tillverkaren. På grund av sin komplexitet så förläggs traditionella reningsanläggningar till ett enda infrastrukturblock, och det renade vattnet cirkuleras i en poleringsslinga för att sedan distribueras dit där det behövs i fabriken. Distributionscykeln tillför oundvikligen orenheter till vattnet. Illustration av Slava Liebman Xzero har utvecklat en lösning med endast två grundsteg: ett för avskiljning av flyktiga ämnen och ett för avskiljning av icke-flyktiga ämnen. Xzero set-up Used Water Make-up Water Membrane Degassifier Xzeros teknik kan byggas i en kompakt enhet som placeras nära intill användningspunkten. Vattnet kommer helt rent från utrustningen och det förorenas inte av transporten. Xzeros första produkt är en slutsköljare för enstaka plattor vid själva tillverkningsstället, som kopplas ihop med ett CMP-verktyg med kapacitet på upp till 1000 liter ultrarent vatten i timmen. Den byggs enligt specifikationer från imec/kurita/pall. Tool UP Tank W/N2 SAMMANFATTNING AV XZEROS AFFÄRSPLAN 40

Konkurrens Försäljning och installation till halvledarindustrin görs huvudsakligen av väletablerade och ansedda leverantörer huvudentreprenörer som Ovivo, Pall, Entegris, Suez, MW Group och Kurita. Vi kommer inte att konkurrera med dessa företag. De blir våra distributörer. 1. Xzero kommer inte att konkurrera med industrins traditionella komponentleverantörer, eftersom de alla kräver ett stort antal processer för att göra UPW och därför inte kan tillverka platsanpassad utrustning ( point-of-use )- Immateriella rättigheter Xzero har ett försprång i teknikutveckling och är starkt beroende av forskningssamarbete med ledande kunder och forskningsinstitut för att behålla försprånget i tekniskt kunnande. Under utvecklingsarbetets gång har 19 separata patent, internationella motsvarigheter oräknade, tilldelats Xzeros licensgivarer, Scarab. Dessa generella patent har nu upplösts. Det första specifika patentet för Xzeros aktuella teknik beviljades i Sverige den 17 mars 2015 2. Det finns för närvarande inga andra företag som utvecklar utrustning för UPW, baserad på samma typ av teknologi som Xzeros. 3. Potentiella framtida konkurrenter finns ännu inte på radarn, och Xzero måste dra fördel av sitt försprång och sina goda relationer med ledande aktörer för att behålla sitt försprång. med nummer 1350939-3, Device for membrane distillation, och gäller till 2034-08-06. Det har även beviljats i USA och är sökt på flera andra marknader. Huvudfokus är nu på att skydda det utvecklingsarbete som för närvarande utförs hos imec. Xzero har också överenskommelser om yppandeförbud (sekretessförbindelser) med partners och kunder, som KTH, imec, Intel, Globalfoundries och Hitachi, liksom med vissa viktiga leverantörer och konsulter Nuvarande status Xzero har utvecklat och testat flera modeller och pilotutrustningar, samt en demonstrationsanläggning. Den första kommersiella produkten, ULTRAWAT 1000, har specifikationer från imec och byggs nu som prototyp av Xzero. Tester påbörjas hos imec under 2018, och marknadsföring påbörjas år 2020. Testning av Xzero-prototyp hos imec. Till vänster: Jan Coenen (imec), till höger: Miriam Åslin (Xzero) SAMMANFATTNING AV XZEROS AFFÄRSPLAN 41

BILAGA 2 Detta är en översättning av den presentation som Xzero gjorde inför EU:s expertpanel i Bryssel och som ledde till att EU finansierar 70 % av Xzeros kostnader för industrialisering och marknadslansring av Xzeros första kommersiella produkt Last Rinse.

FÖRETAGETS SYFTE OCH UNIKA FÖRDEL Xzero säljer utrustning som tar bort alla nanopartiklar från processvatten inom nanoelektronikindustrin. Världsledande nanoelektronisk forskning Problem och lösning Nanoelektronik finns i all framtida industris hjärtan och hjärnor. Minskning av linjebredden är nyckeln till framsteg inom nanoelektronisk industri. Processvattnets ökade renhet är en absolut nödvändighet för ytterligare minskning av linjebredden. Dagens reningssystem förmår inte avlägsna partiklar som är mindre än 20 nanometer. Xzero avskiljer samtliga nanopartiklar. Xzero har uppmuntrats av framtida kunder såsom Intel och Globalfoundries. Nu, när tekniken faktiskt rör sig mot under 20 nanometers linjebredd, är tiden mogen för kommersialisering. Ekonomisk fördel för kunden 0,1% reduktion av kassationen hos en stor produktionsenhet kan tjäna in 10 miljoner euro, vilket oavkortat innebär en ökning av vinsten. 1% ökad avkastning (genom minskad kassation) ökar vinsten med 100 miljoner euro. Marknadsutsikter och risker Utsikter Tillverkarna rör sig i riktning mot 5 nm. Lägre kassation innebär ökad avkastning vilket innebär större vinst för tillverkaren. Risker Vårt företag är inte väletablerat på marknaden. Lösning: Vår affärsmodell utgör svaret på den utmaningen. Annan ny teknik, som också eliminerar partiklar mindre än 20 nm, kommer fram. Lösning: Vi finns närmare marknaden och fortsätter att utveckla vår kostnadsfördel. XZEROS PRESENTATION FÖR EU:S EXPERTPANEL 44

Linjebredd i nanometer Halvledarstrukturerna blir mindre och mindre. Finns det någon möjlighet att uppnå lägsta partikelantal i närheten av storleken 10 nanometer? En stor utmaning! (Ovivo 2018) Konkurrens Dagens teknik klarar inte av att avskilja nanopartiklar. Ny teknik finns inte på radarn. Framtida konkurrens är trolig. För att vara beredda på framtida konkurrens så kommer Xzero att fortsätta stärka relationerna med ledande forskning (ex. imec), med ledande kunden (ex.intel), och med ledande distributörer (ex. Ovivo). Affärsmodell Dr Frank Holsteyns är gruppchef för ytbehandling vid imec och utformar specifikationerna för vår utrustning. Xzero kommer att tillverka sina egna kärnkomponenter och sätta ihop dem med komponenter (membran och formsprutade detaljer och strukturer) som vi köper från underleverantörer. Vi kommer att sälja både genom etablerade totalentreprenörer och direkt till slutanvändare. De första kommersiella försäljningarna kommer att ske år 2020. XZEROS PRESENTATION FÖR EU:S EXPERTPANEL 45

Kommersialisering och marknadsstrategi Xzero ska först bygga testenheter för imec lab. Därefter enheter för imec fab, Intel och Globalfoundries. Vi kommer att använda referenser från imec, Intel och Globalfoundries för vår marknadsföring. Vi kommer att marknadsföra via totalentreprenörer som Ovivo, Pall, Entegris, Suez, MW-Group och Kurita. Bevis på intresse: Befintliga överenskommelser med Intel och andra stora aktörer samt beställningen från imec. Finansiella utsikter År 2028 kommer marknaden för vattenbehandling inom nanoelektronikindustrin att omsätta cirka 10 miljarder euro. Xzeros VD, Vinay Chand, har decennier av erfarenhet inom internationell marknadsföring Vi räknar med att äga 5% av den marknaden 2028, vilket innebär en total omsättning av 500 miljoner euro. Beräknad nettovinst blir då 30%. Total nettovinst enligt våra scenarier blir mellan 50 och 130 miljoner euro år 2028. Ledning Kärngruppen utgörs av Vinay Chand (marknadschef), Miriam Åslin (projektchef), Henrik Dolfe (ingenjör) och Aapo Sääsk (övergripande ledning). De har alla ingått i företaget sedan 1996. Under 2017 har två doktorer och en doktorand anställts. Två expertrådgivare har också knutits till företaget under 2017. Den ena är den tidigare produktionschefen för Ericsson Semiconductors. Den andra är den tidigare chefen för ett företag, Svenska Renrum AB, som har deltagit i byggandet av mer än 100 renrum. Betydelsen av Xzero Nanoelektronik kommer att finnas i all framtida industri. Minskning av linjebredden är nyckeln till framsteg inom nanoelektronikindustrin. Förbättrad rening av processvatten är en absolut nödvändighet för ytterligare minskning av linjebredden. Idag producerar Xzero världens renaste vattnet. XZEROS PRESENTATION FÖR EU:S EXPERTPANEL 46

XZERO everything to zero Detta är en platta som efter tillverkning skärs upp i komponenter. De små rutorna är processorer. Nanoelektronikens grundläggande komponenter är små strömbrytare (transistorer) där kontakterna är 32 nanometer 0,000032 mm från varandra. Även en liten förorening orsakar därför lätt en kortslutning. Nu förbereder industrin för 22 nanometer och därefter 16 och har även långsiktiga planer för 8 nanometer. På denna komponent kan tusen långfilmer lagras. Under tillverkningsprocessen sköljs komponenten upp till hundra gånger med vatten som måste vara absolut rent. Kostnaden för en ny nanoelektronikfabrik beräknas vara 15 miljarder dollar. Vattenreningssystemet till en sådan fabrik beräknas kosta 60 miljoner dollar. XZERO AB Bryggerivägen 12A 168 67 Bromma SWEDEN Tel:+46 8 660 39 64 info@xzero.se www.xzero.se